專利名稱：一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種大口徑光學(xué)元件的橫向潔凈拆裝方法，具體涉及一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法。
背景技術(shù)：
慣性約束激光核聚變裝置的大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)工作在一個(gè)密閉的百級(jí)潔凈環(huán)境中，以保證光學(xué)元件表面的潔凈度，從而獲得較長(zhǎng)的工作壽命。光學(xué)元件損傷需要維護(hù)時(shí)，目前通常采用將大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)整體拆送回百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室，然后從其中拆除光學(xué)元件，大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)整體拆械需要?jiǎng)佑么笮驮O(shè)備，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，維護(hù)I塊光學(xué)元件就需要2天時(shí)間，從而導(dǎo)致整個(gè)裝置運(yùn)行效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決光學(xué)元件損傷需要維護(hù)時(shí)，大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)整體拆械需要?jiǎng)佑么笮驮O(shè)備，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，維護(hù)一塊光學(xué)元件就需要兩天時(shí)間，從而導(dǎo)致整個(gè)裝置運(yùn)行效率低的問(wèn)題，進(jìn)而提供一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法的步驟為:步驟1:準(zhǔn)備工作；打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭，將潔凈風(fēng)機(jī)與大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭安裝處的潔凈充氣接口相連；將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置運(yùn)輸?shù)酱罂趶焦鈱W(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)附近，粗定位；步驟2:啟動(dòng) 潔凈風(fēng)機(jī)；步驟3:打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭，等待3-10分鐘；步驟4:調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿，使大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置滿足光學(xué)元件拆裝要求；然后將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置連接到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭上；步驟5:拔出大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱的箱體蓋板；步驟6:操作者通過(guò)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱上的操作口將光學(xué)元件從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)拔出滑入光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱內(nèi)，或者將光學(xué)元件從光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱插入到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)內(nèi)；步驟7:插入大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱的箱體蓋板；步驟8:將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭上拆下；步驟9:封閉大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭π ；步驟10:停止?jié)崈麸L(fēng)機(jī)；步驟11:將潔凈風(fēng)機(jī)接口從充壓接口法蘭上拆除，并封閉充壓接口 ；步驟12:將拆卸后的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E運(yùn)輸回百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行維修。優(yōu)選方案:步驟I中的潔凈風(fēng)機(jī)風(fēng)量的選擇:設(shè)潔凈拆裝法蘭的有效開(kāi)口面積為S，根據(jù)百級(jí)環(huán)境維持要求，拆裝過(guò)程中需保證潔凈拆裝法蘭出口處風(fēng)速應(yīng)>0.2m/s，則潔凈風(fēng)機(jī)流量 Q>0.2 X S X 60m3/min。優(yōu)選方案:步驟I中沖壓接口的尺寸設(shè)計(jì):根據(jù)流體學(xué)，管道內(nèi)氣體流速不大于10m/s ;沖壓接口的開(kāi)口面積ApkXQ/lO/eO，其中Q為潔凈風(fēng)機(jī)流量，k為大于1_2的系數(shù)，根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu)情況確定。