一種用于鏡體檢測的吸附夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)元件檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于鏡體檢測的吸附夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]鏡體元件的夾持技術(shù)多應(yīng)用在鏡體面形的檢測領(lǐng)域，傳統(tǒng)的鏡體元件夾具一般通過機(jī)械方式對鏡體進(jìn)行固定:通過均布的三點(diǎn)或多點(diǎn)的壓緊實(shí)現(xiàn)鏡體的位置約束，或是靠鏡體自身的重力，對鏡體均布的三點(diǎn)或多點(diǎn)進(jìn)行支撐，這些夾持技術(shù)難免會產(chǎn)生應(yīng)力并作用到鏡體上，而且由于鏡體所受的應(yīng)力比較集中，對于厚度較小的鏡體，鏡體面形會發(fā)生較大變化，檢測的結(jié)果不能真實(shí)的反映鏡體元件的面形。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種用于鏡體檢測的吸附夾具，該吸附夾具解決了通過機(jī)械方式約束的被夾鏡體受力不均勻、面形變化大的技術(shù)問題，適用于背部為平面的鏡體的夾持。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設(shè)置有通孔，在吸附盤的上表面設(shè)置有導(dǎo)氣槽，在吸附盤的下表面設(shè)置有凹槽，凹槽的內(nèi)部通過通孔與導(dǎo)氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設(shè)置在吸附盤上，氣管的內(nèi)端與凹槽的內(nèi)部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。
[0005]所述的吸附盤的通孔設(shè)置在吸附盤的中心。
[0006]所述的吸附盤的導(dǎo)氣槽由若干條環(huán)狀導(dǎo)氣槽和若干條直線導(dǎo)氣槽組成，若干條環(huán)狀導(dǎo)氣槽以通孔為圓心、沿吸附盤的徑向分布，且分布區(qū)域大于被夾持鏡體的背部區(qū)域；每條直線導(dǎo)氣槽均經(jīng)過通孔與每條環(huán)狀導(dǎo)氣槽交叉相通。
[0007]在所述的吸附盤與密封板之間設(shè)置有密封圈。
[0008]所述的氣管通過氣管接頭固定在吸附盤的側(cè)壁上。
[0009]所述的環(huán)狀導(dǎo)氣槽的橫截面為三角形。
[0010]所述的直線導(dǎo)氣槽的橫截面為矩形或三角形。
[0011]本發(fā)明的有益效果:
本發(fā)明的用于鏡體檢測的吸附夾具，吸附端面刻有多條緊密分布的導(dǎo)氣槽，將鏡體元件牢固的吸附在吸附盤上，鏡體元件所受的吸附力均勻，而且不存在裝配應(yīng)力，鏡體變形小，檢測設(shè)備能夠檢測鏡體元件的真實(shí)面形，當(dāng)被檢測鏡體元件有一定傾斜角度時，這種夾具的優(yōu)勢更加明顯；本發(fā)明夾具結(jié)構(gòu)簡單，鏡體元件取放方便，適用于夾持背部為平面的鏡體元件。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明的用于鏡體檢測的吸附夾具的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的俯視圖；
圖3為圖2的A-A剖視圖；
圖中，1 一吸附盤，11 一通孔，12—環(huán)狀導(dǎo)氣槽，13—直線導(dǎo)氣槽，14 一凹槽，141 一第一凹槽，142—第二凹槽，15—螺紋孔，2—?dú)夤芙宇^，3—?dú)夤埽?一密封板，5—螺釘，6—密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0014]如圖1~圖3所示，一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤1、密封板4和氣管3，在所述的吸附盤1的中心設(shè)置有通孔11，吸附盤1的上表面分布有多條環(huán)狀導(dǎo)氣槽12和一條直線導(dǎo)氣槽13，環(huán)狀導(dǎo)氣槽12以通孔為圓心、沿吸附盤1的徑向緊密分布，且分布區(qū)域大于被夾持鏡體的背部區(qū)域；直線導(dǎo)氣槽13與每個環(huán)狀導(dǎo)氣槽12交叉相通；在吸附盤1的下表面設(shè)置有凹槽14，凹槽14通過通孔11與直線導(dǎo)氣槽13相通，所述的密封板4通過螺釘5固定在凹槽14的下部開口處，用于密封凹槽14的下部開口，所述的氣管3設(shè)置在吸附盤1上，氣管1的內(nèi)端與凹槽14的內(nèi)部相通，氣管1的外端用于與抽氣裝置連通。
