一種新型真空用濕氣充入裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種真空設備應用，特別是涉及一種新型真空用濕氣充入裝置。
【背景技術】
[0002]化學氣相沉積(Chemical vapor deposit1n，簡稱CVD)是反應物質在氣態(tài)條件下發(fā)生化學反應，生成固態(tài)物質沉積在加熱的固態(tài)基體表面，進而制得固體材料的工藝技術。它本質上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質過程。與之相對的是物理氣相沉積(PVD)?，F代科學和技術需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地摻入某種雜質形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產品。因此，無機新材料的合成就成為現代材料科學中的主要課題?；瘜W氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術。化學氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是II1-V、I1-1V、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制。目前，化學氣相淀積已成為無機合成化學的一個新領域。
[0003]磁控濺射通常將欲沉積的材料制成板材一一靶，固定在陰極上。基片置于正對靶面的陽極上，距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10?1帕的氣體(通常為氬氣)，在陰極和陽極間加幾千伏電壓，兩極間即產生輝光放電。放電產生的正離子在電場作用下飛向陰極，與靶表面原子碰撞，受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子，其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同，濺射鍍膜不受膜材熔點的限制，可濺射W、Ta、C、Mo、WC、T i C等難熔物質。濺射化合物膜可用反應濺射法，即將反應氣體(0、N、HS、CH等)加入Ar氣中，反應氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。
[0004]上述兩種設備都需要充入微量氣體，有的特殊工藝需要微量精確充入濕氣。
[0005]目前采用的濕氣充入裝置主要由調節(jié)閥控制，由人感覺，不能定量，重復性差，所鍍的真空薄膜不理想。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種新型真空用濕氣充入裝置。
[0007]本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的:
[0008]—種新型真空用濕氣充入裝置，包括真空罐體，所述真空罐體的進氣口和抽氣口分別設置有濕氣發(fā)生器和抽氣機，所述濕氣發(fā)生器與所述進氣口之間的管路設置有充氣調節(jié)閥，所述充氣調節(jié)閥連接有調節(jié)閥控制器，所述真空罐體還安裝有濕度計和觀察窗，所述觀察窗位于所述真空罐體的頂部，所述濕度計安裝在所述真空罐體的內部，所述濕度計的上端部設置有濕度計顯示器和濕度計開關按鈕，所述濕度計的下端部設置有濕度計測量口，所述濕度計顯示器位于所述觀察窗的正下方，所述濕度計測量口靠近所述進氣口，所述真空罐體的頂部設置有可以按下的開關按鈕真空密封軸，所述開關按鈕真空密封軸位于所述濕度計開關按鈕的正上方。
[0009]進一步地，所述濕度計位于所述濕氣發(fā)生器和所述抽氣機之間。
[0010]進一步地，所述濕度計通過濕度計支架固定安裝在所述真空罐體的內部。
[0011]進一步地，所述觀察窗為固定卡裝在所述真空罐體頂部的透明玻璃材質。
[0012]進一步地，所述開關按鈕真空密封軸為L型結構，所述開關按鈕真空密封軸的橫桿部位于所述濕度計開關按鈕的正上方。
[0013]本實用新型的有益效果在于:
