一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶片加工銅拋制程需要使用樹(shù)脂銅盤(pán)加鉆石研磨液對(duì)晶片進(jìn)行表面研磨。加工過(guò)程中需要在樹(shù)脂銅盤(pán)上開(kāi)槽以提升鉆石液與晶片的有效接觸，從而保證晶片研磨的移除速率。隨著槽的磨損，移除速率會(huì)逐漸降低，影響加工效率，且磨損到一定程度后需要重新開(kāi)槽，造成樹(shù)脂銅盤(pán)的浪費(fèi)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種藍(lán)寶石晶片用研磨盤(pán)，通過(guò)本實(shí)用新型提高生產(chǎn)效率和增加樹(shù)脂銅盤(pán)的表面粗糙度。
[0004]本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題的技術(shù)方案是:
[0005]一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，包括陶瓷盤(pán)，所述陶瓷盤(pán)背面設(shè)置有把手，且陶瓷盤(pán)正面均勻設(shè)置有多個(gè)鉆石砂輪；
[0006]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn)，
[0007]進(jìn)一步，所述鉆石砂輪為圓形片狀，且鉆石砂輪的直徑為10_50mm ;
[0008]進(jìn)一步，所述鉆石砂輪選擇50-400目；
[0009]進(jìn)一步，所述鉆石砂輪的外端面在同一平面上；
[0010]在加工過(guò)程中，需要保證樹(shù)脂銅盤(pán)的表面粗糙度，這樣才能保證鉆石也停留在樹(shù)脂銅盤(pán)上，現(xiàn)有技術(shù)是使用車(chē)刀車(chē)溝的模式，但是這種方法比較繁瑣，還需要對(duì)樹(shù)脂銅盤(pán)進(jìn)行車(chē)刀加工，浪費(fèi)時(shí)間；采用本實(shí)用新型后，如果發(fā)現(xiàn)移除速率降低時(shí)，可以通過(guò)本實(shí)用新型的鉆石砂輪直接對(duì)樹(shù)脂銅盤(pán)進(jìn)行加工，提高樹(shù)脂銅盤(pán)的表面粗糙度，比較簡(jiǎn)單快捷，縮短了暫停加工的時(shí)間，提高了工作效率；
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型能夠比較快捷的對(duì)樹(shù)脂銅盤(pán)進(jìn)行加工，對(duì)藍(lán)寶石晶片加工的速度不會(huì)產(chǎn)生影響；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，工作效率高。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)的主視圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)的后視圖；
[0014]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0015]1、陶瓷盤(pán)，2、把手，3、鉆石砂輪。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。
[0017]一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，包括陶瓷盤(pán)I，所述陶瓷盤(pán)I背面設(shè)置有把手2，且陶瓷盤(pán)I正面均勻設(shè)置有多個(gè)鉆石砂輪3 ;
[0018]其中所述鉆石砂輪3為圓形片狀，且鉆石砂輪3的直徑為10-50mm，所述鉆石砂輪3選擇50-400目，所述鉆石砂輪3的外端面在同一平面上，這樣被加工的樹(shù)脂銅盤(pán)的平整度較高；
[0019]在加工過(guò)程中，如果發(fā)現(xiàn)移除速率降低時(shí)，可以通過(guò)本實(shí)用新型的鉆石砂輪直接對(duì)樹(shù)脂銅盤(pán)進(jìn)行加工，提高樹(shù)脂銅盤(pán)的表面粗糙度，比較簡(jiǎn)單快捷，縮短了暫停加工的時(shí)間，提高了工作效率，而且對(duì)藍(lán)寶石晶片加工的速度不會(huì)產(chǎn)生影響；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，工作效率高；
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，其特征在于，包括陶瓷盤(pán)，所述陶瓷盤(pán)背面設(shè)置有把手，且陶瓷盤(pán)正面均勻設(shè)置有多個(gè)鉆石砂輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，其特征在于，所述鉆石砂輪為圓形片狀，且鉆石砂輪的直徑為10-50mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，其特征在于，所述鉆石砂輪選擇50-400 目。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，其特征在于，所述鉆石砂輪的外端面在同一平面上。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及晶片加工裝置領(lǐng)域，公開(kāi)了一種樹(shù)脂銅盤(pán)用研磨盤(pán)，包括陶瓷盤(pán)，陶瓷盤(pán)背面設(shè)置有把手，且陶瓷盤(pán)正面均勻設(shè)置有多個(gè)鉆石砂輪，其中，鉆石砂輪為圓形片狀，且鉆石砂輪的直徑為10-50mm，鉆石砂輪選擇50-400目，所述鉆石砂輪的外端面在同一平面上，以保證樹(shù)脂銅盤(pán)的平整度，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，且提高了工作效率。
【IPC分類(lèi)】B24B37-16
【公開(kāi)號(hào)】CN204339540
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420827332
【發(fā)明人】周小勇, 蔡倫
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州合晶科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年12月23日