本技術(shù)屬于人造金剛石，具體涉及一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、微波等離子體化學(xué)氣相沉積(mpcvd)是制備高品質(zhì)金剛石的一種方法，mpcvd設(shè)備內(nèi)，等離子體沉積使得金剛石生長。mpcvd設(shè)備內(nèi)，溫度是影響金剛石生長的重要參數(shù)之一，合理的溫度范圍有利于提高金剛石生長，溫度超出額定范圍，則不利于金剛石生長。mpcvd設(shè)備內(nèi)影響金剛石生長溫度的因素有：輸入的微波功率、腔體壓力和盛放金剛石生長的金剛石生長鉬臺與水冷臺之間的傳熱。輸入的微波功率直接決定了等離子體加熱的能量，功率越高，溫度也就越高。而腔體壓力決定了等離子體的大小，從而決定了等離子密度，腔體壓力越大，等離子體越小，等離子氣團密度也就越高，從而溫度越高。

2、為追求較高的金剛石生長速度和質(zhì)量，mpcvd設(shè)備內(nèi)需提供盡可能大的微波功率和腔體壓力，而盡可能大的微波功率和腔體壓力將導(dǎo)致金剛石生長溫度升高，此時，為使金剛石生長溫度適宜，調(diào)整金剛石生長鉬臺與水冷臺之間的傳熱尤為重要，當(dāng)微波功率和腔體壓力將導(dǎo)致金剛石生長溫度升高時，可通過調(diào)整金剛石生長鉬臺與水冷臺之間的傳熱使得金剛石生長溫度處于適宜范圍內(nèi)。

3、現(xiàn)有技術(shù)調(diào)整金剛石生長鉬臺與水冷臺之間的傳熱時，將金剛石生長鉬臺直接放在水冷臺上，通過在金剛石生長鉬臺上加工一系列不同厚度和不同形狀的槽來調(diào)節(jié)金剛石生長鉬臺上金剛石生長所需要的溫度，操作繁瑣，金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)復(fù)雜、加工量較大，浪費鉬材料；并且金剛石生長鉬臺上槽的深度固定，難以對金剛石生長溫度進行靈活調(diào)整。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，以至少解決上述部分技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案如下：

3、一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，包括水冷臺，以及設(shè)于水冷臺上用于生長金剛石的金剛石生長鉬臺；金剛石生長鉬臺與水冷臺頂端螺紋連接，并且水冷臺頂面與金剛石生長鉬臺之間形成有間隙。

4、進一步地，水冷臺包括臺體和設(shè)于臺體頂部的凸臺，金剛石生長鉬臺螺紋連接于凸臺上。

5、進一步地，金剛石生長鉬臺底部開設(shè)有與凸臺相適配的安裝槽，安裝槽內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)螺紋，凸臺外壁設(shè)有與內(nèi)螺紋相適配的外螺紋，金剛石生長鉬臺與凸臺之間通過內(nèi)螺紋與外螺紋相配合而螺紋連接。

6、進一步地，安裝槽深度與凸臺高度相一致。

7、進一步地，金剛石生長鉬臺外徑與臺體外徑大小相同。

8、進一步地，水冷臺外壁上開設(shè)有呈環(huán)形的防滑槽，防滑槽位于金剛石生長鉬臺下方。

9、進一步地，水冷臺內(nèi)部中空形成有水冷腔，水冷臺上設(shè)有分別與水冷腔相連通的進水口和出水口。

10、進一步地，進水口內(nèi)密封連接有與水冷腔相連通并用于為水冷腔內(nèi)輸送冷卻水的導(dǎo)流管。

11、進一步地，出水口呈環(huán)形，出水口環(huán)繞導(dǎo)流管分布。

12、進一步地，臺體呈圓柱形，導(dǎo)流管、出水口與臺體同軸心分布。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果：

14、本實用新型設(shè)計科學(xué)合理，使用方便，通過調(diào)整金剛石生長鉬臺距水冷臺頂部的距離來靈活調(diào)整水冷臺與金剛石生長鉬臺之間的傳熱，可于較大范圍內(nèi)調(diào)整金剛石生長溫度；相對于現(xiàn)有對金剛石生長鉬臺進行復(fù)雜加工以調(diào)整水冷臺與金剛石生長鉬臺之間的傳熱，本實用新型操作更為簡單；本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，無需進行復(fù)雜加工，避免了鉬材料浪費。

技術(shù)特征：

1.一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括水冷臺（1），以及設(shè)于水冷臺（1）上用于生長金剛石（2）的金剛石生長鉬臺（3）；金剛石生長鉬臺（3）與水冷臺（1）頂端螺紋連接，并且水冷臺（1）頂面與金剛石生長鉬臺（3）之間形成有間隙（4）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，安裝槽（5）深度與凸臺（9）高度相一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，金剛石生長鉬臺（3）外徑與臺體（8）外徑大小相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，水冷臺（1）外壁上開設(shè)有呈環(huán)形的防滑槽（10），防滑槽（10）位于金剛石生長鉬臺（3）下方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，水冷臺（1）內(nèi)部中空形成有水冷腔（11），水冷臺（1）上設(shè)有分別與水冷腔（11）相連通的進水口（16）和出水口（12）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，進水口（16）內(nèi)密封連接有與水冷腔（11）相連通并用于為水冷腔（11）內(nèi)輸送冷卻水的導(dǎo)流管（13）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，出水口（12）呈環(huán)形，出水口（12）環(huán)繞導(dǎo)流管（13）分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，臺體（8）呈圓柱形，導(dǎo)流管（13）、出水口（12）與臺體（8）同軸心分布。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種金剛石生長鉬臺結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)調(diào)整金剛石生長鉬臺與水冷臺之間的傳熱時，存在操作繁瑣以及鉬材料浪費的技術(shù)問題。本技術(shù)包括水冷臺，以及設(shè)于水冷臺上用于生長金剛石的金剛石生長鉬臺；金剛石生長鉬臺與水冷臺頂端螺紋連接，水冷臺頂面與金剛石生長鉬臺之間形成有間隙。本技術(shù)設(shè)計科學(xué)合理，使用方便，通過調(diào)整金剛石生長鉬臺距水冷臺頂部的距離來靈活調(diào)整水冷臺與金剛石生長鉬臺之間的傳熱，可于較大范圍內(nèi)調(diào)整金剛石生長溫度；相對于現(xiàn)有對金剛石生長鉬臺進行復(fù)雜加工以調(diào)整水冷臺與金剛石生長鉬臺之間的傳熱，本技術(shù)操作更為簡單；本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單，無需進行復(fù)雜加工，避免了鉬材料浪費。

技術(shù)研發(fā)人員：袁穩(wěn),鄭怡,侯淅燕
受保護的技術(shù)使用者：成都穩(wěn)正科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231030
技術(shù)公布日：2025/4/7