1.自承式承載器裝置，其用于蒸發(fā)器源(10)，所述蒸發(fā)器源用于至少一個基底的表面處理，其中，所述承載器裝置具有底部(82)和與所述底部(82)連接的側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)，其中，所述底部(82)和所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)構(gòu)成一個接收部(85)，所述蒸發(fā)器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)由石墨纖維材料構(gòu)成。
2.按照權(quán)利要求1所述的承載器裝置，其中，所述底部(82)具有一個通孔(86)，所述蒸發(fā)器源(10)與所述蒸氣分配器(50)之間的流體技術(shù)上的連接部(68)可被貫穿引導(dǎo)穿過所述通孔。
3.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，底部(82)和側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)中的至少一個由經(jīng)碳纖維加強的復(fù)合材料來制作。
4.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，底部(82)和側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)中的至少一個由CFC復(fù)合材料來制作。
5.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，所述底部(82)被構(gòu)造為平面矩形底部板的形式，并且所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)具有鄰接到所述底部板的側(cè)邊緣(82a、82b、82c、82d)上的并能與其連接的側(cè)壁板(84a、84b、84c、84d)。
6.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，在所述底部(82)和在所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)上構(gòu)造有彼此對應(yīng)的并能彼此嵌接的以及彼此間隔開的突起部(83)和貫通部(87)，借助于它們，所述底部(82)和所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)可通過彼此的插接連接來連接。
7.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)具有向外和/或向上從所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)伸出的至少兩個保持區(qū)段(88)，所述至少兩個保持區(qū)段用于所述承載器裝置的懸掛式布置。
8.按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置，其中，所述側(cè)壁結(jié)構(gòu)(84)具有用于貫穿引導(dǎo)能從所述蒸發(fā)器源(10)取下的封閉蓋(26)的至少一個通孔(90)。
9.蒸發(fā)器裝置，其具有按照前述權(quán)利要求中任一項所述的承載器裝置(80)，并具有布置在所述承載器裝置(80)的接收部(85)中的蒸發(fā)器源(10)，所述蒸發(fā)器源通過構(gòu)造在所述承載器裝置(80)的底部(82)中的通孔(86)與蒸氣分配器(50)流體連通。
10.按照權(quán)利要求9所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述蒸氣分配器(50)通過連接接管(52)與所述蒸發(fā)器源(10)的連接接管(32)流體連通，并且其中，蒸發(fā)器源(10)與蒸氣分配器(50)之間的由這些連接接管(32、52)所構(gòu)成的流體技術(shù)上的連接部延伸穿過所述底部(82)的通孔(86)。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求9或10所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述在承載器裝置(80)與所述蒸發(fā)器源(10)之間的中間空間至少局部地填充有絕熱件(100)。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求9至11中任一項所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述承載器裝置(80)的至少一個外側(cè)面(92)至少部分區(qū)段以絕熱件(130)覆蓋。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求9至12中任一項所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述蒸氣分配器(50)的至少一個外側(cè)面(66)至少部分區(qū)段以絕熱件(120)覆蓋。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求11至13中任一項所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述絕熱件(100、120、130)具有石墨氈(102、122、132)、石墨泡沫、石英氈、一個或多個輻射板(124)或由這些材料構(gòu)成的組合。
15.根據(jù)前述權(quán)利要求11至14中任一項所述的蒸發(fā)器裝置，其中，所述蒸氣分配器(50)至少部分區(qū)段至少局部地被具有底部(142)、遮蓋部(146)和側(cè)壁(144)的外殼(140)圍住。
16.根據(jù)前述權(quán)利要求11至15中任一項所述的蒸發(fā)器裝置，其中，至少所述蒸發(fā)器源(10)或所述蒸氣分配器(50)具有由石墨制成的單體殼體(12、52)。