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帶感應(yīng)片的雙向旋轉(zhuǎn)真空鍍膜室的制作方法

文檔序號(hào):11041437閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.帶感應(yīng)片的雙向旋轉(zhuǎn)真空鍍膜室,包括真空泵、導(dǎo)氣管、反應(yīng)室、蒸發(fā)源、鍍膜支架、感應(yīng)片、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、旋轉(zhuǎn)電機(jī),其特征在于真空泵通過(guò)導(dǎo)氣管與反應(yīng)室連通,反應(yīng)室中央位置設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái),蒸發(fā)源為多個(gè),多個(gè)蒸發(fā)源設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,鍍膜支架設(shè)置在旋轉(zhuǎn)電機(jī)下方,旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在反應(yīng)室頂部,鍍膜支架上表面朝上突起,蒸發(fā)源位于鍍膜支架上表面突起的正下方,鍍膜支架頂部位置設(shè)置有感應(yīng)片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的雙向旋轉(zhuǎn)真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架與旋轉(zhuǎn)電機(jī)之間為鋼性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的雙向旋轉(zhuǎn)真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架通過(guò)三根支柱鋼性連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶感應(yīng)片的雙向旋轉(zhuǎn)真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架頂部呈圓形。

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