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紫外線(xiàn)光罩的對(duì)位方法與對(duì)位裝置與流程

文檔序號(hào):11152737閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N紫外線(xiàn)光罩的對(duì)位方法與對(duì)位裝置。透鏡層設(shè)置在基板的表面上,紫外線(xiàn)光罩位于透鏡層的遠(yuǎn)離基板的一側(cè),密封部設(shè)置在透鏡層的遠(yuǎn)離基板的表面上,紫外線(xiàn)光罩包括透光區(qū)域與掩蔽區(qū)域,該對(duì)位方法包括:步驟S1,獲取透鏡層的實(shí)際位置與透鏡層的預(yù)定位置的偏移值,實(shí)際位置為透鏡層相對(duì)于基板的中心的位置信息,預(yù)定位置為預(yù)定的透鏡層相對(duì)于基板的中心的位置信息;步驟S2,根據(jù)偏移值進(jìn)行紫外線(xiàn)光罩與透鏡層的對(duì)位,以使透光區(qū)域與密封部對(duì)準(zhǔn),掩蔽區(qū)域與透鏡層的除密封部以外的區(qū)域?qū)?zhǔn)。該對(duì)位方法使得該紫外線(xiàn)光罩能夠準(zhǔn)確地與透鏡層對(duì)位,避免了透鏡層的偏移導(dǎo)致的紫外線(xiàn)光罩不能準(zhǔn)確對(duì)位的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員:楊章程;晁蘇洋;王鴻宇;葛長(zhǎng)軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者:張家港康得新光電材料有限公司
文檔號(hào)碼:201610871673
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.30
技術(shù)公布日:2017.05.10

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