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紫外線光罩的對(duì)位方法與對(duì)位裝置與流程

文檔序號(hào):11152737閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種紫外線光罩的對(duì)位方法,透鏡層設(shè)置在基板的表面上,所述紫外線光罩位于所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè),密封部設(shè)置在所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的表面上,所述紫外線光罩包括透光區(qū)域與掩蔽區(qū)域,其特征在于,所述對(duì)位方法包括:

步驟S1,獲取透鏡層的實(shí)際位置與所述透鏡層的預(yù)定位置的偏移值,所述實(shí)際位置為所述透鏡層相對(duì)于所述基板的中心的位置信息,所述預(yù)定位置為預(yù)定的所述透鏡層相對(duì)于所述基板的中心的位置信息;以及

步驟S2,根據(jù)所述偏移值進(jìn)行紫外線光罩與所述透鏡層的對(duì)位,以使所述透光區(qū)域與所述密封部對(duì)準(zhǔn),所述掩蔽區(qū)域與所述透鏡層的除所述密封部以外的區(qū)域?qū)?zhǔn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述基板與所述透鏡層接觸的表面上設(shè)置有至少兩個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記,所述步驟S1包括:

步驟S11,在基板的表面上設(shè)置包括至少兩個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記的所述透鏡層;以及

步驟S12,根據(jù)所述第一對(duì)位標(biāo)記的位置與所述第二對(duì)位標(biāo)記的位置計(jì)算所述偏移值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述基板的中心的坐標(biāo)與所述透鏡層的預(yù)定位置的中心坐標(biāo)相同,所述偏移值為所述透鏡層的中心的坐標(biāo)與所述基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述至少兩個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記關(guān)于所述基板的中心對(duì)稱(chēng)或者關(guān)于基板的對(duì)稱(chēng)軸對(duì)稱(chēng),所述基板的對(duì)稱(chēng)軸為所述基板的設(shè)置所述第一對(duì)位標(biāo)記的表面的中心線;各所述第二對(duì)位標(biāo)記設(shè)置在所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的表面上,所述至少兩個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記關(guān)于所述透鏡層的中心對(duì)稱(chēng)或者關(guān)于所述透鏡層的對(duì)稱(chēng)軸對(duì)稱(chēng),所述透鏡層的對(duì)稱(chēng)軸為所述透鏡層的設(shè)置所述第二對(duì)位標(biāo)記的表面的中心線。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述步驟S12包括:

步驟S121,獲取各所述第一對(duì)位標(biāo)記的坐標(biāo)與各所述第二對(duì)位標(biāo)記的坐標(biāo);

步驟S122,根據(jù)所述第一對(duì)位標(biāo)記的坐標(biāo)計(jì)算所述基板的中心的坐標(biāo),根據(jù)所述第二對(duì)位標(biāo)記的坐標(biāo)計(jì)算所述透鏡層的實(shí)際中心的坐標(biāo);以及

步驟S123,根據(jù)所述基板的中心的坐標(biāo)與所述透鏡層的實(shí)際中心的坐標(biāo)計(jì)算所述偏移值。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述紫外線光罩的靠近所述透鏡層的表面設(shè)置有第三對(duì)位標(biāo)記,所述步驟S2包括:

步驟S21,根據(jù)所述偏移值移動(dòng)圖像傳感器的鏡頭,使得所述圖像傳感器的鏡頭捕捉到所述第二對(duì)位標(biāo)記與所述第三對(duì)位標(biāo)記;以及

步驟S22,將所述第二對(duì)位標(biāo)記與所述第三對(duì)位標(biāo)記對(duì)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)所述紫外線光罩的對(duì)位。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述紫外線光罩的靠近所述透鏡層的表面設(shè)置有第三對(duì)位標(biāo)記,所述步驟S2包括:

步驟S21',將所述第一對(duì)位標(biāo)記與所述第三對(duì)位標(biāo)記對(duì)準(zhǔn);以及

步驟S22',根據(jù)所述偏移值調(diào)整所述紫外線光罩和所述基板的位置,并保持所述第一對(duì)位標(biāo)記與所述第三對(duì)位標(biāo)記對(duì)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)所述紫外線光罩的對(duì)位。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位方法,其特征在于,所述偏移值包括角度的偏移值、X方向的偏移值與Y方向的偏移值,X方向和Y方向與所述透鏡層的設(shè)置所述密封部的表面平行,且所述X方向與所述Y方向垂直。

