專利名稱：輥模、制造輥模的方法及采用輥模形成薄膜圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及輥模、制造輥模的方法以及采用輥模形成薄膜圖案的方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)前已經(jīng)采用了各種平板顯示裝置，以解決陰極射線管龐大的重量和體積問題。 平板顯示裝置例如包括液晶顯示裝置、場(chǎng)致發(fā)射顯示裝置、等離子顯示板裝置以及電致發(fā)光(EL)顯示裝置。這類平板顯示裝置包括通過掩模處理形成的多個(gè)薄膜，該掩模處理包括一系列沉積(涂覆)、曝光、顯影和蝕刻處理。但是掩模處理比較復(fù)雜，其不利之處是增加了制造成本。因此，近年來人們正在研究通過采用如圖IA所示的輥模10的壓印法來形成薄膜。通過蝕刻處理對(duì)基輥14的表面進(jìn)行構(gòu)圖而形成輥模10。具體而言，順序地形成基輥14表面上的蝕刻保護(hù)層以及掩模圖案，通過將掩模圖案作為掩模的初次蝕刻處理對(duì)蝕刻保護(hù)層進(jìn)行構(gòu)圖，通過將構(gòu)圖后的蝕刻保護(hù)層作為掩模的二次蝕刻處理對(duì)基輥14的表面進(jìn)行構(gòu)圖，從而獲得具有凹槽12的輥模10。輥模10需要經(jīng)過兩次蝕刻處理，因此整個(gè)制造過程變得復(fù)雜。基輥14的直徑經(jīng)過兩次蝕刻處理后減小，其不利之處是引起輥模10的最終尺寸的變化及其變形。為了解決這些問題，如圖IB所示，現(xiàn)已提出一種方法，其將通過在柔性基板18上形成圖案層20而獲得的平板模具22附連到基輥16。然而，在將基輥16附連到平板模具 22的過程中經(jīng)常出現(xiàn)未對(duì)準(zhǔn)的現(xiàn)象，其不利之處是造成尺寸誤差。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明致力于一種輥模、一種制造輥模的方法以及一種采用輥模形成薄膜圖案的方法，其基本上解決了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)而造成的一個(gè)或多個(gè)問題。本發(fā)明的一個(gè)目標(biāo)是提供一種輥模、一種制造輥模的方法以及一種采用輥模形成薄膜圖案的方法，以避免模具的尺寸變化，并簡(jiǎn)化整個(gè)制造過程。為了實(shí)現(xiàn)該目標(biāo)和其它優(yōu)點(diǎn)并根據(jù)本發(fā)明的用途，正如此處具體實(shí)施和詳細(xì)描述的那樣，提供了一種制造輥模的方法，該方法包括以下步驟設(shè)置具有母圖案(master pattern)的剛性基板或柔性基板；在具有所述母圖案的所述基板上設(shè)置基輥；在具有所述母圖案的所述基板上形成模具表面層；在所述模具表面層或所述基輥上形成粘結(jié)樹脂層； 在所述剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)所述基輥，從而在所述基輥上形成所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層；以及對(duì)形成在所述基輥上的所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層進(jìn)行固化， 從而將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定在所述基輥上。設(shè)置具有所述母圖案的所述剛性基板或柔性基板的步驟包括形成包括凸出圖案和凹槽圖案的母圖案層，從而將所述母圖案設(shè)置在具有平坦表面的所述剛性基板或柔性基板上，其中所述母圖案層由能夠被剝離的有機(jī)材料形成，其中所述模具表面層由類鉆碳 (DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)形成，其中所述粘結(jié)樹脂層為可熱固化或可光固化粘結(jié)劑。該方法還包括在所述模具表面層和所述母圖案層之間形成防粘層。該方法還包括在將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定在所述基輥上之后，通過剝離處理去除保留在所述模具表面層上的母圖案層。以如下方式實(shí)現(xiàn)在所述剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)所述基輥的步驟在所述柔性基板的一端連接到解繞機(jī)而所述柔性基板的另一端連接到重繞機(jī)并且使所述柔性基板保持水平的情況下，在所述柔性基板上滾動(dòng)所述基輥。