專利名稱：一種超聲波清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種超聲波清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，在晶棒切割成片的生產(chǎn)過程中，當(dāng)切割機(jī)出現(xiàn)斷線問題時(shí)，通常采用卸棒后并放入超聲波清洗池中用純水洗凈晶棒表面及線縫 中砂漿，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中水分，再重新將晶棒裝上工件夾，將線網(wǎng)對(duì)入晶棒線縫，之后繼續(xù)切割；在上述方法中，完全洗凈晶棒需要一般需要幾個(gè)甚至十多個(gè)小時(shí)，不僅費(fèi)時(shí)、費(fèi)力、費(fèi)水，而且重裝時(shí)需要精確掌握原來的晶棒位置，如果位置偏移，會(huì)使硅片彎曲，造成報(bào)廢，并產(chǎn)生再次斷線，導(dǎo)致救棒的成功率不高。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供能提高救棒成功率的一種超聲波清洗機(jī)。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種超聲波清洗機(jī)，包括超聲電源、超聲容器和若干超聲振板，其特征在于若干個(gè)超聲振板分別設(shè)置在超聲容器的底部和側(cè)壁上，超聲振板與超聲電源通過電源線相連接，且側(cè)壁上的超聲振板可拆卸。采用本實(shí)用新型，可以直接將其放置到主輥之間以及晶棒的下部，將晶棒置于超聲容器內(nèi)并注水、注無水乙醇進(jìn)行清洗，因無需將晶棒從工件夾上取下，重新切割時(shí)的原點(diǎn)位置容易尋找，重裝對(duì)刀時(shí)降低了誤差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。

圖I是本實(shí)用新型的示意圖。圖中序號(hào)表:超聲電源I、電源線2、超聲振板3和超聲容器4。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參照?qǐng)DI，該超聲波清洗機(jī)包括超聲電源I、超聲容器4和若干超聲振板3，若干個(gè)超聲振板3分別設(shè)置在超聲容器4的底部和側(cè)壁上，其中側(cè)壁上的超聲振板3可拆卸，且超聲振板3與超聲電源I通過電源線2相連接。使用時(shí)，只要將該超聲波清洗機(jī)放置到主輥之間以及需清洗的晶棒的下部，將晶棒置于超聲容器4內(nèi)并依工序注水、注無水乙醇進(jìn)行清洗，因無需將晶棒從工件夾上取下，重新切割時(shí)的原點(diǎn)位置容易尋找，重裝對(duì)刀時(shí)降低了誤差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。
權(quán)利要求1. 一種超聲波清洗機(jī)，包括超聲電源、超聲容器和若干超聲振板，其特征在于若干個(gè)超聲振板分別設(shè)置在超聲容器的底部和側(cè)壁上，超聲振板與超聲電源通過電源線相連接，且側(cè)壁上的超聲振板可拆卸。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種超聲波清洗機(jī)，該清洗機(jī)的若干個(gè)超聲振板分別設(shè)置在超聲容器的底部和側(cè)壁上，超聲振板與超聲電源通過電源線相連接，且側(cè)壁上的超聲振板可拆卸。采用本實(shí)用新型，可以直接將其放置到主輥之間以及晶棒的下部，將晶棒置于超聲容器內(nèi)并注水、注無水乙醇進(jìn)行清洗，因無需將晶棒從工件夾上取下，重新切割時(shí)的原點(diǎn)位置容易尋找，重裝對(duì)刀時(shí)降低了誤差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。
文檔編號(hào)B08B3/12GK202555543SQ201220227718
公開日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月21日
發(fā)明者王文廣, 周光進(jìn), 應(yīng)紅飛 申請(qǐng)人:浙江晟輝科技有限公司