專利名稱：一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法。
背景技術(shù)：
0LED (有機(jī)發(fā)光顯示器)是一種新型的顯示器件，具有很多優(yōu)異的顯示 性能，目前發(fā)展很快。典型的OLED器件結(jié)構(gòu)如圖1所示。玻璃基板上設(shè)置有 IT0 (氧化銦錫)陽極，ITO陽極表面鍍制有機(jī)發(fā)光層，在有機(jī)發(fā)光層表面上 再鍍制上低功函數(shù)的陰極。在陽極和陰極上施加電壓，空穴載流子從陽極注 入發(fā)光層，電子從陰極注入發(fā)光層，空穴載流子和電子在發(fā)光層復(fù)合產(chǎn)生激 子，激子退激發(fā)時輻射出可見光。
0LED顯示器件發(fā)光層采用有機(jī)材料蒸鍍的方法進(jìn)行制作，如圖2所示， 玻璃基板放置在金屬蔭罩上方，IT0陽極與金屬蔭罩相對貼合在一起，金屬 蔭罩是一張很薄的金屬膜繃緊在金屬框架上，金屬膜厚度為數(shù)十微米，金屬 框架和金屬薄膜由溫度膨脹系數(shù)與顯示器件用的玻璃基板溫度膨脹系數(shù)相近 的金屬材料制成，金屬框架一般為蔭鋼材料制成，金屬薄膜可以采用鎳或鎳 鉻合金，金屬膜上有不開窗的部分和開窗的部分，開窗部分與基板上需要蒸 鍍有機(jī)發(fā)光層的位置相對應(yīng)，蔭罩下方有坩堝，其中放置有發(fā)光材料，給坩 堝加熱，有機(jī)發(fā)光材料即被蒸發(fā)，有機(jī)發(fā)光材料蒸汽透過蔭罩上開窗部位最 終沉積在需要沉積發(fā)光層的地方。這種鍍膜方式要求蔭罩金屬膜必須繃得很 緊，而且蔭罩中間部分不能有下垂，否則有機(jī)發(fā)光材料將透過基板和金屬蔭 罩之間的空隙沉積在不需要的地方。
在生產(chǎn)過程中，進(jìn)行一定數(shù)量產(chǎn)品的有機(jī)層蒸鍍后，需要對金屬蔭罩進(jìn) 行清洗，否則金屬蔭罩表面將沉積過多的有機(jī)物，這些過多的有機(jī)物會堵塞 金屬蔭罩上面的開窗，且在產(chǎn)生過程中有可能會發(fā)生脫落，對產(chǎn)品產(chǎn)生污染，使產(chǎn)品生產(chǎn)良率下降，造成產(chǎn)品生產(chǎn)成本上升和器件品質(zhì)下降。因此需要對 金屬蔭罩進(jìn)行清洗。
常規(guī)的金屬蔭罩清洗方法是:在進(jìn)行一定數(shù)量產(chǎn)品的有機(jī)膜層蒸鍍之后， 一般為數(shù)十片至一百片左右，將金屬蔭罩取下，浸泡在有機(jī)溶劑中，利用超 聲波使有機(jī)膜層與金屬蔭罩脫離。由于金屬蔭罩上的開窗很小，常規(guī)的清洗 方式不易清洗干凈，有機(jī)物的碎片易殘留在金屬蔭罩的開窗內(nèi)及金屬薄膜和 金屬框架之間的縫隙內(nèi)。這些有機(jī)物的碎片很容易造成下次蒸鍍的不良。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用的金屬蔭罩的清洗方 法，通過臭氧和氧等離子處理，去除常規(guī)清洗方式容易造成的有機(jī)物細(xì)屑?xì)?留，同時在蔭罩使用前對金屬蔭罩進(jìn)行鍍金處理，提高金屬蔭罩在進(jìn)行臭氧 處理和氧等離子處理的時候的耐氧化性能，提高金屬蔭罩的使用壽命。 為達(dá)到以上目的，本發(fā)明是采取如下技術(shù)方案予以實現(xiàn)的 一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，包括下述步驟
(1) 采用常規(guī)方法，將金屬蔭罩浸入裝有專用有機(jī)清洗溶劑的超聲清洗 槽內(nèi)，經(jīng)過超聲清洗10 30分鐘，當(dāng)金屬蔭罩開窗部分附著的有機(jī)物膜層溶 解和脫落后，取出金屬蔭罩；
(2) 將金屬蔭罩再浸入裝有步驟(1)有機(jī)清洗溶劑的超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行 二次清洗，經(jīng)超聲清洗10 30分鐘后取出，用清潔氣流吹干金屬蔭罩表面的 溶劑。
(3)將金屬蔭罩放入設(shè)有臭氧發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，抽真空至lKPa 以下，充入干燥空氣或10 50KPa的氧氣，利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧；或者 將金屬蔭罩放入設(shè)有等離子發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，充入干燥空氣或 10 50KPa的氧氣，使氧氣反應(yīng)生成臭氧或離子化生成氧離子，徹底去除金 屬蔭罩經(jīng)使用、清洗后殘留的有機(jī)物。
上述方法中，所述金屬蔭罩使用前進(jìn)行鍍金處理
