改良的光阻預(yù)烤爐加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于一種改良的光阻預(yù)烤爐加熱裝置，其是利用于腔體外環(huán)邊設(shè)置一內(nèi)環(huán)邊加熱器，以改善熱板端邊不足的熱度，使熱板的溫度達(dá)到均溫。
【背景技術(shù)】
[0002]按，玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-1XD)的主要制程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置(TFT-LCD)產(chǎn)業(yè)中扮演的角色好比是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的晶圓，因此液晶顯示裝置(TFT-LCD)產(chǎn)業(yè)對(duì)玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶顯示裝置(TFT-1XD)的制程是分別利用兩塊無堿玻璃基板，于無堿玻璃基板表面構(gòu)裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經(jīng)過干式蝕刻，將紅、藍(lán)、綠三原色與黑色以微細(xì)的結(jié)構(gòu)建置于玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅(qū)動(dòng)電路則利用半導(dǎo)體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是作為彩色濾色片與IC驅(qū)動(dòng)電路的承載材料，而液晶顯示裝置(TFT-1XD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強(qiáng)酸強(qiáng)堿的腐蝕、高溫的制程環(huán)境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造過程中的每個(gè)流程都非常精細(xì)，其中，當(dāng)涂抹光阻液后，需經(jīng)過烘烤將感光劑及光阻液等化學(xué)物質(zhì)揮發(fā)，此時(shí)，請(qǐng)配合參閱圖1所示，該基板I進(jìn)行烘烤時(shí)，是將基板I放在熱板11上，再藉由熱板11的熱度使基板I表面的化學(xué)物質(zhì)揮發(fā)，在此過程中，其溫度高達(dá)約70?150°C，且熱板11的熱源來自于底部的加熱器12，而該加熱器12則以I?15個(gè)區(qū)域設(shè)置在熱板11下方，使熱板11中央、環(huán)邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然而，盡管熱板11已經(jīng)設(shè)置I?15個(gè)區(qū)域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中保持均溫，加上每一相鄰區(qū)域的溫度會(huì)互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響液晶顯示裝置的生廣品質(zhì)。
[0005]有鑒于此，發(fā)明人特別針對(duì)熱板端邊受熱不足的缺失進(jìn)行改良，而研發(fā)一種內(nèi)環(huán)邊加熱器，使熱源除了底部的加熱器外，更于腔體側(cè)邊進(jìn)行加熱，能將熱板內(nèi)的溫度達(dá)到均勻一致，藉以將進(jìn)行烘烤的玻璃基板達(dá)到均衡的受熱，有效降低生產(chǎn)的不合格率，而為一理想的光阻預(yù)烤爐腔體內(nèi)均勻加熱的結(jié)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明有關(guān)于一種改良的光阻預(yù)烤爐內(nèi)環(huán)邊加熱器，特別是指一種運(yùn)用在液晶顯示裝置(IXD)制程上的光阻預(yù)烤爐內(nèi)環(huán)邊加熱器，藉由腔體內(nèi)側(cè)邊的加熱裝置，使加熱區(qū)域能達(dá)到均勻的受熱，有效提升產(chǎn)品品質(zhì)及生產(chǎn)合格率。