本發(fā)明涉及的是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機，屬于機械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

涂布機使用的光刻膠（光阻）經(jīng)過VCD（真空干燥機臺）動作變?yōu)闅鈶B(tài)藥劑，由高壓泵處理后，由氣態(tài)形式轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式，重新供給到藥液供給端，起到循環(huán)使用功能；目前使用的涂布藥劑無回收系統(tǒng)，只有循環(huán)系統(tǒng)，如果藥劑供給端處于滿狀態(tài)或者不供給狀態(tài)，則會將循環(huán)的藥劑直接從廢液端口排出，對材料造成浪費，故本發(fā)明針對藥劑直接從廢液端排出的問題設(shè)計解決；

現(xiàn)有技術(shù)在藥劑回收中存在設(shè)計上的缺陷導致藥劑從廢液端口排出，浪費材料加之藥劑材料價格較高，藥劑采購費用較高而且每個月消耗量極大，造成公司營運費用增加。現(xiàn)有的循環(huán)系統(tǒng)沒有考量藥劑回收的狀況，僅僅是在機臺側(cè)需要使用時進行供給，在不需要使用時直接排出，造成不必要的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出的是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機，其目的是在原有的涂布機藥劑循環(huán)系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加藥劑回收系統(tǒng)，在涂布機不需要使用時，將排出的藥劑回收存放，在機臺側(cè)需要使用時進行供給，從而將藥劑有效回收，達到可控及合理利用，降低不必要的消耗，經(jīng)測算單月降低成本30%，一年節(jié)省成本200萬元。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案：具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng)；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥、一個氣動閥連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)，藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經(jīng)過真空干燥裝置作業(yè)后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)形式存在，經(jīng)過高壓冷卻泵工作后，轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式形成可供使用的藥劑；

（2）當容器液位傳感器感應到4個藥劑儲存系統(tǒng)中的某個藥劑容器處于空狀態(tài)時，發(fā)出供給信號，供給信號控制的與空狀態(tài)的藥劑容器對應的電磁閥收到信號，控制氣動閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態(tài)的藥劑容器內(nèi)進行填充作業(yè)，并通過容器供給輸出系統(tǒng)將藥劑輸出，通過藥液信號控制藥液供給開關(guān)控制藥劑進入光刻膠輸出口；

（3）當藥劑儲存系統(tǒng)不需要進行供給作業(yè)時，供給信號關(guān)閉，在信號關(guān)閉對應的管道出口處設(shè)有藥劑回收系統(tǒng)，通過電磁閥信號控制氣動閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)進行存儲工作；當設(shè)備端口需要藥劑時，通過信號引導閥門控制，優(yōu)先將C藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)藥劑供給到4個藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)。

本發(fā)明的優(yōu)點：增加回收系統(tǒng)，提高藥劑使用率，節(jié)省材料消耗，節(jié)省費用，降低公司成本。

附圖說明

附圖1是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如附圖1所示，具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng)；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥、一個氣動閥結(jié)構(gòu)連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)，藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。

所述的藥劑循環(huán)系統(tǒng)包括4個藥劑儲存系統(tǒng)、藥液信號控制藥液供給開關(guān)、光刻膠輸出口；其中4個藥劑儲存系統(tǒng)由4個并聯(lián)的電磁閥-氣動閥-電磁閥連接而成，4個藥劑儲存系統(tǒng)中的A-1藥劑儲存系統(tǒng)和A-2藥劑儲存系統(tǒng)分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接A藥液信號控制藥液供給開關(guān)，B-1藥劑儲存系統(tǒng)和B-2藥劑儲存系統(tǒng)分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接B藥液信號控制藥液供給開關(guān)，A藥液信號控制藥液供給開關(guān)和B藥液信號控制藥液供給開關(guān)分別連接光刻膠輸出口。

所述的藥劑回收系統(tǒng)包括1個C藥劑儲存系統(tǒng)，所述C藥劑儲存系統(tǒng)的輸入端通過1個氣動閥-電磁閥結(jié)構(gòu)連接廢液排出口前的電磁閥，C藥劑儲存系統(tǒng)的輸出端通過1個電磁閥、一個氣動閥連接高壓冷卻泵的輸出端。

所述的藥劑儲存系統(tǒng)包括藥劑容器、容器供給輸出系統(tǒng)、容器液位傳感器；其中容器液位傳感器設(shè)于藥劑容器的內(nèi)部，容器供給輸出系統(tǒng)設(shè)于藥劑容器的輸出口。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經(jīng)過真空干燥裝置作業(yè)后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)形式存在，經(jīng)過高壓冷卻泵工作后，轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式形成可供使用的藥劑；

（2）當容器液位傳感器感應到4個藥劑儲存系統(tǒng)中的某個藥劑容器處于空狀態(tài)時，發(fā)出供給信號，供給信號控制的與空狀態(tài)的藥劑容器對應的電磁閥收到信號，控制氣動閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態(tài)的藥劑容器內(nèi)進行填充作業(yè)，并通過容器供給輸出系統(tǒng)將藥劑輸出，通過藥液信號控制藥液供給開關(guān)控制藥劑進入光刻膠輸出口；

（3）當藥劑儲存系統(tǒng)不需要進行供給作業(yè)時，供給信號關(guān)閉，在信號關(guān)閉對應的管道出口處設(shè)有藥劑回收系統(tǒng)，通過電磁閥信號控制氣動閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)進行存儲工作；當設(shè)備端口需要藥劑時，通過信號引導閥門控制，優(yōu)先將C藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)藥劑供給到4個藥劑儲存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)。