1.一種振動式深冷球磨制備納米晶粉體的設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備包括：通保護氣體管路、通液氮管路、壓力反饋線路、溫度反饋線路、罐內(nèi)壓力及溫度控制系統(tǒng)、球磨罐、驅(qū)動電機、主軸、偏心輪、彈簧及液氮及保護氣體源，具體結(jié)構(gòu)如下：
球磨罐分別通過通保護氣體管路、通液氮管路與液氮及保護氣體源連通，在所述通保護氣體管路、通液氮管路上分別設(shè)置閥門；壓力反饋線路、溫度反饋線路的一端連至球磨罐，壓力反饋線路的另一端連至通保護氣體管路上的閥門，溫度反饋線路的另一端連至通液氮管路上的閥門，壓力反饋線路、溫度反饋線路上設(shè)置罐內(nèi)壓力及溫度控制系統(tǒng)，罐內(nèi)壓力及溫度控制系統(tǒng)根據(jù)球磨罐中的壓力和溫度信號，控制壓力反饋線路、溫度反饋線路上閥門的開度和啟閉；
球磨罐與主軸剛性連接，主軸與驅(qū)動電機連接，主軸上設(shè)置偏心輪并連接一端固定的彈簧。
2.按照權(quán)利要求1所述的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的設(shè)備，其特征在于：球磨罐的外殼設(shè)置通氮夾層，通液氮管路分兩路，一路連至球磨罐內(nèi)，另一路連至通氮夾層內(nèi)。
3.一種使用權(quán)利要求1或2所述設(shè)備的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的方法，其特征在于，采用振動式球磨結(jié)合液氮制冷的方法制備納米晶粉體，原料粒度為5～50μm，晶粒尺寸0.5～5μm的商用氣霧化粉末；球磨參數(shù)如下：在液氮氣氛或保護氣體氣氛下球磨，球磨溫度在室溫至-196℃范圍調(diào)整，球磨振幅2～8mm，振動頻率50Hz，球料質(zhì)量比(5～15):1，球磨時間1～5h。
4.按照權(quán)利要求3所述的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的方法，其特征在于，通過調(diào)整不銹鋼磨球尺寸及過程控制劑加入量，精確控制受磨粉體的粒度。
5.按照權(quán)利要求3所述的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的方法，其特征在于，通過調(diào)整液氮流量可以在常溫至-196℃范圍內(nèi)自由控制球磨溫度。
6.按照權(quán)利要求3所述的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的方法，其特征在于，通過調(diào)整偏心輪角度、質(zhì)量和驅(qū)動電機功率控制球磨振幅及振動頻率。
7.按照權(quán)利要求3所述的振動式深冷球磨制備納米晶粉體的方法，其特征在于，球磨罐實現(xiàn)罐內(nèi)灌注液氮伴隨球磨，或在罐外通液氮夾層中充液氮制冷，而在罐內(nèi)充入保護氣體伴隨球磨，實現(xiàn)深冷球磨氣氛的自由控制。