專利名稱：電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池鍍膜設(shè)備，尤其涉及其中石英管的檢測裝置。
背景技術(shù)：
PECVD是太陽能電池片等離子體化學沉積鍍膜法的簡稱，在太陽能電池的生產(chǎn)過 程中，對硅片鍍膜是提高太陽能吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原理，光線 照射到硅片上存在反射，硅片的光學損失和復合損失都會使太陽能電池的輸出低于理想 值，對硅片表面進行鍍膜處理是目前工業(yè)化生產(chǎn)應(yīng)用層面上的成熟技術(shù)，目前，硅片鍍膜多 數(shù)采用平板式等離子體化學沉積法，即通過PECVD在硅片表面形成一層減反射膜。太陽能電池鍍膜設(shè)備的化學沉積鍍膜原理是在密閉的真空沉積源中裝有多根真 空石英管，在每根真空石英管中放有一根銅管，向沉積源中通入硅烷和氨氣，再通過電控部 分使真空石英管中的銅管發(fā)射出微波，在高溫條件下，沉積源中的硅烷、氨氣和硅片進行反 應(yīng)生成氮化硅，氮化硅會慢慢沉積在電池片表面上，從而實現(xiàn)硅片鍍膜。由于氮化硅具有良 好的減反射性能，因此在硅片的吸光面進行鍍膜可以大幅度提高太陽能電池的吸光效率。由于石英管具有極其穩(wěn)定的物理和化學性能，其膨脹系數(shù)極小，能夠承受劇烈的 溫度變化，因而被廣泛應(yīng)用于太陽能電池鍍膜設(shè)備中。在太陽能電池鍍膜設(shè)備中，石英管質(zhì) 量的好壞對整個工藝過程至關(guān)重要，如果石英管存在缺陷，外界氣體就會進入沉積源，會直 接影響硅烷、氨氣與硅片的反應(yīng)，直接影響硅片的鍍膜的質(zhì)量，甚至會引發(fā)爆炸事故，因此， 必須對太陽能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進行耐壓氣密性檢查。目前，所有太陽能電池生產(chǎn) 企業(yè)都沒有相應(yīng)的自檢裝置，給產(chǎn)品質(zhì)量和操作者的生產(chǎn)安全帶來極大隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為太陽能電池生產(chǎn)企業(yè)提供一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測 裝置及其使用方法，它能對太陽能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進行耐壓氣密性檢查，能精確 查找石英管是否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保 工作人員和生產(chǎn)設(shè)備的安全。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是本發(fā)明所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置，其特征是它包括待檢石英管、上 密封塞、下密封塞、真空計、閥門、真空泵、通氣管和硅膠密封圈，上密封塞和下密封塞塞裝 在待檢石英管的兩端，使待檢石英管內(nèi)形成密閉容腔，真空計、閥門和真空泵三者由通氣管 串接后與待檢石英管內(nèi)的密閉容腔相通。進一步，在待檢石英管與上密封塞和下密封塞的密封段設(shè)有硅膠密封圈。具體檢驗方法打開真空泵，使閥門處于開啟狀態(tài)，由于真空泵不斷工作，使待檢 石英管的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當真空度達到預(yù)定值時，記錄觀察真空計上的讀數(shù)， 然后關(guān)閉閥門和真空泵，經(jīng)過一定時間的漏氣試驗，再次記錄真空計上的讀數(shù)，將真空計的 前后讀數(shù)進行對比，若前后一致，則說明待檢石英管質(zhì)量可靠，能正常安裝使用，相反，則說明待檢石英管存在質(zhì)量隱患，不能使用。由于本發(fā)明能夠模擬真空管的實際工作受壓狀態(tài)進行檢測，通過對密閉的待檢石 英管進行抽真空，經(jīng)過一定時間觀察其內(nèi)的真空度是否會變化，以此來判定待檢石英管是 否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保工作人員和生 產(chǎn)設(shè)備的安全。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為待檢石英管與上密封塞、下密封塞的連接示意圖。圖中1_待檢石英管；2-上密封塞；3-下密封塞；4-真空計；5-閥門；6-真空泵； 7-通氣管；8-硅膠密封圈。
具體實施例方式本發(fā)明所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置，如圖1、圖2所示，它由待檢石英 管1、上密封塞2、下密封塞3、真空計4、閥門5、真空泵6、通氣管7和硅膠密封圈8組成，上 密封塞2和下密封塞3通過硅膠密封圈8氣密性地塞裝在待檢石英管1的兩端，使待檢石 英管1內(nèi)形成密閉容腔，真空計4、閥門5和真空泵6三者由通氣管7串接后與待檢石英管 1內(nèi)的密閉容腔相通。具體檢驗方法打開真空泵6，使閥門5處于開啟狀態(tài)，由于真空泵6不斷工作，使 待檢石英管1的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當真空度達到預(yù)定值時，記錄觀察真空計4上 的讀數(shù)，然后關(guān)閉閥門5，經(jīng)過10分鐘時間，再次記錄真空計4上的讀數(shù)，將真空計4的前后 讀數(shù)進行對比，若前后一致，則說明待檢石英管1質(zhì)量可靠，能正常安裝使用。相反，則說明 待檢石英管1存在質(zhì)量隱患，不能使用。
權(quán)利要求
一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置，其特征是它包括待檢石英管(1)、上密封塞(2)、下密封塞(3)、真空計(4)、閥門(5)、真空泵(6)、通氣管(7)和硅膠密封圈(8)，上密封塞(2)和下密封塞(3)塞裝在待檢石英管(1)的兩端，使待檢石英管(1)內(nèi)形成密閉容腔，真空計(4)、閥門(5)和真空泵(6)三者由通氣管(7)串接后與待檢石英管(1)內(nèi)的密閉容腔相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置，其特征是在待檢石英管 (1)與上密封塞(2)和下密封塞(3)的密封段設(shè)有硅膠密封圈(8)。
3.電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置的使用方法如下打開真空泵(6)，使閥門(5)處于開啟狀態(tài)，由于真空泵(6)不斷工作，使待檢石英管 (1)的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當真空度達到預(yù)定值時，記錄觀察真空計(4)上的讀 數(shù)，然后關(guān)閉閥門(5)和真空泵(6)，經(jīng)過一定時間的漏氣試驗，再次記錄真空計(4)上的讀 數(shù)，將真空計(4)的前后讀數(shù)進行對比，若前后一致，則說明待檢石英管(1)質(zhì)量可靠，能正 常安裝使用，相反，則說明待檢石英管(1)存在質(zhì)量隱患，不能使用。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測裝置及其使用方法，它包括待檢石英管、上密封塞、下密封塞、真空計、閥門、真空泵、通氣管和硅膠密封圈，上密封塞和下密封塞塞裝在待檢石英管的兩端，使待檢石英管內(nèi)形成密閉容腔，真空計、閥門和真空泵三者由通氣管串接后與待檢石英管內(nèi)的密閉容腔相通。使用本發(fā)明能對太陽能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進行耐壓氣密性檢查，能準確可靠地判定待檢石英管是否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保工作人員和生產(chǎn)設(shè)備的安全。
文檔編號C23C16/513GK101876580SQ201010134709
公開日2010年11月3日 申請日期2010年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月19日
發(fā)明者姚偉忠 申請人:常州億晶光電科技有限公司