1.一種浸沒式光刻設(shè)備，包括：
投影系統(tǒng)，被配置成將經(jīng)圖案化的輻射束通過浸沒液體投影到襯底的目標(biāo)部分上，所述投影系統(tǒng)的外表面包括具有非平面形狀的第一表面；以及
元件，被附接至所述第一表面并且被定位成使得所述元件的至少一部分在使用中接觸所述浸沒液體，其中：
所述元件包括處于預(yù)成型狀態(tài)且符合所述第一表面的所述非平面形狀的連續(xù)整體材料的閉合環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中：
所述連續(xù)整體材料包括疏液性材料，所述疏液性材料相對于所述浸沒液體是疏液性的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其中：
所述元件借助于具有與所述連續(xù)整體材料的組成不同的組成的粘合劑被粘附至所述第一表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中：
所述連續(xù)整體材料包括與所述粘合劑直接接觸的疏液性材料，所述疏液性材料相對于所述浸沒液體是疏液性的。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的設(shè)備，其中：
所述連續(xù)整體材料包括疏液性材料，所述疏液性材料相對于所述浸沒液體是疏液性的；
所述元件包括疏液性材料層和支撐層；
所述疏液性材料層由所述疏液性材料形成；
所述支撐層支撐所述疏液性材料層并且具有比所述疏液性材料層更高的剛性；以及
所述支撐層與所述粘合劑直接接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述疏液性材料層包括形成在所述支撐層上的涂層。
7.根據(jù)任一項(xiàng)前述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其中所述元件能夠以單件且以使得所述閉合環(huán)保持閉合的方式與所述第一表面斷開連接，或者其中所述元件能夠通過手動(dòng)地將所述元件從所述第一表面上剝離而與所述第一表面斷開連接。
8.根據(jù)任一項(xiàng)前述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其中所述連續(xù)整體材料包括PTFE和/或其中所述第一表面的至少一部分是截頭圓錐形的。
9.根據(jù)任一項(xiàng)前述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其中所述元件被配置成使得所述元件即使沒有被附接至所述第一表面也將保持所述第一表面的所述非平面形狀。
10.根據(jù)任一項(xiàng)前述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其中：
所述外表面進(jìn)一步包括第二表面，所述第二表面在所述第一表面的徑向外側(cè)；
所述第二表面相對于所述第一表面傾斜；
所述元件包括形成連續(xù)整體材料的閉合環(huán)的第一整體形成部分，所述第一整體形成部分被附接至所述第一表面；
所述元件包括形成連續(xù)整體材料的閉合環(huán)的第二整體形成部分，所述第二整體形成部分被附接至所述第二表面；以及
所述第一整體形成部分沿著形成閉合環(huán)的連續(xù)線被整體地接合至所述第二整體形成部分。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中所述第二表面在沿著所述連續(xù)線的所有點(diǎn)處相對于所述第一表面傾斜和/或其中所述第二表面是平面的。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其中所述第一表面在出口表面的徑向外側(cè)，所述經(jīng)圖案化的輻射束沿著所述投影系統(tǒng)的投影軸線通過所述出口表面離開所述投影系統(tǒng)，并且所述第二表面垂直于所述投影軸線。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中的任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述元件能夠以單件且以使得所述第一整體形成部分的所述閉合環(huán)和所述第二整體形成部分的所述閉合環(huán)保持閉合的方式與所述第一表面和所述第二表面斷開連接，或者其中所述元件能夠通過手動(dòng)地將所述元件從所述第一表面和所述第二表面上剝離而與所述第一表面和所述第二表面斷開連接。
14.根據(jù)任一項(xiàng)前述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其中所述連續(xù)整體材料包括疏液性材料并且所述疏液性材料是疏水性的。
15.一種器件制造方法，包括：
使用投影系統(tǒng)將經(jīng)圖案化的輻射束通過浸沒液體投影到襯底的目標(biāo)部分上，其中：
所述投影系統(tǒng)的外表面包括具有非平面形狀的第一表面；以及
元件被附接至所述第一表面，所述元件被定位成使得所述元件的至少一部分在使用中接觸所述浸沒液體，其中：
所述元件包括處于預(yù)成型狀態(tài)且符合所述第一表面的所述非平面形狀的連續(xù)整體材料的閉合環(huán)。