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種制造輥模的方法，該方法包括以下步驟設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板；在具有所述母圖案的所述基板上設(shè)置基輥；在具有所述母圖案的所述基板上形成粘結(jié)樹脂層；在所述剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)所述基輥，從而將所述粘結(jié)樹脂層轉(zhuǎn)印到所述基輥；在所述粘結(jié)樹脂層上形成模具表面層；以及對(duì)形成在所述基輥上的所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層進(jìn)行固化，從而將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定在所述基輥上。設(shè)置具有所述母圖案的所述剛性基板或柔性基板的步驟包括形成包括凸出圖案和凹槽圖案的母圖案層，從而將所述母圖案設(shè)置在具有平坦表面的所述剛性基板或柔性基板上，其中所述母圖案層由能夠剝離的有機(jī)材料形成，其中所述模具表面層由類鉆碳 (DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)形成，其中所述粘結(jié)樹脂層為可熱固化或可光固化粘結(jié)劑。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種輥模，該輥模包括基輥；粘結(jié)樹脂層，其形成在所述基輥上；以及模具表面層，其形成在所述粘結(jié)樹脂層之間及所述粘結(jié)樹脂層之上。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種形成薄膜圖案的方法，該方法包括以下步驟 設(shè)置輥模，所述輥模包括基輥、形成在所述基輥上的粘結(jié)樹脂層以及形成在所述粘結(jié)樹脂層之間及所述粘結(jié)樹脂層之上的模具表面層；在所述輥?；蚧迳闲纬捎∷⒁?；以及在所述基板上滾動(dòng)所述輥模，從而在所述基板上形成薄膜圖案。應(yīng)當(dāng)理解，關(guān)于本發(fā)明的上述一般性描述和下列詳細(xì)描述都是示例性和說明性的，旨在對(duì)所要求保護(hù)的發(fā)明提供深入的解釋。


附圖用于提供對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步的理解并且加入和構(gòu)成了本申請(qǐng)的一部分。這些附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施方式并與文字說明共同解釋本發(fā)明的原理。其中圖1A-1B是示出了常規(guī)輥模的截面圖；圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的形成薄膜圖案的印刷裝置或壓印裝置的立體圖；圖3A-3C是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖；圖4A-4C是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖；圖5A-5C是示出了根據(jù)第三實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖；圖6是示出了形成在如圖:3B、4B、5A所示的母圖案層和模具表面層之間的防粘層的截面圖；圖7A-7C是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的通過采用輥模的壓印方法來形成薄膜圖案的方法的示意圖8A-8C是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的通過采用輥模的印刷方法來形成薄膜圖案的方法的示意圖；圖9A-9D是示出了根據(jù)第三實(shí)施方式的通過采用輥模的印刷方法來形成薄膜圖案的方法的示意圖；以及圖10是示出了通過根據(jù)本發(fā)明的形成薄膜圖案的方法而形成的液晶顯示板的透視圖。
具體實(shí)施例方式下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述。圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的形成薄膜圖案的印刷裝置或壓印裝置的立體圖。圖2所示的印刷裝置或壓印裝置包括印刷液供應(yīng)器120和輥模140。印刷液供應(yīng)器120存儲(chǔ)印刷液。在薄膜構(gòu)圖處理中，提供所存儲(chǔ)的印刷液給采用印刷方法的輥模140或采用壓印方法的基板101。輥模140在基板101上轉(zhuǎn)動(dòng)，從而與傳送帶118所傳送的基板101接觸。另選地， 基板101固定，而輥模140運(yùn)動(dòng)并與基板101接觸。在薄膜構(gòu)圖處理中，來自印刷液供應(yīng)器120的印刷液通過印刷方法而注入輥模 140的凹槽148。當(dāng)輥模140在基板101上滾動(dòng)時(shí)，輥模140的凹槽148內(nèi)的印刷液被轉(zhuǎn)印到基板101上。此外，在薄膜構(gòu)圖期間，輥模140采用壓印方法在施加了印刷液的基板101上滾動(dòng)，從而與之接觸。