[0015]所述的凹槽14由相連通的第一凹槽141和第二凹槽142組成，第一凹槽141設(shè)置在第二凹槽142的上方，第二凹槽142的直徑大于第一凹槽141的直徑，所述的密封板4固定在第二凹槽142內(nèi)，用來密封第一凹槽141的下部開口。
[0016]在所述的吸附盤1與密封板4之間設(shè)置有密封圈6，密封圈6用于提高密封效果，防止凹槽14內(nèi)的氣體從密封板4與吸附盤1之間泄露。
[0017]所述的氣管3通過氣管接頭2固定在吸附盤1的側(cè)壁上。
[0018]在所述的吸附盤1的側(cè)壁上設(shè)置有螺紋孔15，螺紋孔15與凹槽4的內(nèi)部相通，氣管接頭2具有螺紋的一端與吸附盤1的螺紋孔15相配合，氣管接頭2的另一端與氣管3相連。
[0019]所述的環(huán)狀導(dǎo)氣槽12的橫截面為三角形。
[0020]所述的直線導(dǎo)氣槽13為矩形或三角形。
[0021]下面結(jié)合【附圖說明】本實(shí)施例的具體使用過程。
[0022]如圖1~圖3所示，將待夾持的鏡體元件放置在吸附盤1的導(dǎo)氣槽分布區(qū)域內(nèi)，打開與氣管3相連的抽氣裝置，將吸附盤1的凹槽14內(nèi)的空氣不斷抽出，外部空氣在壓差下通過直線導(dǎo)氣槽13、環(huán)狀導(dǎo)氣槽12及通孔11進(jìn)入凹槽14內(nèi)，將鏡體元件吸附在吸附盤1上，吸附力的大小與抽氣速度成正比，停止抽氣，可將鏡體元件從吸附盤1上取下。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設(shè)置有通孔，在吸附盤的上表面設(shè)置有導(dǎo)氣槽，在吸附盤的下表面設(shè)置有凹槽，凹槽的內(nèi)部通過通孔與導(dǎo)氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設(shè)置在吸附盤上，氣管的內(nèi)端與凹槽的內(nèi)部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的吸附盤的通孔設(shè)置在吸附盤的中心。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的吸附盤的導(dǎo)氣槽由若干條環(huán)狀導(dǎo)氣槽和若干條直線導(dǎo)氣槽組成，若干條環(huán)狀導(dǎo)氣槽以通孔為圓心、沿吸附盤的徑向分布，且分布區(qū)域大于被夾持鏡體的背部區(qū)域；每條直線導(dǎo)氣槽均經(jīng)過通孔與每條環(huán)狀導(dǎo)氣槽交叉相通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于在所述的吸附盤與密封板之間設(shè)置有密封圈。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的氣管通過氣管接頭固定在吸附盤的側(cè)壁上。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的環(huán)狀導(dǎo)氣槽的橫截面為三角形。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的直線導(dǎo)氣槽的橫截面為矩形或三角形。
【專利摘要】一種用于鏡體檢測的吸附夾具，屬于光學(xué)元件檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于鏡體檢測的吸附夾具。本發(fā)明解決了通過機(jī)械方式約束的被夾鏡體受力不均勻、面形變化大的技術(shù)問題，適用于背部為平面的鏡體的夾持。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設(shè)置有通孔，在吸附盤的上表面設(shè)置有導(dǎo)氣槽，在吸附盤的下表面設(shè)置有凹槽，凹槽的內(nèi)部通過通孔與導(dǎo)氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設(shè)置在吸附盤上，氣管的內(nèi)端與凹槽的內(nèi)部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。
【IPC分類】G02B7/00
【公開號】CN105372777
【申請?zhí)枴緾N201510866061
【發(fā)明人】郭本銀, 苗亮, 劉鈺, 王輝, 周烽, 王麗萍, 謝耀, 金春水
【申請人】中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月1日