光罩異物檢測設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及黃光制程技術領域，尤其是指一種光罩異物檢測設備。
【背景技術】
[0002]在顯示行業(yè)的黃光制程，需要用到曝光機設備對已完成光阻涂布的基板進行曝光。而為了避免光罩(Mask)表面的異物對制程造成影響，需要在Mask放置在曝光機臺上開始制程前進行異物檢測，一旦檢測到較大異物后檢測設備就會發(fā)生報警，需要工程師手動將Mask取出并進行檢查和清潔。
[0003]圖1是現(xiàn)有的曝光機內的光罩異物檢測設備的示意圖，參閱圖1，曝光機內部設置有五個光罩盒70，每個光罩盒70內可存放一塊光罩80，通過機械手臂90將光罩80從相應的光罩盒70內取出，并送至異物檢測器91 (PF1D—Particle Pellicle Detect)內進行異物檢測。檢測OK，再通過機械手臂90將光罩80傳送至曝光機臺上，開始制程；檢測NG，通過機械手臂90將光罩80送回到光罩盒70內，同時機臺報警，需人員手動取出光罩80進行清潔。
[0004]但是，完成取出、檢查、清潔動作一次至少需要30分鐘，需要人力2人，有時這樣的取出、檢查、清潔動作會重復多次。這樣會嚴重影響機臺稼動率及增加相應人力成本；同時有人為損壞Mask的風險。
【實用新型內容】
[0005]有鑒于上述現(xiàn)有技術中光罩檢測前表面存在異物，檢測后需人工取出光罩進行清潔，影響機臺稼動率及增加相應人力成本等問題，本實用新型提供了一種光罩異物檢測設備，包括:
[0006]光罩盒，設置于一曝光機內；
[0007]光罩，存放于所述光罩盒內；
[0008]清潔裝置，設置于所述光罩盒的出口處，用于對移出所述光罩盒的所述光罩進行表面清潔；以及
[0009]異物檢測器，用于對經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進行異物檢測。
[0010]本實用新型的光罩異物檢測設備，通過在光罩盒的出口處設置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時對光罩的表面進行清潔，實現(xiàn)了在光罩異物檢測前先進行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測的通過率，從而降低光罩異物檢測的報警頻率，提高機臺稼動率及節(jié)省了人力成本。
[0011]采用本實用新型的光罩異物檢測設備對光罩進行檢測時，在光罩異物檢測前先進行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測的通過率，從而降低光罩異物檢測的報警頻率，提高機臺稼動率及節(jié)省了人力成本。
[0012]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，還包括用于控制所述清潔裝置啟閉的光感傳感器。
[0013]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述光感傳感器設置于所述清潔裝置內。
[0014]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述清潔裝置設置于所述光罩盒的出口處上方。
[0015]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述清潔裝置為風刀。
[0016]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，述風刀為長條形風刀，其截面呈模形。
[0017]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述風刀設置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角，更有利于風刀將異物吹走。
[0018]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述風刀設置成與所述光罩的表面成45°的夾角。
[0019]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，所述風刀的長度與所述光罩的寬度相對應。
[0020]本實用新型光罩異物檢測設備的進一步改進在于，還包括用于抓取和移動所述光罩的機械手臂，設置于所述曝光機內。
【附圖說明】
[0021]圖1是現(xiàn)有的曝光機內的光罩異物檢測設備的示意圖。
[0022]圖2是本實用新型光罩異物檢測設備的示意圖。
[0023]圖3是采用本實用新型光罩異物檢測設備的異物檢測方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0024]為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0025]圖2是本實用新型光罩異物檢測設備的示意圖，參閱圖2，本實用新型的光罩異物檢測設備，包括:
[0026]光罩盒10，設置于一曝光機內。
[0027]光罩20，存放于光罩盒10內。
[0028]機械手臂30，設置于曝光機內，用于抓取和移動光罩20。
[0029]清潔裝置，設置于光罩盒10的出口處，用于對移出光罩盒10的光罩20進行表面清潔。優(yōu)選地，清潔裝置40為長條形風刀，其截面呈楔形，所述風刀的長度與光罩20的寬度相對應，所述風刀設置于光罩盒10的出口處上方并設置成與光罩20的表面成40°?50°的夾角，優(yōu)選地為45°，更有利于將異物吹走。
[0030]光感傳感器，設置于清潔裝置40內，用于控制清潔裝置40的啟閉。當光感傳感器感知到光罩20被取出，啟動電磁閥(即打開風刀的氣閥)，使氣體從風刀上端較寬的一端進入，從風刀下端較窄的一端吹出，開始清潔光罩20的表面。當光感傳感器感知到光罩20的取出動作結束后，關閉電磁閥(即關閉風刀的氣閥)，風刀清潔動作結束。
[0031]異物檢測器50，用于對經(jīng)過清潔裝置40清潔后的光罩20進行異物檢測。
