一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體表面處理加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具。適用于IC裝備(半導(dǎo)體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產(chǎn)設(shè)備)制造業(yè)的不規(guī)則零件圓形密封面拋光的治具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在IC裝備制造行業(yè)中，對零部件的密封性要求越來越高，越來越多的零件需要加工密封面以滿足整機的密封性能要求。對于規(guī)則圓形零件而言，其表面上的圓形密封面可以通過轉(zhuǎn)盤輕而易舉地加工出來。但是對于不規(guī)則地零件而言，其表面上的圓形密封面則只能通過人工手動加工。鑒于上述情況，有必要設(shè)計一種同樣可以使用轉(zhuǎn)盤加工不規(guī)則零件上圓形密封面的拋光治具。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具，可以通過該拋光治具采用轉(zhuǎn)盤加工不規(guī)則零件的圓形密封面。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具，包括與拋光轉(zhuǎn)盤固定連接的轉(zhuǎn)盤底座、橫向固定桿、縱向固定桿及縱向固定桿螺母，轉(zhuǎn)盤底座內(nèi)沿圓周對稱開有四個徑向軌道，在轉(zhuǎn)盤底座側(cè)壁上對應(yīng)徑向軌道開有安裝橫向固定桿的螺紋孔，所述轉(zhuǎn)盤底座的底部設(shè)有可裝夾在拋光轉(zhuǎn)盤上的固定柱，使用時，不規(guī)則零件置于轉(zhuǎn)盤底座四個徑向軌道之間，縱向固定桿為四個，分別置入徑向軌道內(nèi)，采用螺母固定，通過橫向固定桿、縱向固定桿及縱向固定桿螺母固定零件，使零件的待拋圓形密封面的圓心與轉(zhuǎn)盤底座圓心重合。
[0006]進(jìn)一步地，所述徑向軌道截面結(jié)構(gòu)與縱向固定桿配合，所述縱向固定桿在徑向軌道中自由移動。
[0007]進(jìn)一步地，所述橫向固定桿的圓柱桿上帶有與轉(zhuǎn)盤底座側(cè)壁螺紋孔相匹配的螺紋。
[0008]進(jìn)一步地，所述縱向固定桿的柄端一側(cè)為與零件接觸，另一側(cè)與橫向固定桿接觸，桿端開有與縱向固定桿螺母相匹配的螺紋。
[0009]本發(fā)明的有益效果為:
[0010]1.本發(fā)明能有效對不規(guī)則零件的圓形密封面進(jìn)行轉(zhuǎn)盤拋光。其中轉(zhuǎn)盤底座的底部固定圓柱可裝夾在拋光轉(zhuǎn)盤上。而橫向固定桿和縱向固定桿又可將不規(guī)則零件緊固在轉(zhuǎn)盤底座上，從而可以采用轉(zhuǎn)盤拋光不規(guī)則零件的圓形密封面。
[0011]2.本發(fā)明既拆卸簡便且易固定，在解決不規(guī)則零件的圓形密封面拋光問題同時，進(jìn)一步提升了密封面的拋光效率及拋光品質(zhì)。本發(fā)明尤其適用于不規(guī)則零件的圓形密封面的拋光。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明轉(zhuǎn)盤底座結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為圖1的左視圖。
[0014]圖3為本發(fā)明縱向固定桿結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖4為本發(fā)明橫向固定桿結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中:1.轉(zhuǎn)盤底座，2.橫向固定桿，3.縱向固定桿，31.柄端，32.桿端，4.零件放置處，5.軌道，6.固定柱，7.螺紋孔。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0018]實施例:如圖1所示，本發(fā)明包括與拋光轉(zhuǎn)盤固定連接的轉(zhuǎn)盤底座1、橫向固定桿2、縱向固定桿3及縱向固定桿螺母4，轉(zhuǎn)盤底座I內(nèi)沿圓周對稱開有四個徑向軌道5，在轉(zhuǎn)盤底座I側(cè)壁上對應(yīng)徑向軌道5開有安裝橫向固定桿2的螺紋孔，所述轉(zhuǎn)盤底座I的底部設(shè)有可裝夾在拋光轉(zhuǎn)盤上的固定柱6，使用時，不規(guī)則零件置于轉(zhuǎn)盤底座I的四個徑向軌道5之間，縱向固定桿3為四個，分別置入徑向軌道5內(nèi)，并采用螺母固定，通過橫向固定桿2、縱向固定桿3及縱向固定桿螺母固定零件，使零件的待拋圓形密封面的圓心與轉(zhuǎn)盤底座I圓心重合。
