一種硅晶棒切割用料板托架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及到半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的硅晶棒，具體的說是一種硅晶棒切割用料板托架。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體娃晶片制造過程中，先將待切晶棒粘接在料板上(有兩種尺寸，如附圖1和附圖2)，然后才使用NTC-442DM線切割切割粘接好的晶棒。待晶棒切割完畢要用取棒小車將晶棒連同料板取下，這時需要使用人工雙手抱著料板將晶棒從小車上取下，由于剛切割后料板上有砂漿比較滑，用手抱料板經(jīng)常出現(xiàn)料板連同切割后晶棒脫落的事故發(fā)生，甚至出現(xiàn)砸到腳的安全隱患；另外，NTC線切有兩種料板，一種是粘接(100)晶向晶棒的料板(見圖1)，另一種是粘接(111)晶棒的料板(見圖2)，若針對兩種料板制作托板，則需要相應(yīng)兩種料板托板，操作上會存在混用用錯，非常不方便。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)中切割后料板容易滑落的問題，本實用新型提供了一種硅晶棒切割用料板托架，而且該料板托架同時適合于兩種尺寸的料板。
[0004]本實用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種硅晶棒切割用料板托架，包括托板和兩組提手機構(gòu)，托板的中部設(shè)置有淺槽，托板的邊部和淺槽中分別設(shè)有與兩種尺寸料板對應(yīng)的螺栓孔A和螺栓孔B，所述提手機構(gòu)由緊固梁、連接桿和手柄組成，且緊固梁兩端的連接頭與托板的兩邊部連接，連接桿設(shè)置在緊固梁上，其與緊固梁平行，手柄設(shè)置在連接桿的中部位置；所述淺槽上設(shè)置有與緊固梁平行的加強筋，加強筋的兩端分別與淺槽的兩側(cè)壁固定連接。
[0005]所述托板上還設(shè)置有連接件，該連接件的兩端固定在托板的兩側(cè)邊緣，從而增強托板的強度和整體性。
[0006]所述托板的兩側(cè)邊設(shè)置有滑槽，緊固梁兩端的連接頭設(shè)置在兩側(cè)的滑槽內(nèi)，并由螺栓固定在特定的某幾個位置，從而調(diào)整兩組提手機構(gòu)的位置。
[0007]有益效果:本實用新型通過在托板上設(shè)置兩組螺栓孔，這兩組螺栓孔的位置與兩種料板上的螺栓孔位置相匹配，從而通過連接螺栓將料板固定在托板上，工人在轉(zhuǎn)運時雙手提起手柄即可完成轉(zhuǎn)運，具有結(jié)構(gòu)簡單、制作成本低、安全可靠等優(yōu)點，提高了工人的工作效率，并避免了安全隱患。
【附圖說明】
[0008]圖1為切割(111)晶向晶棒用料板；
[0009]圖2為為切割(100 )晶向晶棒用料板；
[0010]圖3為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖4為提手機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖標(biāo)記:1、托板，101、螺栓孔A，2、淺槽，201、螺栓孔B，3、提手機構(gòu)，301、手柄，302、連接桿，303、緊固梁，304、連接頭，4、連接件，5、加強筋。
【具體實施方式】
[0013]如圖所示，一種硅晶棒切割用料板托架，包括托板I和兩組提手機構(gòu)3，托板I的中部設(shè)置有淺槽2，托板I的邊部和淺槽2中分別設(shè)有與兩種尺寸料板對應(yīng)的螺栓孔AlOl和螺栓孔B201，所述提手機構(gòu)3由緊固梁303、連接桿302和手柄301組成，且緊固梁303兩端的連接頭304與托板I的兩邊部連接，連接桿302設(shè)置在緊固梁303上，其與緊固梁303平行，手柄301設(shè)置在連接桿302的中部位置；所述淺槽2上設(shè)置有與緊固梁303平行的加強筋5，加強筋5的兩端分別與淺槽2的兩側(cè)壁固定連接。
[0014]以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進一步的改進或限定:
[0015]如，所述托板I上還設(shè)置有連接件4，該連接件4的兩端固定在托板I的兩側(cè)邊緣；
[0016]又如，所述托板I的兩側(cè)邊設(shè)置有滑槽，緊固梁303兩端的連接頭304設(shè)置在兩側(cè)的滑槽內(nèi)，并由螺栓固定在特定的某幾個位置，從而實現(xiàn)提手機構(gòu)3位置的調(diào)整。
【主權(quán)項】
1.一種硅晶棒切割用料板托架，其特征在于:包括托板(I)和兩組提手機構(gòu)(3)，托板(O的中部設(shè)置有淺槽(2)，托板(I)的邊部和淺槽(2)中分別設(shè)有與兩種尺寸料板對應(yīng)的螺栓孔A(1l)和螺栓孔B (201)，所述提手機構(gòu)(3 )由緊固梁(303 )、連接桿(302 )和手柄(301)組成，且緊固梁(303)兩端的連接頭(304)與托板(I)的兩邊部連接，連接桿(302)設(shè)置在緊固梁(303)上，其與緊固梁(303)平行，手柄(301)設(shè)置在連接桿(302)的中部位置；所述淺槽(2)上設(shè)置有與緊固梁(303)平行的加強筋(5)，加強筋(5)的兩端分別與淺槽(2)的兩側(cè)壁固定連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶棒切割用料板托架，其特征在于:所述托板(I)上還設(shè)置有連接件(4)，該連接件(4)的兩端固定在托板(I)的兩側(cè)邊緣。
【專利摘要】一種硅晶棒切割用料板托架，包括托板和兩組提手機構(gòu)，托板的中部設(shè)置有淺槽，托板的邊部和淺槽中分別設(shè)有與兩種尺寸料板對應(yīng)的螺栓孔A和螺栓孔B，所述提手機構(gòu)由緊固梁、連接桿和手柄組成，且緊固梁兩端的連接頭與托板的兩邊部連接，連接桿設(shè)置在緊固梁上，其與緊固梁平行，手柄設(shè)置在連接桿的中部位置。本實用新型通過在托板上設(shè)置兩組螺栓孔，這兩組螺栓孔的位置與兩種料板上的螺栓孔位置相匹配，從而通過連接螺栓將料板固定在托板上，工人在轉(zhuǎn)運時雙手提起手柄即可完成轉(zhuǎn)運，具有結(jié)構(gòu)簡單、制作成本低、安全可靠等優(yōu)點，提高了工人的工作效率，并避免了安全隱患。
【IPC分類】B28D5/04, B28D7/00
【公開號】CN204844528
【申請?zhí)枴緾N201520475624
【發(fā)明人】李戰(zhàn)國, 史舸, 寇文杰, 王曉飛
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月6日