優(yōu)選方案:步驟4中調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿的方式為:豎向位置調(diào)整單元通過(guò)升降操作手柄轉(zhuǎn)動(dòng)升降螺母，在固定升降螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，驅(qū)動(dòng)升降螺桿上升或下降；升降螺母由軸承支撐，不固定升降螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，可以帶動(dòng)其上的所有部件轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)和升降調(diào)整到位后，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪實(shí)現(xiàn)鎖緊；橫向位置調(diào)整單元通過(guò)橫向手輪轉(zhuǎn)動(dòng)橫向平動(dòng)螺桿，驅(qū)動(dòng)橫向工作臺(tái)平移；縱向位置調(diào)整單元通過(guò)縱向手輪轉(zhuǎn)動(dòng)縱向平動(dòng)螺桿，驅(qū)動(dòng)縱向工作臺(tái)平移；2自由度姿態(tài)調(diào)整單元通過(guò)支撐桿與角度鎖緊釘?shù)呐浜蠈?shí)現(xiàn)姿態(tài)調(diào)整架俯仰角度的有級(jí)粗調(diào)整；通過(guò)姿態(tài)調(diào)整釘頂動(dòng)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱的耐磨墊塊，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱以徑向關(guān)節(jié)軸承為軸心的俯仰和轉(zhuǎn)動(dòng)的并聯(lián)微調(diào)整。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下效果:本發(fā)明采用正壓保護(hù)方法，在整個(gè)拆裝過(guò)程中，通過(guò)潔凈風(fēng)機(jī)向大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)內(nèi)沖入百級(jí)潔凈的空氣，使得其內(nèi)部處于正壓狀態(tài)，保證 了外部污染不會(huì)進(jìn)入到系統(tǒng)和潔凈拆裝箱內(nèi)，因此保證了光學(xué)元件的潔凈。而且大口徑光學(xué)元件潔凈拆裝箱拆裝完成后，自身具備防塵功能，因此可以作為運(yùn)輸箱直接將光學(xué)元件運(yùn)送回潔凈實(shí)驗(yàn)室。本發(fā)明方法配合潔凈拆裝箱使用，可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件的潔凈在線拆裝，將光學(xué)元件的維護(hù)周期從2天縮短到2小時(shí)，節(jié)約了成本，提高了大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)整個(gè)裝置的運(yùn)行效率。


圖1是本發(fā)明的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；圖2是本發(fā)明的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的主視圖；圖3是本發(fā)明的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的側(cè)視圖；圖4是圖2的A-A剖視圖；圖5是圖3的俯視圖；圖6是5自由度位姿調(diào)整臺(tái)的主視圖；圖7是圖6的B-B剖視圖；圖8是圖6的左視圖；圖9是圖6的C-C剖面圖；圖10是圖6的D處放大圖11是潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱的主視圖；圖12是圖11的右視圖；圖13是圖11的左視圖；圖14是圖11的E-E剖視圖；圖15是圖11的俯視圖；圖16是橫向位置調(diào)整單元B和縱向位置調(diào)整單元C的立體結(jié)構(gòu)圖；圖17是2自由度姿態(tài)調(diào)整單元D、潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E和連接手輪F的立體結(jié)構(gòu)圖；圖18是耐磨墊塊E13的安裝示意圖；圖19是大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置與大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)對(duì)接不意圖。
具體實(shí)施例方式
具體實(shí)施方式
一:結(jié)合圖19說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式的一種大口徑光學(xué)兀件的橫向在線潔凈拆裝方法的步驟為:步驟1:準(zhǔn)備工作；打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭F1，將潔凈風(fēng)機(jī)與大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭Fl安裝處的潔凈充氣接口相連；將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置運(yùn)輸?shù)酱罂趶焦鈱W(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)附近，粗定位；步驟2:啟動(dòng)潔凈風(fēng)機(jī)；步驟3:打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭F2，等待3-10分鐘；步驟4:調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿，使大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置滿足光學(xué)元件拆裝要求；然后將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置連接到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭F2上；步驟5:拔出大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E的箱體蓋板E15 ;步驟6:操作者通過(guò)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E上的操作口將光學(xué)元件從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)拔出滑入光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E內(nèi)，或者將光學(xué)元件從光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E插入到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)內(nèi)；步驟7:插入大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E的箱體蓋板E15 ;步驟8:將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭F2上拆下；步驟9:封閉大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭Π ；步驟10:停止?jié)崈麸L(fēng)機(jī)；步驟11:將潔凈風(fēng)機(jī)接口從充壓接口法蘭Fl上拆除，并封閉充壓接口 ；步驟12:將拆卸后的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E運(yùn)輸回百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行維修。
具體實(shí)施方式
二:本實(shí)施方式二與具體實(shí)施方式
一的不同在于:本實(shí)施方式的步驟I中的潔凈風(fēng)機(jī)風(fēng)量的選擇:設(shè)潔凈拆裝法蘭的有效開(kāi)口面積為S，根據(jù)百級(jí)環(huán)境維持要求，出口處風(fēng)速應(yīng)>0.2m/s，則潔凈風(fēng)機(jī)流量Q>0.2XSX60m3/min。
具體實(shí)施方式
三:本實(shí)施方式三與具體實(shí)施方式
二的不同在于:本實(shí)施方式的步驟I中沖壓接口的尺寸設(shè)計(jì):根據(jù)流體學(xué)，管道內(nèi)氣體流速不大于10m/S ;沖壓接口的開(kāi)口面積AfkXQ/lO/eO，其中Q為潔凈風(fēng)機(jī)流量，k為大于1-2的系數(shù)，根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu)情況確定。
具體實(shí)施方式
四(參見(jiàn)圖1至圖17):本實(shí)施方式四與具體實(shí)施方式
一、二或三的不同在于:步驟4中調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿的方式為:豎向位置調(diào)整單元A通過(guò)升降操作手柄A26轉(zhuǎn)動(dòng)升降螺母A7，在固定升降螺桿A3轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，驅(qū)動(dòng)升降螺桿A3上升或下降；升降螺母A3由軸承支撐，不固定升降螺桿A3轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，可以帶動(dòng)其上的所有部件轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)和升降調(diào)整到位后，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪A33實(shí)現(xiàn)鎖緊；橫向位置調(diào)整單元B通過(guò)橫向手輪BI轉(zhuǎn)動(dòng)橫向平動(dòng)螺桿B8，驅(qū)動(dòng)橫向工作臺(tái)B9平移；縱向位置調(diào)整單元C通過(guò)縱向手輪Cl轉(zhuǎn)動(dòng)縱向平動(dòng)螺桿CS，驅(qū)動(dòng)縱向工作臺(tái)ClO平移；2自由度姿態(tài)調(diào)整單元D通過(guò)支撐桿D17與角度鎖緊釘D20的配合實(shí)現(xiàn)姿態(tài)調(diào)整架俯仰角度的有級(jí)粗調(diào)整；通過(guò)姿態(tài)調(diào)整釘D13頂動(dòng)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E的耐磨墊塊E13，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E以徑向關(guān)節(jié)軸承DlO為軸心的俯仰和轉(zhuǎn)動(dòng)的并聯(lián)微調(diào)整。
具體實(shí)施方式
五:結(jié)合圖1至圖17說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置包括5自由度位姿調(diào)整臺(tái)、潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E和連接手輪F；所述5自由度位姿調(diào)整臺(tái)包括豎向位置調(diào)整單元A、橫向位置調(diào)整單元B、縱向位置調(diào)整單元C和2自由度姿態(tài)調(diào)整單元D ；所述豎向位置調(diào)整 單元A包括固定底座Al、升降螺桿A3、升降螺母A7、承接圓盤AS、升降軸承座A5、升降軸承端蓋A6、軸承鎖緊圓螺母A27、多個(gè)升降操作手柄A26、多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺母A30、多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺桿A32和多個(gè)鎖緊桿A31 ；固定底座Al的上端面上安裝有升降軸承座A5，升降螺桿A3豎直設(shè)置在固定底座Al內(nèi)，且升降螺桿A3與固定底座Al同軸設(shè)置，升降螺桿A3的上端螺紋連接有軸承鎖緊圓螺母A7，軸承鎖緊圓螺母A7的下端連接有軸承鎖緊圓螺母A27，軸承鎖緊圓螺母A7的外壁與升降軸承座A5之間設(shè)置有軸承，軸承通過(guò)升降軸承端蓋A6固定，軸承鎖緊圓螺母A7的外圓周上均布有多個(gè)升降操作手柄A26，升降軸承座A5的外圓周上均布有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺母A30，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺桿A32與轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺母A30螺紋連接，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺桿A32的里端插入升降軸承座A5并通過(guò)鎖緊桿A31鎖緊，升降螺桿A3的上端固定連接有承接圓盤AS ；所述橫向位置調(diào)整單元B包括平動(dòng)底座B25、橫向平動(dòng)螺桿B8、橫向平動(dòng)螺母B22、橫向平動(dòng)螺母座B21、兩個(gè)橫向軸承座B23、兩個(gè)橫向軸承端蓋B24、橫向工作臺(tái)B9、橫向一對(duì)滾珠導(dǎo)軌副B4和橫向手輪BI ；平動(dòng)底座B25固定安裝在承接圓盤A8上，平動(dòng)底座B25上設(shè)置有一對(duì)橫向滾珠導(dǎo)軌副B4，橫向工作臺(tái)B9設(shè)置在橫向滾珠導(dǎo)軌副B4上，橫向工作臺(tái)B9的下端面上設(shè)置有橫向平動(dòng)螺母座B21，橫向平動(dòng)螺母B22安裝在橫向平動(dòng)螺母座B21內(nèi)，橫向平動(dòng)螺母B22與橫向平動(dòng)螺桿B8螺紋連接，橫向平動(dòng)螺桿B8的兩端通過(guò)橫向軸承座B23與平動(dòng)底座B25連接，橫向平動(dòng)螺桿B8與橫向軸承座B23之間設(shè)置有軸承，軸承通過(guò)橫向軸承端蓋B24固定，橫向平動(dòng)螺桿B8的一端連接有橫向手輪BI ；所述縱向位置調(diào)整單元C包括縱向平動(dòng)螺桿CS、縱向平動(dòng)螺母C22、縱向平動(dòng)螺母座C21、縱向軸承座C23、縱向軸承端蓋C24、縱向工作臺(tái)C10、一對(duì)縱向滾珠導(dǎo)軌副C4和縱向手輪Cl ；橫向工作臺(tái)B9上設(shè)置有一對(duì)縱向滾珠導(dǎo)軌副C4，縱向工作臺(tái)ClO設(shè)置在縱向滾珠導(dǎo)軌副C4上，縱向工作臺(tái)ClO的下端面上設(shè)置有縱向平動(dòng)螺母座C21，縱向平動(dòng)螺母C22安裝在縱向平動(dòng)螺母座C21內(nèi)，縱向平動(dòng)螺母C22與縱向平動(dòng)螺桿C8螺紋連接，縱向平動(dòng)螺桿C8的兩端通過(guò)縱向軸承座C23與橫向工作臺(tái)B9連接，縱向平動(dòng)螺桿C8與縱向軸承座C23之間設(shè)置有軸承，軸承通過(guò)縱向軸承端蓋C24固定，縱向平動(dòng)螺桿C8的一端連接有縱向手輪Cl ；所述2自由度姿態(tài)調(diào)整單元D包括驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸D11、驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸座D12、兩個(gè)姿態(tài)調(diào)整釘D13、姿態(tài)調(diào)整架D14、支撐銷軸座D15、支撐銷軸D16、支撐桿D17、角度調(diào)整板D19、角度鎖緊釘D20、關(guān)節(jié)軸承蓋D2·9、關(guān)節(jié)軸承座D28和徑向關(guān)節(jié)軸承DlO ；支撐桿D17固定安裝在縱向工作臺(tái)ClO上，支撐銷軸座D15通過(guò)支撐銷軸D16與支撐桿D17的上端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，姿態(tài)調(diào)整架D14的中部與支撐銷軸座D15固定連接，姿態(tài)調(diào)整架D14的底邊中部安裝有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸座D12，角度調(diào)整板D19的上端通過(guò)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸Dll與驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸座D12轉(zhuǎn)動(dòng)連接，角度調(diào)整板D19的下端通過(guò)角度鎖緊釘D20與支撐桿D17連接，姿態(tài)調(diào)整架D14的底邊兩端各安裝有一個(gè)姿態(tài)調(diào)整釘D13，角度調(diào)整板D19的上端開(kāi)有孔，孔內(nèi)裝有關(guān)節(jié)軸承座D28，關(guān)節(jié)軸承座D28內(nèi)設(shè)置有徑向關(guān)節(jié)軸承D10，徑向關(guān)節(jié)軸承DlO通過(guò)關(guān)節(jié)軸承蓋D29固定；光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E包括箱體E1、頂滑道E4、底滑道El1、滑動(dòng)操作口 E8、操作門E7、側(cè)操作口 E18、側(cè)操作口外框E19、接口法蘭E16、連接軸E5、箱體過(guò)渡框E14和箱體蓋板E15 ;光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E與5自由度調(diào)整臺(tái)之間通過(guò)連接軸E5連接，連接軸E5安裝在箱體El的前板E3的外端面上，將連接軸E5插入徑向關(guān)節(jié)軸承DlO中，并通過(guò)連接螺母鎖緊，箱體El的前板E3上設(shè)有滑動(dòng)操作口 E8，滑動(dòng)操作口 E8處安裝有操作門E7，箱體El的左側(cè)板E20上開(kāi)有孔，孔的外側(cè)邊緣設(shè)置有側(cè)操作口外框E19，側(cè)操作口 E18插裝在側(cè)操作口外框E19上，箱體El的右側(cè)端口上連接有接口法蘭E16，箱體過(guò)渡框E14安裝在接口法蘭E16上，箱體過(guò)渡框E14上開(kāi)有槽口，箱體蓋板E15插裝在槽口內(nèi)，箱體El的頂板E2的內(nèi)壁上設(shè)置有頂滑道E4，箱體El的底板E12的內(nèi)壁上設(shè)置有底滑道Ell，頂滑道E4和底滑道Ell分列在左右兩側(cè)；連接軸E5的外端設(shè)置有連接手輪F。
具體實(shí)施方式
六:結(jié)合圖4、圖6和圖7說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述豎向位置調(diào)整單元A還包括升降限位板A2，升降螺桿A3的下端同軸連接有升降限位板A2，升降限位板A2的直徑大于升降螺桿A3的直徑。如此設(shè)置，限定了升降螺桿A3的最大上行行程，防止升降螺桿A3從升降螺母A7中旋出。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
五相同。
具體實(shí)施方式
