本發(fā)明涉及噴嘴板、液滴噴出頭以及液滴噴出裝置。
背景技術(shù):
1、以往,如專利文獻1所示,在液滴噴出裝置的液滴噴出頭的噴嘴板形成有具有噴嘴開口部的噴嘴流路。而且,墨水等液體穿過噴嘴流路而從噴嘴開口部作為液滴噴出。
2、專利文獻1:日本專利第5519263號公報
3、然而,為了形成較高分辨率的圖像,需要在噴嘴板上高密度地排列噴嘴開口部。另一方面,為了確保液滴的射出特性,需要在某種程度上確保噴嘴流路的體積。
4、為了使噴嘴開口部高密度,并且確保噴嘴流路的體積,考慮將與液滴噴出面對置的面的開口部設(shè)為在一個方向上長條的細長形狀。然而,在將該開口部設(shè)為細長形狀的情況下,發(fā)現(xiàn)了與將該開口部設(shè)為正方形的噴嘴流路相比,產(chǎn)生較多射出不足的趨勢。
5、認為這是由在以大液滴且高速地噴出液滴的情況下,液體向噴嘴流路內(nèi)大幅返回的彎液面的形狀引起的。即,若將該開口部設(shè)為細長形狀,則如圖24a以及圖24b所示,彎液面的擴展方式在短邊側(cè)和長邊側(cè)不同。其結(jié)果是,認為彎液面的形狀變得不穩(wěn)定,產(chǎn)生射出不足。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于,提供能夠兼得噴嘴開口部的高密度化和適當(dāng)?shù)纳涑鎏匦缘膰娮彀濉⒁旱螄姵鲱^以及液滴噴出裝置。
2、第一技術(shù)方案所記載的發(fā)明是一種噴嘴板,具備多個噴嘴流路,所述噴嘴流路在基板的第一面形成有用于噴出液滴的噴嘴開口部,其中,
3、上述噴嘴流路具備:
4、噴嘴錐形部,隨著從上述第一面朝向與上述第一面對置的第二面,與液滴的噴出方向正交的截面積亦即流路面積逐漸擴大;以及
5、直線連通部,與上述噴嘴錐形部的上述第二面?zhèn)鹊亩瞬窟B通,上述直線連通部的對置的一組面大致平行,
6、在上述第二面中,上述直線連通部的沿著上述對置的一組面的第一方向的長度比與上述第一方向正交的第二方向的長度長,
7、上述噴嘴錐形部具備:錐形面,從上述第一方向的端部朝向上述噴嘴開口部的中心傾斜;以及一對臺階面,夾著上述噴嘴開口部在該錐形面形成臺階,
8、上述臺階面是與噴嘴中心軸平行的下垂面或者是同與上述噴嘴中心軸平行的軸所成的角度比上述錐形面小的傾斜面。
9、第二技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第一技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
10、穿過上述噴嘴開口部的中心的上述第一方向的截面中的上述一對臺階面的間隔與上述第二方向的長度相同。
11、第三技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第一技術(shù)方案或者第二技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
12、從上述第一面到上述臺階面的上述第二面?zhèn)鹊亩瞬繛橹沟拈L度為彎液面上升的最大高度以上。
13、第四技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第三技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
14、從上述第一面到上述臺階面的上述第二面?zhèn)鹊亩瞬繛橹沟拈L度為20μm以上。
15、第五技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第三技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
16、從上述第一面到上述臺階面的上述第二面?zhèn)鹊亩瞬繛橹沟拈L度為60μm以下。
17、第六技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第一技術(shù)方案或者第二技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
18、上述噴嘴流路具備與上述噴嘴錐形部的上述第一面?zhèn)鹊亩瞬窟B續(xù)的噴嘴直線部,
19、構(gòu)成上述噴嘴直線部的面同與噴嘴中心軸平行的軸所成的角度大致恒定,
20、上述噴嘴直線部的上述第一面?zhèn)鹊亩瞬康牧髀访娣e為上述第二面?zhèn)鹊亩瞬康牧髀访娣e以下。
21、第七技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第一技術(shù)方案或者第二技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
22、上述基板由單晶硅構(gòu)成,
23、上述噴嘴錐形部由{100}面的一部分和{111}面構(gòu)成,
24、上述直線連通部由{100}面的一部分構(gòu)成。
25、第八技術(shù)方案所記載的發(fā)明是,根據(jù)第一技術(shù)方案或者第二技術(shù)方案所記載的噴嘴板,其中,
26、在上述直線連通部的上述第一面?zhèn)鹊亩瞬颗c上述噴嘴錐形部的上述第二面?zhèn)鹊亩瞬恐g具備具有與上述第一面以及上述第二面平行的面的平面部。
27、第九技術(shù)方案所記載的發(fā)明是一種液滴噴出頭,搭載于液滴噴出裝置,其中,
28、具備第一技術(shù)方案或者第二技術(shù)方案所記載的噴嘴板。
29、第十技術(shù)方案所記載的發(fā)明是一種液滴噴出裝置,其中,
30、具備第九技術(shù)方案所記載的液滴噴出頭。
31、根據(jù)本發(fā)明,能夠提供能夠兼得噴嘴開口部的高密度化和適當(dāng)?shù)纳涑鎏匦缘膰娮彀?、液滴噴出頭以及液滴噴出裝置。
1.一種噴嘴板,具備多個噴嘴流路,所述噴嘴流路在基板的第一面形成有用于噴出液滴的噴嘴開口部,其中,
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴板,其中,
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴板,其中,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴板,其中,
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴板,其中,
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴板,其中,
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴板,其中,
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴板,其中,
9.一種液滴噴出頭,搭載于液滴噴出裝置,其中,
10.一種液滴噴出裝置,其中,