其主要是由腔體、加熱器、熱板、溫度感應(yīng)器及內(nèi)環(huán)邊加熱器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，并能于頂面蓋合一上蓋板而形成一封閉的加熱空間，位于該腔體一側(cè)設(shè)有入口，供置入玻璃基板，而于任一側(cè)邊開設(shè)有排風(fēng)口，且于該支撐底板上方設(shè)有該加熱器，能對(duì)該加熱器上的熱板進(jìn)行加熱，并于該熱板上分成有多個(gè)小分區(qū)，該小分區(qū)是由多個(gè)獨(dú)立設(shè)置的加熱器分別投影至熱板上所產(chǎn)生，位于該小分區(qū)內(nèi)或該加熱器內(nèi)設(shè)有該溫度感應(yīng)器，使得該每一小分區(qū)具有獨(dú)立的溫度控制，而該腔體內(nèi)側(cè)裝設(shè)有該內(nèi)環(huán)邊加熱器，其是利用電熱絲產(chǎn)生熱源，確實(shí)加強(qiáng)熱板端邊的受熱，將熱板內(nèi)全區(qū)域的溫度調(diào)整至均衡一致，以提升加熱玻璃基板的效能。
[0007]當(dāng)光阻預(yù)烤爐腔體內(nèi)進(jìn)行烘烤作業(yè)時(shí)，是先將玻璃基板由入口置入腔體內(nèi)，然后將入口封閉，使腔體形成一封閉空間，僅保留側(cè)邊的排風(fēng)口，以便于空氣流通，而位于腔體內(nèi)的熱板，受加熱器的加溫，使其達(dá)到約70?150°C的溫度，藉以將揮發(fā)玻璃基板表面的光阻溶劑及固化光阻，當(dāng)烘烤一段時(shí)間后，該熱板的每一小分區(qū)的溫度會(huì)有些微的變化，一般來說，位于熱板中央的溫度通常高于端邊，而容易導(dǎo)致玻璃基板的受熱不均，此時(shí)維持熱板的均溫相當(dāng)重要，雖然將熱板分成多區(qū)加熱可達(dá)到小分區(qū)的溫度改善，但熱板端邊的溫度卻不易掌握，主要因?yàn)榍惑w內(nèi)為密閉空間，所以溫度還是容易集中在中央及環(huán)邊，所以四周端邊的溫度偏低，而影響整體溫度的一致性，因此，位于腔體側(cè)邊設(shè)置有內(nèi)環(huán)邊加熱器，其為電熱絲，藉由在腔體側(cè)邊產(chǎn)生熱源，以平衡熱板端邊較差的受熱，并達(dá)到熱板內(nèi)的均勻受熱，而此些微的溫度調(diào)整，就能大為降低玻璃基板的不合格率，同時(shí)提升生產(chǎn)效能，實(shí)為一突破性的改良。
【附圖說明】
[0008]圖1為現(xiàn)有烘烤玻璃基板的示意圖；
[0009]圖2為本發(fā)明的立體圖；
[0010]圖3為本發(fā)明的立體分解圖；
[0011]圖4為本發(fā)明另一實(shí)施例的示意圖；
[0012]圖5為本發(fā)明烘烤玻璃基板的示意圖；
[0013]圖6為本發(fā)明調(diào)整小分區(qū)的示意圖。
[0014]附圖標(biāo)記說明:1基板；11熱板；12加熱器；2腔體；20上蓋板；201支撐底板；202排風(fēng)口；203入口；21加熱器；22熱板；221小分區(qū)；23溫度感應(yīng)器；25內(nèi)環(huán)邊加熱器；3玻璃基板。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下是實(shí)施例，但本發(fā)明的內(nèi)容并不局限于這些實(shí)施例的范圍。
[0016]本發(fā)明一種改良的光阻預(yù)烤爐內(nèi)環(huán)邊加熱器，首先，請(qǐng)參閱圖2并配合圖3所示，其主要是由腔體2、加熱器21、熱板22、溫度感應(yīng)器23及內(nèi)環(huán)邊加熱器25所組成，該腔體2為一容槽狀，底部為支撐底板201，并能于頂面蓋合一上蓋板20而形成一封閉的加熱空間，位于腔體2 —側(cè)設(shè)有入口 203，供置入玻璃基板3，并于任一側(cè)邊開設(shè)有排風(fēng)口 202，且于支撐底板201上方設(shè)有加熱器21，能對(duì)加熱器21上的熱板22進(jìn)行加熱，而該熱板22上分成多個(gè)小分區(qū)221，其是由下方多個(gè)獨(dú)立的加熱器21投影至熱板22所產(chǎn)生的加熱區(qū)域，且該熱板22內(nèi)或加熱器21內(nèi)皆可設(shè)置有溫度感應(yīng)器23 (請(qǐng)配合圖4所示)，其是能配合加熱器21來進(jìn)行加熱區(qū)域的獨(dú)立溫度控制，并于腔體2內(nèi)側(cè)裝設(shè)有內(nèi)環(huán)邊加熱器25，其是利用電熱絲產(chǎn)生熱源，以加強(qiáng)熱板22端邊的受熱，使熱板22內(nèi)全區(qū)域的溫度調(diào)整達(dá)到均勻一致，可全面性的烘烤玻璃基板3，進(jìn)而提升玻璃基板3的生產(chǎn)合格率。
