技術(shù)總結(jié)
一種多功能鍍膜設(shè)備，包括真空腔室，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有坩堝、電磁感應(yīng)線圈、中高頻電源、工件臺盤和高壓氣體管路，在真空腔室外設(shè)置有自控臺架、靶材輸送器、真空泵和高壓供氣系統(tǒng)。采用本發(fā)明的多功能鍍膜設(shè)備，可實現(xiàn)真空腔內(nèi)物理沉積鍍膜和高壓氣體腔體外精細噴涂鍍膜兩種鍍膜方法。并解決了鍍制多種不同膜層以及進行金屬和非金屬材料的鍍膜需要購置多種真空鍍膜機、設(shè)備投資大的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：宋逸
受保護的技術(shù)使用者：上海建冶科技工程股份有限公司
文檔號碼：201510455754
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.29
技術(shù)公布日：2017.02.15