這樣的輥模140包括基輥144、粘結(jié)樹脂層142和模具表面層146。粘結(jié)樹脂層142將基輥144粘結(jié)到模具表面層146。此外，當(dāng)輥模140在基板101 上滾動(dòng)時(shí)，粘結(jié)樹脂層142能補(bǔ)償從輥模140施加到基板101的應(yīng)力。在下述的輥模140 的形成過程中，當(dāng)基輥144在剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)時(shí)，粘結(jié)樹脂層142能補(bǔ)償從基輥 144施加到剛性基板或柔性基板的應(yīng)力。粘結(jié)樹脂層142由可紫外線固化或可熱固化的粘結(jié)劑形成，例如設(shè)置在基輥144和模具表面層146之間的密封劑。模具表面層146由疏水材料形成，例如呈現(xiàn)高耐用性、優(yōu)秀力學(xué)性能和脫模(分離)性能的類鉆碳(DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)。模具表面層146形成在粘結(jié)樹脂層142和基輥144之上，從而具有與將要形成在基板101上的圖案形狀相同或相反的凹槽。圖3A-3C是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖。如圖3A所示，在平坦剛性基板110上形成具有凹槽圖案11 和凸出圖案112b的母圖案層112。母圖案層112采用能夠剝離的有機(jī)材料(如光刻膠)形成，并且通過光刻法、全息光刻、激光處理、電子束處理、聚焦離子束處理等對(duì)材料進(jìn)行構(gòu)圖。同時(shí)，分別形成母圖案層 112和剛性基板110，或者通過對(duì)剛性基板110進(jìn)行構(gòu)圖而在其上形成具有凹槽圖案和凸出圖案的母圖案。接著，沿著母圖案層112的凸出圖案112b和凹槽圖案11 在母圖案層112上形成模具表面層146。模具表面層146由疏水材料形成，例如呈現(xiàn)高耐用性、優(yōu)秀力學(xué)性能和脫模(分離)性能的類鉆碳(DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)。在模具表面層146上設(shè)置施加了粘結(jié)樹脂層142的基輥144。同時(shí)，可以在模具表面層146上而不在基輥144上形成粘結(jié)樹脂層142。粘結(jié)樹脂層142由可紫外線固化或可熱固化的粘結(jié)劑形成，例如密封劑。如圖;3B所示，具有粘結(jié)樹脂層142的基輥144在具有模具表面層146的剛性基板 110上滾動(dòng)。根據(jù)基輥144在剛性基板110上滾動(dòng)時(shí)施加的壓力，在基輥144上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凸出圖案112b的模具表面層146，使該模具表面層146與基輥144接觸，并且在粘結(jié)樹脂層142上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凹槽圖案11 的模具表面層146。因此，根據(jù)基輥144的轉(zhuǎn)動(dòng)所形成的壓力，在基輥144上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凸出圖案 112b的模具表面層146，使該模具表面層146與基輥144接觸，并且在粘結(jié)樹脂層142上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凹槽圖案11 的模具表面層146。接著，通過紫外線照射或加熱而固化粘結(jié)樹脂層142。結(jié)果，設(shè)置在基輥144上的模具表面層146和粘結(jié)樹脂層142被固化并粘結(jié)和固定到基輥144上。因此，如圖3C所示，在粘結(jié)樹脂層142之間及其上形成模具表面層146，以實(shí)現(xiàn)具有與粘結(jié)樹脂層142之間區(qū)域?qū)?yīng)的凹槽148的輥模140。圖4A-4C是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖。如圖4A所示，在平坦剛性基板110上形成具有凹槽圖案11 和凸出圖案112b的母圖案層112。母圖案層112采用能夠剝離的有機(jī)材料(如光刻膠)形成，并且通過光刻法、全息光刻、激光處理、電子束處理、聚焦離子束處理等對(duì)材料進(jìn)行構(gòu)圖。接著，沿著母圖案層112的凸出圖案112b和凹槽圖案11 在母圖案層112上形成模具表面層146。模具表面層146由疏水材料形成，例如呈現(xiàn)高耐用性、優(yōu)秀力學(xué)性能和脫模(分離)性能的類鉆碳(DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)。在模具表面層146上設(shè)置施加了粘結(jié)樹脂層142的基輥144。同時(shí)，可以在模具表面層146上而不在基輥144上形成粘結(jié)樹脂層142。