一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中，負(fù)載模塊需要用真空栗頻繁抽氣至預(yù)定壓力，現(xiàn)有的傳片模塊與真空栗單獨(dú)連通，真空栗只針對傳片模塊使用，導(dǎo)致傳片模塊所配備的真空栗利用率較低，為合理利用設(shè)備資源，需要一種新型快速抽氣結(jié)構(gòu)，可減少抽氣時間，提高設(shè)備產(chǎn)能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，提供了一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)可將控制傳片模塊的真空栗與控制上負(fù)載模塊及下負(fù)載模塊的真空栗聯(lián)合利用，可減少抽氣時間，提高設(shè)備產(chǎn)能。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:
[0005]—種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負(fù)載模塊，下負(fù)載模塊，角閥A，真空栗A，角閥B，角閥C，真空栗B，角閥D ;所述傳片模塊分別與上負(fù)載模塊、下負(fù)載模塊通過螺栓相連接，上負(fù)載模塊置于下負(fù)載模塊上方；傳片模塊與所述角閥D的一端通過管路相連接，角閥D的另一端與角閥C的一端及真空栗B通過管路相連接，上負(fù)載模塊與角閥A的一端通過管路相連接，下負(fù)載模塊3與角閥B的一端通過管路相連接，同時，角閥A的另一端與角閥B的另一端通過管路連通后再與所述角閥C的另一端及真空栗A通過管路相連接。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0007]1、本實(shí)用新型的抽氣結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用，增加抽氣速率，提高產(chǎn)能；
[0008]2、本實(shí)用新型有效利用現(xiàn)有的設(shè)備，不需要額外增加購置設(shè)備，成本較低。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)一步對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明，但實(shí)用新型保護(hù)內(nèi)容不局限于所述實(shí)施例:
[0011]如圖1所示，一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊1，上負(fù)載模塊2，下負(fù)載模塊3，角閥A4，真空栗A5，角閥B6，角閥C7，真空栗B8，角閥D9 ;所述傳片模塊1分別與上負(fù)載模塊2、下負(fù)載模塊3通過螺栓相連接，上負(fù)載模塊2置于下負(fù)載模塊3上方；傳片模塊1與所述角閥D9的一端通過管路相連接，角閥D9的另一端與角閥C7的一端及真空栗B8通過管路相連接，上負(fù)載模塊2與角閥A4的一端通過管路相連接，下負(fù)載模塊3與角閥B6的一端通過管路相連接，同時，角閥A4的另一端與角閥B6的另一端通過管路連通后再與所述角閥C7的另一端及真空栗A5通過管路相連接。
[0012]當(dāng)上負(fù)載模塊2需要抽真空時，關(guān)閉角閥D9和角閥B6，打開角閥C7和角閥A4，開啟真空栗B8和真空栗A5，與常用結(jié)構(gòu)相比，則該結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)對上負(fù)載模塊2的快速抽氣；同理，當(dāng)下負(fù)載模塊3需要抽真空時，關(guān)閉角閥D9和角閥A4，打開角閥C7和角閥B6，開啟真空栗B8和真空栗A5實(shí)現(xiàn)對下負(fù)載模塊3的快速抽氣。
[0013]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負(fù)載模塊，下負(fù)載模塊，角閥A，真空栗A，角閥B，角閥C，真空栗B，角閥D ;所述傳片模塊分別與上負(fù)載模塊、下負(fù)載模塊通過螺栓相連接，上負(fù)載模塊置于下負(fù)載模塊上方；傳片模塊與所述角閥D的一端通過管路相連接，角閥D的另一端與角閥C的一端及真空栗B通過管路相連接，上負(fù)載模塊與角閥A的一端通過管路相連接，下負(fù)載模塊3與角閥B的一端通過管路相連接，同時，角閥A的另一端與角閥B的另一端通過管路連通后再與所述角閥C的另一端及真空栗A通過管路相連接。
【專利摘要】一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，主要解決現(xiàn)有半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中傳片模塊所配備的真空泵利用率較低及設(shè)備產(chǎn)能低等問題，本實(shí)用新型提供一種新型負(fù)載腔體快速抽氣結(jié)構(gòu)，該抽氣結(jié)構(gòu)包括傳片模塊，上負(fù)載模塊，下負(fù)載模塊，角閥A，真空泵A，角閥B，角閥C，真空泵B，角閥D。本實(shí)用新型的抽氣結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用，不需要額外增加購置設(shè)備，成本較低，并且可增加抽氣速率，提高產(chǎn)能。
【IPC分類】C23C14/56
【公開號】CN205077135
【申請?zhí)枴緾N201520829090
【發(fā)明人】杜廣宇, 廉杰, 方仕彩
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月23日