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熱壓鑄模具表面涂層的制備方法與流程

文檔序號(hào):11126683閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種熱壓鑄模具表面涂層的制備方法,其特征在于,該方法將熱壓鑄模具表面噴砂及清洗處理后,放入電弧離子鍍?cè)O(shè)備內(nèi),以矩形Ti靶作為底層的Ti來(lái)源,矩形Ti靶安置在爐體左內(nèi)壁上,通過(guò)矩形Ti靶電弧電源的電流控制矩形Ti靶的蒸發(fā)率,在熱壓鑄模具表面制備一層Ti底層;然后以圓形CrAl靶作為制備CrAlN涂層的Cr、Al元素來(lái)源,其中Cr、Al元素的原子成分比例為Cr/Al=70/30,通過(guò)圓形CrAl靶電弧電源的電流控制CrAl靶的蒸發(fā)率;采用高純N2作為反應(yīng)氣體,使其離化并與Cr、Al元素結(jié)合,在Ti底層上沉積形成CrAlN涂層。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,具體的工藝條件是:

(1)等離子體刻蝕

將預(yù)處理后的熱壓鑄模具裝入電弧離子鍍膜真空室,抽真空并加熱到500℃,鍍膜前,通入20ml/min的Ar到真空室,當(dāng)真空室氣壓達(dá)到6Pa時(shí),開偏壓至-1000V對(duì)真空室的熱壓鑄模具表面進(jìn)行轟擊刻蝕和除氣處理,持續(xù)120分鐘;

(2)Ti底層制備

熱壓鑄模具刻蝕完成后,調(diào)節(jié)Ar流量到30ml/min,將真空室氣壓調(diào)至0.3Pa,打開矩形Ti靶電弧電源,弧電流100A,調(diào)整偏壓到-200V,持續(xù)10分鐘,在熱壓鑄模具表面制備得到Ti底層;

(3)CrAlN涂層制備

Ti底層制備完成后,將偏壓調(diào)整為-80V,將Ar流量關(guān)閉,打開N2開關(guān),調(diào)整N2流量使真空室氣壓為0.8Pa,將矩形Ti靶關(guān)閉,將圓形CrAl靶打開,電流為80A,開始在Ti底層上制備CrAlN涂層,持續(xù)240分鐘,在Ti底層表面沉積形成CrAlN涂層。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述的圓形CrAl靶共 三個(gè),以均布的方式安置在爐體右內(nèi)壁上。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,所述的熱壓鑄模具采用4Cr5MoV1Si材料制作。

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