背景技術(shù)：

1、波導(dǎo)限制并且引導(dǎo)光(例如，通過實(shí)現(xiàn)光的多次內(nèi)部反射)，這允許光在波導(dǎo)內(nèi)傳播(例如，從波導(dǎo)的輸入端到波導(dǎo)的輸出端)。波導(dǎo)可以用于各種應(yīng)用，諸如光纖和集成光學(xué)電路。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在一些實(shí)現(xiàn)中，一種波導(dǎo)包括基板；以及堆疊地設(shè)置在基板上的多個(gè)層集，其中每個(gè)層集包括：包括至少鉭和氧的第一層；以及包括至少硅和氧的第二層，其中：波導(dǎo)被配置為在第一方向上傳播與特定波長相關(guān)聯(lián)的光，第一方向與第二方向正交，多個(gè)層集在第二方向上堆疊地設(shè)置在基板上，并且第一層和第二層在第二方向上的相應(yīng)厚度小于或等于特定波長的十五分之一。

2、在一些實(shí)現(xiàn)中，一種波導(dǎo)包括堆疊地布置的多個(gè)層集，其中每個(gè)層集包括：包括至少鉭和氧的第一層；以及包括至少硅和氧的第二層，其中：波導(dǎo)被配置為在第一方向上傳播與特定波長相關(guān)聯(lián)的光，第一方向與第二方向正交，多個(gè)層集在第二方向上堆疊地布置，并且多個(gè)層集的數(shù)量大于或等于15。

3、在一些實(shí)現(xiàn)中，一種波導(dǎo)包括堆疊地布置的多個(gè)層集，其中每層集包括：包括至少第一材料的第一層；以及包括至少第二材料的第二層，其中：波導(dǎo)被配置為在第一方向上傳播與特定波長相關(guān)聯(lián)的光，第一方向與第二方向正交，多個(gè)層集在第二方向堆疊地布置，并且多個(gè)層集的數(shù)量大于或等于15。

技術(shù)特征：

1.一種波導(dǎo)，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的波導(dǎo)，其中：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)，其中：

10.一種波導(dǎo)，包括：

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的波導(dǎo)，其中：

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的波導(dǎo)，其中：

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的波導(dǎo)，其中：

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的波導(dǎo)，其中：

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的波導(dǎo)，其中：

16.一種波導(dǎo)，包括：

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的波導(dǎo)，其中：

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的波導(dǎo)，其中：

19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的波導(dǎo)，其中：

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的波導(dǎo)，其中：

技術(shù)總結(jié)
一種波導(dǎo)包括堆疊地布置的多個(gè)層集。每個(gè)層集包括：包括至少鉭和氧的第一層、以及包括至少硅和氧的第二層。波導(dǎo)被配置為在第一方向上傳播與特定波長相關(guān)聯(lián)的光，該第一方向與第二方向正交，多個(gè)層集在第二方向上堆疊地布置。多個(gè)層集的數(shù)量大于或等于15。第一層和第二層在第二方向上的相應(yīng)厚度小于或等于特定波長的十五分之一。

技術(shù)研發(fā)人員：W·D·霍克,G·J·奧克肯福斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：VIAVI科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15