[0032]本實用新型的光罩異物檢測設備，通過在光罩盒的出口處設置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時對光罩的表面進行清潔，實現(xiàn)了在光罩異物檢測前先進行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測的通過率，從而降低光罩異物檢測的報警頻率，提高機臺稼動率及節(jié)省了人力成本。
[0033]配合參閱圖3所示，是采用本實用新型光罩異物檢測設備的異物檢測方法的流程圖，包括以下步驟:
[0034]SI提供光罩盒，將光罩存放于所述光罩盒內。
[0035]S2將所述光罩從所述光罩盒中移出，通過設置于所述光罩盒的出口處的清潔裝置對所述光罩進行表面清潔。優(yōu)選地，所述清潔裝置為長條形風刀，其截面呈楔形，所述風刀的長度與所述光罩的寬度相對應，所述風刀設置于所述光罩盒的出口處上方并設置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角，優(yōu)選地為45°，更有利于將異物吹走。
[0036]S3將經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩移送至異物檢測器，由所述異物檢測器對所述光罩進行異物檢測。
[0037]具體地，當光罩通過機械手臂從光罩盒中被移出時，光感傳感器感知到光罩被取出，啟動電磁閥(即打開風刀的氣閥)，使氣體從風刀上端較寬的一端進入，從風刀下端較窄的一端吹出，開始清潔光罩的表面。當光感傳感器感知到光罩的取出動作結束后，關閉電磁閥(即關閉風刀的氣閥)，風刀清潔動作結束，再通過機械手臂將清潔完成后的光罩傳送至異物檢測器進行異物檢測。檢測OK，將光罩傳送至曝光機臺上，開始制程，然后開始進行下一組光罩的異物檢測；檢測NG，機臺報警后，光罩會通過機械手臂自動退回到光罩盒內，此時由工程師手動取出光罩進行人工清潔，清潔后再將光罩重新放回光罩盒中，循環(huán)上述清潔與異物檢測步驟進行第二次的異物檢測，直到檢測合格，再將光罩傳送至曝光機臺上，開始制程。
[0038]采用本實用新型光罩異物檢測設備的異物檢測方法，在光罩異物檢測前先進行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測的通過率，從而降低光罩異物檢測的報警頻率，提高機臺稼動率及節(jié)省了人力成本。
[0039]以上所述僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型做任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案的范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據(jù)本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
【主權項】
1.一種光罩異物檢測設備，其特征在于，包括: 光罩盒，設置于一曝光機內； 光罩，存放于所述光罩盒內； 清潔裝置，設置于所述光罩盒的出口處，用于對移出所述光罩盒的所述光罩進行表面清潔；以及 異物檢測器，用于對經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進行異物檢測。2.如權利要求1所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，還包括用于控制所述清潔裝置啟閉的光感傳感器。3.如權利要求2所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述光感傳感器設置于所述清潔裝置內。4.如權利要求1所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述清潔裝置設置于所述光罩盒的出口處上方。5.如權利要求1所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述清潔裝置為風刀。6.如權利要求5所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述風刀為長條形風刀，其截面呈楔形。7.如權利要求6所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述風刀設置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角。8.如權利要求7所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述風刀設置成與所述光罩的表面成45°的夾角。9.如權利要求5所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，所述風刀的長度與所述光罩的寬度相對應。10.如權利要求1至9中任一項所述的光罩異物檢測設備，其特征在于，還包括用于抓取和移動所述光罩的機械手臂，設置于所述曝光機內。
【專利摘要】本實用新型公開了一種光罩異物檢測設備，包括：光罩盒，設置于一曝光機內；光罩，存放于所述光罩盒內；清潔裝置，設置于所述光罩盒的出口處，用于對移出所述光罩盒的所述光罩進行表面清潔；異物檢測器，用于對經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進行異物檢測。本實用新型的光罩異物檢測設備，通過在光罩盒的出口處設置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時對光罩的表面進行清潔，實現(xiàn)了在光罩異物檢測前先進行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測的通過率，從而降低光罩異物檢測的報警頻率，提高機臺稼動率及節(jié)省了人力成本。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN204667040
【申請?zhí)枴緾N201520329839
【發(fā)明人】劉剛, 徐勇
【申請人】上海和輝光電有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月21日