粘結(jié)樹脂層142由可紫外線固化或可熱固化的粘結(jié)劑形成，例如密封劑。 如圖4B所示，具有模具表面層146的柔性基板110的兩端在重繞機(jī)118和解繞機(jī) 116上滾動(dòng)，從而使柔性基板110保持水平。也即是說，柔性基板110的一端連接到解繞機(jī) 116，而其另一端連接到重繞機(jī)118。此時(shí)，在重繞機(jī)118和解繞機(jī)116上滾動(dòng)的柔性基板 110的兩端可以形成或不形成母圖案層112和模具表面層146。接著，具有粘結(jié)樹脂層142的基輥144在具有模具表面層146的柔性基板110上滾動(dòng)。因此，模具表面層146被轉(zhuǎn)印并粘結(jié)到粘結(jié)樹脂層142上。此時(shí)，根據(jù)基輥144在模具表面層146上滾動(dòng)時(shí)施加的壓力，在基輥144上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凸出圖案112b 的模具表面層146，使該模具表面層146與基輥144接觸，并且在粘結(jié)樹脂層142上形成對(duì)應(yīng)于母圖案層112的凹槽圖案11 的模具表面層146。接著，通過紫外線照射或加熱而固化粘結(jié)樹脂層142。結(jié)果，設(shè)置在基輥144上的模具表面層146和粘結(jié)樹脂層142被固化并粘結(jié)和固定到基輥144上。因此，如圖4C所示，在粘結(jié)樹脂層142之間及其上形成模具表面層146，以實(shí)現(xiàn)具有與粘結(jié)樹脂層142之間區(qū)域?qū)?yīng)的凹槽148的輥模140。圖5A-5C是示出了根據(jù)第三實(shí)施方式的制造圖2所示的輥模的方法的截面圖。
如圖5A所示，在剛性或柔性基板110上形成具有凹槽圖案11 和凸出圖案112b 的母圖案層112。母圖案層112采用能夠剝離的有機(jī)材料(如光刻膠)形成，并且通過光刻法、全息光刻、激光處理、電子束處理、聚焦離子束處理等對(duì)材料進(jìn)行構(gòu)圖。接著，在母圖案層112上形成粘結(jié)樹脂層142。粘結(jié)樹脂層142由可紫外線固化或可熱固化的粘結(jié)劑形成，例如密封劑。接著，基輥144在具有粘結(jié)樹脂層142的柔性基板110上滾動(dòng)。因此，粘結(jié)樹脂層 142被轉(zhuǎn)印到基輥144從而形成于基輥144上，如圖5B所示。如圖5C所示，通過濺射或PECVD，在具有粘結(jié)樹脂層142的基輥144上形成模具表面層146。模具表面層146由疏水材料形成，例如呈現(xiàn)高耐用性、優(yōu)秀力學(xué)性能和脫模(分離)性能的類鉆碳(DLC)、二氧化硅(SiO2)或氧化銦錫(ITO)。在粘結(jié)樹脂層142之間及其上形成模具表面層146，以實(shí)現(xiàn)具有設(shè)置在相鄰兩個(gè)粘結(jié)樹脂層142之間的區(qū)域內(nèi)的凹槽148的輥模140。同時(shí)，如圖:3B、4B、5A所示，對(duì)母圖案層112進(jìn)行防粘處理，或者如圖6所示，在模具表面層146(或粘結(jié)樹脂層14 與母圖案層112之間形成防粘層122。防粘層122用于在母圖案層112和模具表面層146 (見圖!3B、4A，或圖5A的粘結(jié)樹脂層14 脫模(分離)時(shí)，防止母圖案層112沿著模具表面層146或粘結(jié)樹脂層142粘附到輥模140。防粘層122由氟辛基三氯硅烷(FOTS :fluoro-octyl-trichloro-silane)或全
^ ^ ,((heptadecaf luoro-l, 1，2, 3-tetrahydrodecyl) trichlorosilane HDF)形成。除了進(jìn)行防粘處理或形成防粘層以外，還可采用疏水材料形成母圖案層112，采用親水材料形成基輥144，以改進(jìn)輥模140的脫模(分離)處理。此外，當(dāng)母圖案層112沿著模具表面層146或粘結(jié)樹脂層142粘附于輥模140時(shí)， 可通過剝離處理從輥模140去除母圖案層112。圖7A-7C是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的通過采用輥模的壓印方法而對(duì)薄膜進(jìn)行構(gòu)圖的方法的示意圖。在圖7A中，通過印刷液提供器120將印刷液130施加到基板101。接著，如圖7B 所示，對(duì)包括基輥144、粘結(jié)樹脂層142和母圖案層146的輥模140進(jìn)行校準(zhǔn)。輥模140在基板101上滾動(dòng)。此時(shí)，通過設(shè)置在輥模140的基輥144中的固化裝置(如紫外線燈)或者設(shè)置在基板101的背面的固化裝置來固化印刷液130。結(jié)果如圖7C所示，印刷液130以薄膜圖案的形式形成在基板101上。圖8A-8C是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的通過采用輥模的印刷方法而對(duì)薄膜進(jìn)行構(gòu)圖的方法的示意圖。