9.一種紫外線光罩的對(duì)位裝置,透鏡層設(shè)置在基板的表面上,所述紫外線光罩位于所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè),密封部設(shè)置在所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的表面上,所述紫外線光罩包括透光區(qū)域與掩蔽區(qū)域,其特征在于,所述對(duì)位裝置包括:

偏移值獲取單元(1),用于獲取透鏡層的實(shí)際位置與所述透鏡層的預(yù)定位置的偏移值,所述實(shí)際位置為所述透鏡層相對(duì)于所述基板的中心的位置信息,所述預(yù)定位置為預(yù)定的所述透鏡層相對(duì)于所述基板的中心的位置信息;以及

對(duì)位單元(2),與所述偏移值獲取單元(1)電連接,所述對(duì)位單元(2)用于根據(jù)所述偏移值調(diào)整所述紫外線光罩的位置,以使所述透光區(qū)域與所述密封部對(duì)準(zhǔn),所述掩蔽區(qū)域與所述透鏡層的除所述密封部以外的區(qū)域?qū)?zhǔn),實(shí)現(xiàn)所述紫外線光罩與所述透鏡層的對(duì)位。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述透鏡層設(shè)置在基板的表面上,所述基板的與所述透鏡層接觸的表面上設(shè)置有至少兩個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記(11),所述偏移值獲取單元(1)包括:

透鏡層設(shè)置設(shè)備,用于在基板的表面上設(shè)置包括至少兩個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記(12)的所述透鏡層;以及

計(jì)算模塊,用于根據(jù)所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)的位置與所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)的位置計(jì)算所述偏移值。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述基板的中心的坐標(biāo)與所述透鏡層的預(yù)定位置的中心坐標(biāo)相同,所述偏移值為所述透鏡層的中心的坐標(biāo)與所述基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述至少兩個(gè)所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)關(guān)于所述基板的中心對(duì)稱(chēng)或者關(guān)于基板的對(duì)稱(chēng)軸對(duì)稱(chēng),所述基板的對(duì)稱(chēng)軸為所述基板的設(shè)置所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)的表面的中心線;各所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)設(shè)置在所述透鏡層的遠(yuǎn)離所述基板的表面上,所述至少兩個(gè)所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)關(guān)于所述透鏡層的中心對(duì)稱(chēng)或者關(guān)于所述透鏡層的對(duì)稱(chēng)軸對(duì)稱(chēng),所述透鏡層的對(duì)稱(chēng)軸為所述透鏡層的設(shè)置所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)的表面的中心線。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述計(jì)算模塊包括:

坐標(biāo)獲取子模塊,用于獲取各所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)的坐標(biāo)與各所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)的坐標(biāo);

坐標(biāo)計(jì)算子模塊,與所述坐標(biāo)獲取子模塊電連接,用于根據(jù)所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)的坐標(biāo)計(jì)算所述基板的中心的坐標(biāo),根據(jù)所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)的坐標(biāo)計(jì)算所述透鏡層的實(shí)際中心的坐標(biāo);以及

偏移值計(jì)算子模塊,與所述坐標(biāo)計(jì)算子模塊電連接,用于根據(jù)所述基板的中心的坐標(biāo)與所述透鏡層的實(shí)際中心的坐標(biāo)計(jì)算所述偏移值。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述紫外線光罩的靠近所述透鏡層的表面設(shè)置有第三對(duì)位標(biāo)記,所述對(duì)位單元(2)包括:

圖像傳感器,包括鏡頭與控制模塊,所述控制模塊一端與所述計(jì)算模塊電連接,另一端與所述鏡頭電連接,所述控制模塊用于控制所述鏡頭的位置,所述鏡頭用于顯示所述第一對(duì)位標(biāo)記(11)、所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)和/或所述第三對(duì)位標(biāo)記;以及

位移模塊,用于移動(dòng)所述基板和/或所述紫外線光罩,實(shí)現(xiàn)所述第三對(duì)位標(biāo)記與所述第二對(duì)位標(biāo)記(12)的對(duì)準(zhǔn)。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的對(duì)位裝置,其特征在于,所述偏移值包括角度的偏移值、X方向的偏移值與Y方向的偏移值,X方向和Y方向與所述透鏡層的設(shè)置所述密封部的表面平行,且所述X方向與所述Y方向垂直。

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