首先將未使用過的金屬蔭罩浸入濃度為40%~50%的一乙醇胺或二乙醇胺水溶液的超聲清洗槽內(nèi)，超聲清洗10至30分鐘，然后換純水進(jìn)一步超聲 清洗，取出千燥；
接著將經(jīng)過清洗的金屬蔭罩浸入納米鉑膠體溶液中，金屬蔭罩表面與鉑 膠體溶液完全接觸后取出晾干；
將在納米鉑膠體溶液中處理過的金屬蔭罩浸入過氧化氫和氯化金混合溶 液中化學(xué)鍍5 10分鐘，在鉑納米微粒催化作用下，過氧化氫還原了氯化金； 將化學(xué)鍍后的金屬蔭罩在100 25(TC溫度下加熱30分鐘，增強(qiáng)鍍膜的附著性。
本發(fā)明方法利用臭氧和氧等離子氣體對清洗后的金屬蔭罩進(jìn)行處理，臭 氧或氧離子可以滲透至金屬薄膜與蔭罩框架連接處的縫隙處，與殘留的有機(jī) 物反應(yīng)，將有機(jī)物氧化成為氣體，徹底去除金屬蔭罩上殘留的有機(jī)物，提高 產(chǎn)品良率。為了在清洗過程中金屬薄膜被氧化引起強(qiáng)度下降，本發(fā)明方法可 在金屬蔭罩使用前進(jìn)行預(yù)先鍍金處理。鍍金過程中使用的催化劑納米鉑膠體 是溶解有吸附了鉑顆粒的高聚物的水溶液，其中2 10納米大小的鉑微粒具有 很強(qiáng)的催化劑活性，因此，在常溫下即可完成鍍金。


圖1為OLED結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為OLED有機(jī)物膜層蒸鍍示意圖。
圖3為金屬蔭罩的平面示意圖。
圖1-圖3中l(wèi)為玻璃基板，2為IT0陽極，3為有機(jī)物發(fā)光層，4為陰 極，5為金屬蔭罩框架，6為蔭罩不開窗的部分，7為蔭罩開窗部分，8為裝 載有機(jī)材物料并對其進(jìn)行加熱的坩堝，9為裝載在坩堝8內(nèi)的有機(jī)物材料， 10為蒸發(fā)出來的有機(jī)物材料蒸汽。
圖4為金屬蔭罩的立體示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明 實施例l金屬蔭罩的用后清洗-
金屬蔭罩經(jīng)過一段時間的使用后，有機(jī)物膜層在蔭罩表面和金屬薄膜開窗
部分7內(nèi)壁上沉積達(dá)到一定的厚度，將會影響到金屬蔭罩的正常使用，這時 候，需要將金屬蔭罩取下，進(jìn)行有機(jī)物膜層的清理。
首先，采用常規(guī)方法，浸入裝有專用有機(jī)清洗溶劑如氟里昂的超聲清洗槽 內(nèi)，也可以根據(jù)OLED器件蒸鍍所使用的有機(jī)物選取相應(yīng)的清洗溶劑，如東京 應(yīng)化公司相應(yīng)的系列產(chǎn)品，效果更好。經(jīng)過超聲清洗10 30分鐘，當(dāng)金屬蔭 罩開窗部分7附著的有機(jī)物膜層溶解和脫落后，取出金屬蔭罩。
然后，將金屬蔭罩再浸入裝有氟里昂的超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行二次清洗，經(jīng)超 聲清洗10 30分鐘后取出，用清潔氣流吹干金屬蔭罩表面的溶劑。
再后，將金屬蔭罩放入設(shè)有臭氧發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，抽真空至lKPa 以下，充入干燥空氣或10 50KPa的氧氣，利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧；或者 將金屬蔭罩放入設(shè)有等離子發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，充入干燥空氣或 10~50KPa的氧氣，使氧氣反應(yīng)生成臭氧或離子化生成氧離子；臭氧或氧離 子可以滲透至金屬薄膜與蔭罩框架5連接處的縫隙處，與殘留的有機(jī)物反應(yīng)， 將有機(jī)物氧化成為氣體，徹底去除金屬蔭罩上殘留的有機(jī)物。反應(yīng)式如下
03 + HxCyOz — 02 + H20 + C02 02+ + 2e+ HXCA — 02 + H20 + C02 處理5 10分鐘，即可再次使用。 實施例2
金屬蔭罩鍍金處理
首先進(jìn)行清洗，目的是提高鍍膜的結(jié)合強(qiáng)度和膜層的致密性。方法是將
未使用過的金屬蔭罩先放入濃度為40%~50%—乙醇胺或二乙醇胺水溶液中， 加超聲清洗10至30分鐘，然后用純水加超聲進(jìn)一步清洗，清洗完成后干燥。 接著將經(jīng)過清洗的金屬蔭罩浸入納米鉑膠體溶液中，納米鉑膠體是溶解 有吸附了 2~10納米大小的鉑顆粒的高聚物的水溶液，具體配制方法為將納 米鉑粉未與羥乙基纖維素按重量比1: 1~1: 5的比例，加入濃度為1%~5% 的羥乙基纖維素的水溶液中，室溫下，攪拌1 2小時，金屬蔭罩表面與鉬膠體溶液完全接觸后取出晾干。 將在納米鉑膠體溶液中處理過的金屬蔭罩浸入過氧化氫和氯化金混合溶液
中，時間5 10分鐘，在鉑納米微粒催化劑作用下，過氧化氫還原了氯化金。 過氧化氫和氯化金混合液的配制方法如下稱取1克AuCl，3HCMH20，溶 于500ml純水中，然后加入10克濃度為30%的過氧化氫溶液，充分?jǐn)嚢柚?氯化金晶體溶解完全。