七:結(jié)合圖4、圖6和圖7說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的所述豎向位置調(diào)整單元A還包括防護(hù)罩A4，防護(hù)罩A4設(shè)置在固定底座Al內(nèi)罩在升降螺桿A3上，防護(hù)罩A4的上端連接在軸承鎖緊圓螺母A7的下端面上。如此設(shè)置，防止灰塵進(jìn)入，影響升降螺桿A3的升降。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
五或六相同。
具體實(shí)施方式
八:結(jié)合圖7和圖16說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的所述豎向位置調(diào)整單元A還包括多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪A33，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺桿A32的外端連接有轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪A33。如此設(shè)置，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪A33來(lái)實(shí)現(xiàn)鎖緊。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
七相同。
具體實(shí)施方式
九:結(jié)合圖3、圖16和圖17說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的角度調(diào)整板D19上設(shè)置有多個(gè)卡口。如此設(shè)置，便于調(diào)整姿態(tài)調(diào)整架D14的角度。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
八相同。
具體實(shí)施方式
十:結(jié)合圖11、圖13、圖14、圖15和圖18說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E還包括耐磨墊塊E13，耐磨墊塊E13安裝在箱體El的前板E3的外端面上，且耐磨墊塊E13正對(duì)姿態(tài)調(diào)整釘D13設(shè)置。如此設(shè)置，防止箱體磨損。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
九相同。
具體實(shí)施方式
i^一:結(jié)合圖2、圖8、圖17和圖18說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的自由度姿態(tài)調(diào)整單元D還包括兩個(gè)姿態(tài)調(diào)整手輪D9，每個(gè)姿態(tài)調(diào)整釘D13上連接有一個(gè)姿態(tài)調(diào)整手輪D9。如此設(shè)置，便于調(diào)整姿態(tài)調(diào)整架D14的姿態(tài)。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
十相同。
具體實(shí)施方式
十二:結(jié)合圖2、圖7、圖8和圖9說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的自由度姿態(tài)調(diào)整單元D還包括角度鎖緊手輪D34，角度鎖緊手輪D34安裝在角度鎖緊釘D20上。如此設(shè)置，便于鎖緊姿態(tài)調(diào)整架D14的姿態(tài)。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
十一相同。光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱E與5自由度位姿調(diào)整臺(tái)之間通過(guò)連接軸E5連接，將連接軸E5插入徑向關(guān) 節(jié)軸承DlO中，并通過(guò)連接螺母鎖緊，同時(shí)將姿態(tài)調(diào)整釘D13對(duì)正耐磨墊塊E13。
權(quán)利要求
1.一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法，其特征在于:大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法的具體步驟為: 步驟1:準(zhǔn)備工作；打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭(F1)，將潔凈風(fēng)機(jī)與大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的充壓接口法蘭(Fl)安裝處的潔凈充氣接口相連；將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置運(yùn)輸?shù)酱罂趶焦鈱W(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)附近，粗定位； 步驟2:啟動(dòng)潔凈風(fēng)機(jī)； 步驟3:打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭(F2)，等待3-10分鐘； 步驟4:調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿，使大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置滿足光學(xué)元件拆裝要求；然后將大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置連接到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭(F2)上；步驟5:拔出大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)的箱體蓋板(E15)； 步驟6:操作者通過(guò)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)上的操作口將光學(xué)元件從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)拔出滑入光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)內(nèi)，或者將光學(xué)元件從光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)插入到大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)內(nèi)； 