[0017]當(dāng)腔體2內(nèi)進(jìn)行烘烤作業(yè)時(shí)，請(qǐng)仍然參閱圖4并配合圖5所示，先將玻璃基板3由入口 203置入腔體2內(nèi)，然后將入口 203封閉，使腔體2形成一封閉空間，僅保留側(cè)邊的排風(fēng)口 202，以便于空氣進(jìn)行流通，而位于腔體2加熱器21則持續(xù)對(duì)熱板22加溫，使腔體2內(nèi)的溫度達(dá)到約攝氏70?150°C，并藉由該熱度將放置在熱板22上的玻璃基板3表面的光阻溶劑揮發(fā)，當(dāng)烘烤一段時(shí)間后，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D6所示，該熱板22的每一小分區(qū)221的溫度會(huì)有些微的變化，即每一小分區(qū)221的溫度不一致，這樣的差異會(huì)嚴(yán)重影響玻璃基板3的品質(zhì)，尤其位于熱板22中央及環(huán)邊的溫度會(huì)高于端邊，使得玻璃基板3的受熱不均，而為了改善熱板22端邊的偏低溫度，當(dāng)溫度感應(yīng)器23顯示熱板22端邊溫度較低時(shí)，可啟動(dòng)腔體2內(nèi)側(cè)的內(nèi)環(huán)邊加熱器25，其能對(duì)腔體2的內(nèi)環(huán)邊提供熱源，以彌補(bǔ)熱板2端邊的溫度上的差異，并將熱板22的每一小分區(qū)221的溫度調(diào)整成一致，使熱板22能對(duì)玻璃基板3進(jìn)行均勻的加熱，完全不會(huì)有受熱不均的問題，而為一極佳的溫度控制裝置。
[0018]綜上所述，本發(fā)明是于腔體內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)環(huán)邊加熱器，并藉由提供的熱源改善熱板端邊偏低的溫度，能使熱板達(dá)到全區(qū)域的均溫，使位于熱板上的玻璃基板的烘烤溫度相當(dāng)一致，不會(huì)過高或過低，確實(shí)達(dá)到最佳的效能，本發(fā)明極具進(jìn)步性及實(shí)用性，理已符合發(fā)明的專利要件，爰依法提出專利申請(qǐng)。
[0019]以上所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本發(fā)明權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改良的光阻預(yù)烤爐加熱裝置，其主要由腔體、加熱器、熱板和溫度感應(yīng)器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，并能于頂面蓋合一上蓋板而形成一封閉的加熱空間，位于該支撐底板上方設(shè)有該加熱器，能對(duì)該加熱器上的熱板進(jìn)行加熱，而該熱板配合下方獨(dú)立的該加熱器產(chǎn)生有小分區(qū)，且該小分區(qū)內(nèi)或該加熱器內(nèi)設(shè)有該溫度感應(yīng)器，以進(jìn)行該小分區(qū)的獨(dú)立溫度控制，其特征在于:該腔體內(nèi)側(cè)裝設(shè)有內(nèi)環(huán)邊加熱器，其利用電熱絲產(chǎn)生熱源，以加強(qiáng)該熱板端邊的受熱，使該熱板內(nèi)全區(qū)域的溫度調(diào)整達(dá)到均勻一致，而能全面性的烘烤放置于該熱板上的玻璃基板。
【專利摘要】本發(fā)明有關(guān)于一種改良的光阻預(yù)烤爐加熱裝置，特別是指一種運(yùn)用在液晶顯示裝置(LCD)制程上的光阻預(yù)烤爐內(nèi)環(huán)邊加熱器，藉由腔體內(nèi)側(cè)邊的加熱裝置，使加熱區(qū)域能達(dá)到均勻的受熱，有效提升產(chǎn)品品質(zhì)及生產(chǎn)合格率。其主要是由腔體、加熱器、熱板、溫度感應(yīng)器及內(nèi)環(huán)邊加熱器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，位于該支撐底板上方設(shè)有該加熱器，能對(duì)該加熱器上的熱板進(jìn)行加熱，而該熱板內(nèi)或該加熱器內(nèi)設(shè)置有該溫度感應(yīng)器，藉以偵測熱板各區(qū)域的溫度，且該腔體內(nèi)側(cè)裝設(shè)有該內(nèi)環(huán)邊加熱器，能加強(qiáng)該熱板端邊的受熱，達(dá)到該熱板的全區(qū)域的均勻溫度，使放置在熱板上的玻璃基板達(dá)到均勻的烘烤。
【IPC分類】G03F7/16, G02F1/13
【公開號(hào)】CN105629666
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410594376
【發(fā)明人】李東明
【申請(qǐng)人】李東明
【公開日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2014年10月29日