作為催化劑使用的鉑納米微粒具有很強(qiáng)的催化劑活性，在常溫下即可完 成電鍍。電鍍后在100 250'C溫度下加熱約30分鐘，增強(qiáng)鍍膜的附著性。 電鍍的反應(yīng)式如下
2HAuCl4+3H202—2Au+302+8HCl 。 本實施例鍍鉑金蔭罩使用后的清洗方法同實施例1。
權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，其特征在于，包括下述步驟(1)采用常規(guī)方法，將金屬蔭罩浸入裝有專用有機(jī)清洗溶劑的超聲清洗槽內(nèi)，經(jīng)過超聲清洗10～30分鐘，當(dāng)金屬蔭罩開窗部分附著的有機(jī)物膜層溶解和脫落后，取出金屬蔭罩；(2)將金屬蔭罩再浸入裝有步驟(1)有機(jī)清洗溶劑的超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行二次清洗，經(jīng)超聲清洗10～30分鐘后取出，用清潔氣流吹干金屬蔭罩表面的溶劑。(3)將金屬蔭罩放入設(shè)有臭氧發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，抽真空至1KPa以下，充入干燥空氣或10～50KPa的氧氣，利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧；或者將金屬蔭罩放入設(shè)有等離子發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，充入干燥空氣或10～50KPa的氧氣，使氧氣反應(yīng)生成臭氧或離子化生成氧離子，徹底去除金屬蔭罩經(jīng)使用、清洗后殘留的有機(jī)物。
2、 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，其 特征在于，所述金屬蔭罩使用前進(jìn)行鍍金處理首先將未使用過的金屬蔭罩浸入濃度為40°/。 50%的一乙醇胺或二乙醇 胺水溶液的超聲清洗槽內(nèi)，超聲清洗10至30分鐘，然后換純水進(jìn)一步超聲 清洗，取出干燥；接著將經(jīng)過清洗的金屬蔭罩浸入納米鉑膠體溶液中，金屬蔭罩表面與鉑 膠體溶液完全接觸后取出晾干；將在納米鉑膠體溶液中處理過的金屬蔭罩浸入過氧化氫和氯化金混合溶 液中化學(xué)鍍5 10分鐘，在鉑納米微粒催化作用下，過氧化氫還原了氯化金。
3、 如權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，其 特征在于，所述納米鉑膠體溶液為將納米鉑粉未與羥乙基纖維素按重量比l: 1~1: 5的比例，加入濃度為1°/『5%的羥乙基纖維素的水溶液中，室溫下攪拌 1~2小時。
4、 如權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，其特征在于，所述過氧化氫和氯化金混合液的配制方法如下稱取1克Au03HC1.4H20，溶于500ml純水中，然后加入10克濃度為30%的過氧化 氫溶液，充分?jǐn)嚢柚谅然鹁w溶解完全。
5、 如權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，其 特征在于，將化學(xué)鍍后的金屬蔭罩在100 25(TC溫度下加熱30分鐘，增強(qiáng) 鍍膜的附著性。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)用金屬蔭罩的清洗方法，首先，采用常規(guī)方法，將金屬蔭罩浸入裝有專用有機(jī)清洗溶劑的超聲清洗槽內(nèi)超聲清洗，然后將金屬蔭罩再浸入裝有清潔清洗溶劑的超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行二次超聲清洗，取出用清潔氣流吹干金屬蔭罩表面的溶劑。將金屬蔭罩放入設(shè)有臭氧發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，或者放入設(shè)有等離子發(fā)生器的真空干燥設(shè)備內(nèi)，抽真空至1KPa以下，充入干燥空氣或10～50KPa的氧氣，利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧，或使氧氣反應(yīng)生成臭氧或離子化生成氧離子，徹底去除金屬蔭罩經(jīng)使用、清洗后殘留的有機(jī)物。
文檔編號B08B7/04GK101433902SQ20081023277
公開日2009年5月20日 申請日期2008年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月11日
發(fā)明者唐李晟 申請人:彩虹集團(tuán)公司