步驟7:插入大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)的箱體蓋板(E15)； 步驟8:將大口徑光 學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置從大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭(F2)上拆下； 步驟9:封閉大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的光學(xué)元件拆裝接口法蘭口 ； 步驟10:停止?jié)崈麸L(fēng)機(jī)； 步驟11:將潔凈風(fēng)機(jī)接口從沖壓接口法蘭(Fl)上拆除，并封閉充壓接口 ； 步驟12:將拆卸后的光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)運(yùn)輸回百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行維修。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法，其特征在于:步驟I中的潔凈風(fēng)機(jī)風(fēng)量的選擇:設(shè)潔凈拆裝法蘭的有效開(kāi)口面積為S，拆裝過(guò)程中需保證潔凈拆裝法蘭(F2)出口處風(fēng)速為VI，單位為m/s，根據(jù)百級(jí)環(huán)境維持要求，潔凈風(fēng)機(jī)流量 Q>VlXSX60m3/min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法，其特征在于:步驟I中充壓接口的尺寸設(shè)計(jì):設(shè)定管道內(nèi)氣體流速V2，單位為m/s，根據(jù)流體學(xué)，沖壓接口的開(kāi)口面積A1=IcX Q/V2/60，其中Q為潔凈風(fēng)機(jī)流量，k為大于1-2的系數(shù)，根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu)情況確定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法，其特征在于:步驟4中調(diào)整大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝裝置位姿的方式為:豎向位置調(diào)整單元(A)通過(guò)升降操作手柄(A26)轉(zhuǎn)動(dòng)升降螺母(A7)，在固定升降螺桿(A3)轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，驅(qū)動(dòng)升降螺桿(A3)上升或下降；升降螺母(A3)由軸承支撐，不固定升降螺桿(A3)轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的情況下，可以帶動(dòng)其上的所有部件轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)和升降調(diào)整到位后，轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊手輪(A33)實(shí)現(xiàn)鎖緊；橫向位置調(diào)整單元(B)通過(guò)橫向手輪(BI)轉(zhuǎn)動(dòng)橫向平動(dòng)螺桿(B8)，驅(qū)動(dòng)橫向工作臺(tái)(B9)平移；縱向位置調(diào)整單元(C)通過(guò)縱向手輪(Cl)轉(zhuǎn)動(dòng)縱向平動(dòng)螺桿(CS)，驅(qū)動(dòng)縱向工作臺(tái)(ClO)平移；2自由度姿態(tài)調(diào)整單元(D)通過(guò)支撐桿(D17)與角度鎖緊釘(D20)的配合實(shí)現(xiàn)姿態(tài)調(diào)整架俯仰角度的有級(jí)粗調(diào)整；通過(guò)姿態(tài)調(diào)整釘(D13)頂動(dòng)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)的耐磨墊塊(E13)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件潔凈拆裝轉(zhuǎn)運(yùn)箱(E)以徑向關(guān)節(jié)軸承(D10)為軸心的 俯仰和轉(zhuǎn)動(dòng)的并聯(lián)微調(diào)整。
全文摘要
一種大口徑光學(xué)元件的橫向在線潔凈拆裝方法，它涉及一種大口徑光學(xué)元件的橫向潔凈拆裝方法。本發(fā)明為了解決大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)維護(hù)光學(xué)元件時(shí)間長(zhǎng)，裝置運(yùn)行效率低的問(wèn)題。本發(fā)明主要步驟打開(kāi)大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)殼體上的沖壓接口法蘭，將潔凈風(fēng)機(jī)與潔凈充氣接口相連；將拆裝裝置運(yùn)輸?shù)睫D(zhuǎn)換系統(tǒng)附近；啟動(dòng)潔凈風(fēng)機(jī)；打開(kāi)光學(xué)元件拆裝接口法蘭；調(diào)整拆裝裝置位姿，將其連接到光學(xué)元件拆裝接口法蘭上；拔出箱體蓋板；通過(guò)操作口轉(zhuǎn)移光學(xué)元件；插入箱體蓋板；將拆裝裝置拆下；封閉拆裝接口法蘭口；停止?jié)崈麸L(fēng)機(jī)；將潔凈風(fēng)機(jī)從沖壓接口法蘭上拆除，并封閉沖壓接口；將轉(zhuǎn)運(yùn)箱運(yùn)輸回百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行維修。本發(fā)明將光學(xué)元件的維護(hù)周期從2天縮短到2小時(shí)。
文檔編號(hào)B23P19/02GK103212973SQ201310155810
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者梁迎春, 盧禮華, 張慶春, 于福利, 曹永智 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)