[0019]如圖1、圖3所示，所述徑向軌道5截面結(jié)構(gòu)與縱向固定桿3配合，為由上到下為逐漸變小的三階階梯截面，所述縱向固定桿3在徑向軌道5中自由移動。如圖3所示，所述縱向固定桿3的柄端31—側(cè)為與零件接觸，另一側(cè)與橫向固定桿2接觸，桿端32開有與縱向固定桿3螺母相匹配的螺紋。
[0020]如圖4所示，所述橫向固定桿2的圓柱桿上帶有與轉(zhuǎn)盤底座I側(cè)壁螺紋孔7相匹配的螺紋。
[0021]本發(fā)明的應(yīng)用:
[0022]在拋光時，首先將轉(zhuǎn)盤底座I上的底部固定圓柱6裝夾到自動機械轉(zhuǎn)盤上并通過扳手緊固二者;然后，調(diào)整不規(guī)則零件的放置位置，使其待拋圓形密封面的圓心與轉(zhuǎn)盤底座I圓心重合；當(dāng)調(diào)整完畢后，分別將四個縱向固定桿3從轉(zhuǎn)盤底座I上方插入軌道5中，并從轉(zhuǎn)盤底座I下方分別將4個螺母4鎖入縱向固定桿3的螺紋上，注意不要緊固轉(zhuǎn)盤底座I與縱向固定桿3;此時，將橫向固定桿2的螺紋桿從轉(zhuǎn)盤底座I的螺紋孔7中旋入，并分別調(diào)整橫向固定桿2與縱向固定桿3、縱向固定桿3與零件之間的相互作用力，從而達(dá)到緊固零件的目的；最后，待零件的位置及受力調(diào)整好后，鎖緊縱向固定桿的固定螺母4即可。
【主權(quán)項】
1.一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具，其特征在于:包括與拋光轉(zhuǎn)盤固定連接的轉(zhuǎn)盤底座、橫向固定桿、縱向固定桿及縱向固定桿螺母，轉(zhuǎn)盤底座內(nèi)沿圓周對稱開有四個徑向軌道，在轉(zhuǎn)盤底座側(cè)壁上對應(yīng)徑向軌道開有安裝橫向固定桿的螺紋孔，所述轉(zhuǎn)盤底座的底部設(shè)有可裝夾在拋光轉(zhuǎn)盤上的固定柱，使用時，不規(guī)則零件置于轉(zhuǎn)盤底座四個徑向軌道之間，縱向固定桿為四個，分別置入徑向軌道內(nèi)，采用螺母固定，通過橫向固定桿、縱向固定桿及縱向固定桿螺母固定零件，使零件的待拋圓形密封面的圓心與轉(zhuǎn)盤底座圓心重合。2.按照權(quán)利要求1所述圓形密封面拋光治具，其特征在于:所述徑向軌道截面結(jié)構(gòu)與縱向固定桿配合，所述縱向固定桿在徑向軌道中自由移動。3.按照權(quán)利要求1所述圓形密封面拋光治具，其特征在于:所述橫向固定桿的圓柱桿上帶有與轉(zhuǎn)盤底座側(cè)壁螺紋孔相匹配的螺紋。4.按照權(quán)利要求1所述圓形密封面拋光治具，其特征在于:所述縱向固定桿的柄端一側(cè)為與零件接觸，另一側(cè)與橫向固定桿接觸，桿端開有與縱向固定桿螺母相匹配的螺紋。
【專利摘要】一種不規(guī)則零件的圓形密封面拋光治具，屬于半導(dǎo)體表面處理加工技術(shù)領(lǐng)域。包括與拋光轉(zhuǎn)盤固定連接的轉(zhuǎn)盤底座、橫向固定桿、縱向固定桿及縱向固定桿螺母，轉(zhuǎn)盤底座內(nèi)沿圓周對稱開有四個徑向軌道，在轉(zhuǎn)盤底座側(cè)壁上對應(yīng)徑向軌道開有安裝橫向固定桿的螺紋孔，所述轉(zhuǎn)盤底座的底部設(shè)有可裝夾在拋光轉(zhuǎn)盤上的固定柱，使用時，不規(guī)則零件置于轉(zhuǎn)盤底座四個徑向軌道之間，縱向固定桿為四個，分別置入徑向軌道內(nèi)，采用螺母固定，通過橫向固定桿、縱向固定桿及螺母固定零件，使零件的待拋圓形密封面的圓心與轉(zhuǎn)盤底座圓心重合。本發(fā)明能有效對不規(guī)則零件的圓形密封面進(jìn)行轉(zhuǎn)盤拋光。拆卸簡便易固定，進(jìn)一步提升了密封面的拋光效率及拋光品質(zhì)。
【IPC分類】B24B29/02, B24B41/06
【公開號】CN105619228
【申請?zhí)枴緾N201610130825
【發(fā)明人】安朋娜
【申請人】沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2016年3月8日