如圖8A所示，提供了包括基輥144、粘結(jié)樹脂層142和母圖案層146的輥模140。 通過印刷液提供器120將印刷液130注入輥模140的凹槽148。接著，如圖8B所示，被注入了印刷液130的輥模140在基板101上滾動(dòng)。因此，印刷液130被轉(zhuǎn)印、干燥并固化在基板101上，從而形成為薄膜圖案，如圖8C所示。圖9A-9D是示出了根據(jù)第三實(shí)施方式的通過采用輥模的印刷方法而對(duì)薄膜進(jìn)行構(gòu)圖的方法的示意圖。如圖9A所示，提供了包括基輥144、粘結(jié)樹脂層142和母圖案層146的輥模140。通過印刷液提供器120將印刷液130注入輥模140的凹槽148。接著，如圖9B所示，印刷液130被轉(zhuǎn)印到轉(zhuǎn)印輥132，轉(zhuǎn)印輥132在轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)與輥模140嚙合。具有印刷液130的輥模140在基板101上滾動(dòng)。因此，印刷液130被轉(zhuǎn)印、 干燥并固化在基板101上，從而形成為薄膜圖案，如圖9D所示。具體地，如圖10所示，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示面板包括薄膜晶體管基板150、濾色器基板180以及夾設(shè)在薄膜晶體管基板150和濾色器基板180之間的液晶層160。濾色器基板180包括依次設(shè)置在上基板182上的黑矩陣184、濾色器186、公共電極188和柱狀間隔(未示出)。薄膜晶體管基板150包括在下基板152上相交的多條選通線156和多條數(shù)據(jù)線 154、與選通線156和數(shù)據(jù)線IM的每個(gè)交叉點(diǎn)相鄰的薄膜晶體管158以及形成在交叉點(diǎn)形成的像素區(qū)域中的像素電極170。根據(jù)本發(fā)明，可以通過采用輥模的印刷處理來形成有機(jī)圖案，作為對(duì)由有機(jī)材料形成的薄膜圖案(如液晶顯示面板的濾色器186、黑底184和柱狀間隔)進(jìn)行構(gòu)圖以及對(duì)由無機(jī)材料形成的薄膜圖案(如液晶顯示面板的薄膜晶體管188、選通線186、數(shù)據(jù)線184和像素電極170)進(jìn)行構(gòu)圖的掩模。此外，根據(jù)本發(fā)明的輥?？捎糜谠谄桨屣@示裝置(如等離子顯示板、電致發(fā)光 (EL)顯示板、場(chǎng)致發(fā)射顯示裝置以及液晶顯示板)上形成厚膜或薄膜。本發(fā)明通過施加和轉(zhuǎn)印處理來形成輥模，而未采用任何傳統(tǒng)蝕刻處理，從而降低了制造過程的復(fù)雜性和成本，并能防止蝕刻處理所造成的輥模尺寸變化。此外，由于模具表面層(輥模的最外層)由堅(jiān)硬的疏水材料形成，因此根據(jù)本發(fā)明的輥模、制造輥模的方法以及采用輥模形成薄膜圖案的方法能保證輥模的力學(xué)性能、耐用性和脫模(分離)。此外，由于在由堅(jiān)硬材料形成的模具表面層與由堅(jiān)硬材料形成的基輥之間形成了柔軟的粘結(jié)樹脂層，因此本發(fā)明能在輥?zhàn)訅河r(shí)獲得應(yīng)力補(bǔ)償效果。此外，在基輥在剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)時(shí)，本發(fā)明能補(bǔ)償輥對(duì)輥壓印過程中由于拉伸、壓力和加熱造成的基板變形。因此，即使在形成輥模之后，本發(fā)明也能保持母圖案層的尺寸。顯而易見，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變化。因此，本發(fā)明涵蓋了落入所附權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)的各種修改和變化。本申請(qǐng)要求2010年2月23日提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)P2010-0016413以及2010年4 月2日提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)P2010-0030432的優(yōu)先權(quán)，在此通過引用而全文合并它們到本
申請(qǐng)中。
權(quán)利要求
