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帶感應(yīng)片的真空鍍膜室的制作方法

文檔序號:11041429閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.帶感應(yīng)片的真空鍍膜室,包括真空泵、導(dǎo)氣管、反應(yīng)室、蒸發(fā)源、鍍膜支架、感應(yīng)片,其特征在于真空泵通過導(dǎo)氣管與反應(yīng)室連通,反應(yīng)室中央位置設(shè)置有蒸發(fā)源,鍍膜支架設(shè)置在蒸發(fā)源上方,鍍膜支架頂部位置設(shè)置有感應(yīng)片,鍍膜支架頂部朝上方突起,蒸發(fā)源位于鍍膜支架頂部突起的正下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架為三腳支架。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架頂部呈圓形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的真空鍍膜室,其特征在于所述感應(yīng)片設(shè)置在鍍膜支架的頂部中央位置。

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