本公開涉及線材形狀調(diào)整裝置和包括該線材形狀調(diào)整裝置的線材鋸切設(shè)備，并且更具體地，涉及在使用線材對(duì)錠塊進(jìn)行的切片工序中防止線材的不均勻磨損的線材形狀調(diào)整裝置和包括該線材形狀調(diào)整裝置，以防止錠塊質(zhì)量的劣化。相關(guān)技術(shù)討論單晶硅錠塊一般通過丘克拉斯基(czochralski、cz)方法生長。在該方法中，在腔室內(nèi)的坩堝中熔化多晶硅，將作為小片單晶的晶種浸入熔融硅中，以及緩慢升起晶種以生長為期望直徑的單晶硅錠塊(以下簡(jiǎn)稱錠塊)。硅晶片的制造工序包括：?jiǎn)尉w生長工序，以使用上述方法產(chǎn)生錠塊；切片工序，以通過對(duì)錠塊進(jìn)行切片來獲得薄盤狀的晶片；邊緣磨削工序，以對(duì)由切片工序獲得的晶片的邊緣進(jìn)行處理，以便防止晶片發(fā)生開裂和扭曲；精磨工序，以通過去除保留在晶片上的由機(jī)械加工引起的損壞，改善晶片的平整度；拋光工序，以賦予晶片如鏡子般的表面；以及清潔工序，以從拋光后的晶片去除磨料或異物。有各種類型的將錠塊切成晶片的切片工序。即，通過將菱形顆粒固定至薄板的外周緣以將錠塊切成晶片的外徑鋸切(ods)方法、通過將菱形顆粒固定至環(huán)狀薄板以將錠塊切成晶片的內(nèi)徑鋸切(ids)方法、以及線材鋸切方法，在線材鋸切方法中，通過在高速運(yùn)轉(zhuǎn)線材的同時(shí)將膏漿噴在線材上，通過與線材上的膏漿摩擦以將錠塊切成晶片。在這些方法中，線材鋸切方法目前被廣泛使用，因?yàn)樗軌驅(qū)㈠V塊同時(shí)切成多個(gè)晶片，因此可以提高單位時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)量。然而，在上述線材鋸切方法中使用的傳統(tǒng)線材鋸切設(shè)備具有以下問題。在使用線材對(duì)錠塊進(jìn)行切片時(shí)，通過線材上的膏漿對(duì)錠塊進(jìn)行鋸切和切片，同時(shí)線材可能被膏漿磨損。在此，如圖1a所示，在鐵(fe)和碳(c)形成的線材表面鍍銅(cu)的狀態(tài)下進(jìn)行線材鋸切工序時(shí)，線材表面的銅被去除，可能會(huì)出現(xiàn)不均勻磨損，即線材僅在一些方向上發(fā)生磨損，如圖1b所示。此外，線材的這種不均勻磨損可能導(dǎo)致由線材鋸切的錠塊質(zhì)量劣化。

背景技術(shù)：

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、因此，本公開涉及線材形狀調(diào)整裝置和包括該線材形狀調(diào)整裝置的線材鋸切設(shè)備，其基本上消除了由現(xiàn)有技術(shù)的局限性和缺點(diǎn)所導(dǎo)致的一個(gè)或多個(gè)問題。

2、本公開的目的是提供在對(duì)錠塊進(jìn)行鋸切期間防止線材的不均勻磨損的線材形狀調(diào)整裝置和包括該線材形狀調(diào)整裝置。

3、為了實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)和其他優(yōu)點(diǎn)，并根據(jù)本公開的目的，如本文所體現(xiàn)和大致描述的，線材形狀調(diào)整裝置包括：線材貫穿部，該線材貫穿部設(shè)有在中心區(qū)域中形成的通孔；主體，該主體構(gòu)造成使得線材貫穿部插入到其中；以及多個(gè)偏斜單元，多個(gè)偏斜單元構(gòu)造成從主體的外側(cè)貫穿主體，并與線材貫穿部的外周表面接觸。

4、該通孔可以包括位于通孔的內(nèi)部區(qū)域中的第一部分，以及位于第一部分的兩側(cè)的第二部分，第一部分的入口的寬度可以大于第一部分的出口的寬度。

5、在諸第二部分中，與第一部分的入口相鄰的第二部分相對(duì)于第一部分的斜率傾斜3至5度(°)，并且該第二部分的入口的寬度可以大于該第二部分的出口的寬度。

6、在諸第二部分中，與第一部分的出口相鄰的第二部分相對(duì)于第一部分的斜率傾斜10度(°)或更多，并且該第二部分的出口的寬度可以大于該第二部分的入口的寬度。

7、線材貫穿部的外周表面和主體的外周表面可以是圓形的，可以在主體中形成第一至第n個(gè)孔，并且多個(gè)偏斜單元可以分別穿過第一至第n個(gè)孔。

8、第一至第n個(gè)孔的內(nèi)表面可以是螺母狀的，而多個(gè)偏斜單元的外表面可以是螺栓狀的。

9、多個(gè)偏斜單元可以分別以不同深度插入到第一至第n個(gè)孔中。

10、線材形狀調(diào)整裝置還可以包括分別設(shè)在線材貫穿部的入口方向和出口方向上的第一對(duì)齊輥和第二對(duì)齊輥。

11、在本公開的另一方面中，提供了線材鋸切設(shè)備，其包括：多個(gè)主輥，它們構(gòu)造成纏繞和轉(zhuǎn)動(dòng)線材；第一線筒，其構(gòu)造成向多個(gè)主輥供應(yīng)線材；第二線筒，其構(gòu)造成從多個(gè)主輥接收所供應(yīng)的線材；以及上述線材形狀調(diào)整裝置，其設(shè)在多個(gè)主輥與第二線筒之間。

12、多個(gè)主輥可以包括位于上部區(qū)域的第一主輥和第二主輥，以及位于下部區(qū)域的第三輥，并且線材鋸切設(shè)備還可以包括設(shè)置在第一主輥和第二主輥上方的膏漿噴嘴。

技術(shù)特征：

1.一種線材形狀調(diào)整裝置，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，所述通孔包括位于所述通孔的內(nèi)部區(qū)域中的第一部分，以及位于所述第一部分的兩側(cè)的第二部分，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，在所述第二部分中，與所述第一部分的入口相鄰的第二部分相對(duì)于所述第一部分的斜率傾斜3至5度，并且所述第二部分的入口的寬度大于所述第二部分的出口的寬度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，在所述第二部分中，與所述第一部分的出口相鄰的第二部分相對(duì)于所述第一部分的斜率傾斜10度或更多，并且所述第二部分的出口的寬度大于所述第二部分的入口的寬度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，所述第一至第n個(gè)孔的內(nèi)表面是螺母狀的，而所述多個(gè)偏斜單元的外表面是螺栓狀的。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，所述多個(gè)偏斜單元分別以不同深度插入到所述第一至第n個(gè)孔中。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材形狀調(diào)整裝置，其特征在于，還包括分別沿所述線材貫穿部的入口方向和出口方向設(shè)置的第一對(duì)齊輥和第二對(duì)齊輥。

9.一種線材鋸切設(shè)備，包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線材鋸切設(shè)備，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
公開了一種線材形狀調(diào)整裝置，其包括：線材貫穿部，線材貫穿部設(shè)有在其中心區(qū)域中形成的通孔；主體，該主體構(gòu)造成使得線材貫穿部插入到其中；以及多個(gè)偏斜單元，多個(gè)偏斜單元構(gòu)造成從主體的外側(cè)貫穿主體，并與線材貫穿部的外周表面接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：全志原
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛思開矽得榮株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19