1.一種制造輥模的方法，該方法包括以下步驟 設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板； 在具有所述母圖案的所述基板上設(shè)置基輥； 在具有所述母圖案的所述基板上形成模具表面層； 在所述模具表面層或所述基輥上形成粘結(jié)樹脂層；在所述剛性基板或所述柔性基板上滾動(dòng)所述基輥，從而在所述基輥上形成所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層；以及對(duì)形成在所述基輥上的所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層進(jìn)行固化，從而將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定在所述基輥上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板的步驟包括形成包括凸出圖案和凹槽圖案的母圖案層，從而將所述母圖案設(shè)置在具有平坦表面的所述剛性基板或所述柔性基板上，其中所述母圖案層由能夠被剝離的有機(jī)材料形成， 其中所述模具表面層由類鉆碳DLC、二氧化硅SW2或氧化銦錫ITO形成， 其中所述粘結(jié)樹脂層為可熱固化或可光固化的粘結(jié)劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，該方法還包括以下步驟在所述模具表面層和所述母圖案層之間形成防粘層。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，該方法還包括以下步驟在將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定到所述基輥上之后，通過剝離處理來去除保留在所述模具表面層上的母圖案層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，以如下方式實(shí)現(xiàn)所述在所述剛性基板或所述柔性基板上滾動(dòng)所述基輥的步驟在所述柔性基板的一端連接到解繞機(jī)而所述柔性基板的另一端連接到重繞機(jī)并且使所述柔性基板保持水平的情況下，在所述柔性基板上滾動(dòng)所述基棍。
6.一種制造輥模的方法，該方法包括以下步驟 設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板； 在具有所述母圖案的所述基板上設(shè)置基輥； 在具有所述母圖案的所述基板上形成粘結(jié)樹脂層；在所述剛性基板或所述柔性基板上滾動(dòng)所述基輥，從而將所述粘結(jié)樹脂層轉(zhuǎn)印到所述基輥；在所述粘結(jié)樹脂層上形成模具表面層；以及對(duì)形成在所述基輥上的所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層進(jìn)行固化，從而將所述粘結(jié)樹脂層和所述模具表面層粘結(jié)并固定在所述基輥上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板的步驟包括形成包括凸出圖案和凹槽圖案的母圖案層，從而將所述母圖案設(shè)置在具有平坦表面的所述剛性基板或所述柔性基板上，其中所述母圖案層由能夠被剝離的有機(jī)材料形成， 其中所述模具表面層由類鉆碳DLC、二氧化硅SiO2或氧化銦錫ITO形成， 其中所述粘結(jié)樹脂層為可熱固化或可光固化的粘結(jié)劑。
8.一種輥模，該輥模包括基輥；形成在所述基輥上的粘結(jié)樹脂層；以及形成在所述粘結(jié)樹脂層之間及所述粘結(jié)樹脂層之上的模具表面層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的輥模，其中所述模具表面層由類鉆碳DLC、二氧化硅S^2或氧化銦錫ITO形成，并且其中所述粘結(jié)樹脂層為可熱固化或可光固化的粘結(jié)劑。
10.一種形成薄膜圖案的方法，該方法包括以下步驟設(shè)置輥模，所述輥模包括基輥、形成在所述基輥上的粘結(jié)樹脂層以及形成在所述粘結(jié)樹脂層之間及所述粘結(jié)樹脂層之上的模具表面層； 在所述輥?；蚧迳闲纬捎∷⒁?；以及在所述基板上滾動(dòng)所述輥模，從而在所述基板上形成薄膜圖案。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述模具表面層由類鉆碳DLC、二氧化硅SiO2或氧化銦錫ITO形成，其中所述粘結(jié)劑層為可熱固化或可光固化的粘結(jié)劑。
全文摘要
本發(fā)明提供了輥模、制造輥模的方法以及采用輥模形成薄膜圖案的方法，以避免模具的尺寸變化，并簡(jiǎn)化整個(gè)制造過程。該制造輥模的方法包括設(shè)置具有母圖案的剛性基板或柔性基板；在具有母圖案的基板上設(shè)置基輥；在具有母圖案的基板上形成模具表面層；在模具表面層或基輥上形成粘結(jié)樹脂層；在剛性基板或柔性基板上滾動(dòng)基輥，從而在基輥上形成粘結(jié)樹脂層和模具表面層；以及對(duì)形成在基輥上的粘結(jié)樹脂層和模具表面層進(jìn)行固化，從而將粘結(jié)樹脂層和模具表面層粘結(jié)并固定在基輥上。
文檔編號(hào)B41C1/00GK102211441SQ2011100410
公開日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月23日
發(fā)明者南承熙, 李南錫, 李臣馥 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司