[0014]本實用新型可通過濕度計測量出濕氣的流量和濕度，通過觀察窗可觀測到濕度計顯示器上的數據，通過調節(jié)閥控制器及調節(jié)閥可控制濕氣流量，從而可精確定量的充入鍍膜用反應濕氣，重復性好，所鍍的真空薄膜比較理想。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型所述新型真空用濕氣充入裝置的結構示意圖；
[0016]圖中:1_真空罐體，2-濕度計，3-濕氣發(fā)生器，4-抽氣機，5-充氣調節(jié)閥，101-觀察窗，102-開關按鈕真空密封軸，103-濕度計支架，201-濕度計開關按鈕，202-濕度計顯示器，203-濕度計測量口，301_進氣口，401-抽氣口，501-調節(jié)閥控制器。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0018]如圖1所示，本實用新型包括真空罐體1，真空罐體1的進氣口301和抽氣口401分別設置有濕氣發(fā)生器3和抽氣機4，濕氣發(fā)生器3與進氣口 301之間的管路設置有充氣調節(jié)閥5，充氣調節(jié)閥5連接有調節(jié)閥控制器501，真空罐體1還安裝有濕度計2和觀察窗101，觀察窗101位于真空罐體1的頂部，濕度計2安裝在真空罐體1的內部，濕度計2的上端部設置有濕度計顯示器202和濕度計開關按鈕201，濕度計2的下端部設置有濕度計測量口 203，濕度計顯示器202位于觀察窗101的正下方，濕度計測量口 203靠近進氣口 301，真空罐體1的頂部設置有可以按下的開關按鈕真空密封軸102，開關按鈕真空密封軸102位于濕度計開關按鈕201的正上方。
[0019]在本實施例中，濕度計2位于濕氣發(fā)生器3和抽氣機4之間。濕度計2通過濕度計支架103固定安裝在真空罐體1的內部，根據實際情況的需要，也可將濕度計支架103設計為位置可上下調節(jié)的結構，從而能夠調節(jié)濕度計2的位置。觀察窗101為固定卡裝在真空罐體1頂部的透明玻璃材質，這樣不用打開觀察窗101也可觀察到濕度計顯示器202。開關按鈕真空密封軸102為L型結構，開關按鈕真空密封軸102的橫桿部位于濕度計開關按鈕201的正上方。
[0020]本實用新型所述新型真空用濕氣充入裝置，在工作時，濕氣發(fā)生器3產生濕氣通過充氣調節(jié)閥5從進氣口 301進入真空罐體1內部，再通過抽氣口401的抽氣機4抽入應用設備(未在圖中標注)，在通氣的過程中可通過調節(jié)閥控制器501控制進氣流量，當濕氣通過濕度計測量口 203時，通過觀察窗101可觀察濕度顯示器202上所顯示的濕度數據，即知道濕氣的流量和濕度。在本實施例中，濕度計2可通過電池供電，當一段時間不操作時，濕度計2自動處于待機狀態(tài)，當需要觀察濕度時，通過開關按鈕真空密封軸102按動濕度計開關按鈕201，濕度計2即處于可觀察狀態(tài)，這樣濕度計2可長時間工作。
[0021]以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1.一種新型真空用濕氣充入裝置，包括真空罐體，所述真空罐體的進氣口和抽氣口分別設置有濕氣發(fā)生器和抽氣機，所述濕氣發(fā)生器與所述進氣口之間的管路設置有充氣調節(jié)閥，其特征在于:所述充氣調節(jié)閥連接有調節(jié)閥控制器，所述真空罐體還安裝有濕度計和觀察窗，所述觀察窗位于所述真空罐體的頂部，所述濕度計安裝在所述真空罐體的內部，所述濕度計的上端部設置有濕度計顯示器和濕度計開關按鈕，所述濕度計的下端部設置有濕度計測量口，所述濕度計顯示器位于所述觀察窗的正下方，所述濕度計測量口靠近所述進氣口，所述真空罐體的頂部設置有可以按下的開關按鈕真空密封軸，所述開關按鈕真空密封軸位于所述濕度計開關按鈕的正上方。2.根據權利要求1所述的新型真空用濕氣充入裝置，其特征在于:所述濕度計位于所述濕氣發(fā)生器和所述抽氣機之間。3.根據權利要求1所述的新型真空用濕氣充入裝置，其特征在于:所述濕度計通過濕度計支架固定安裝在所述真空罐體的內部。4.根據權利要求1所述的新型真空用濕氣充入裝置，其特征在于:所述觀察窗為固定卡裝在所述真空罐體頂部的透明玻璃材質。5.根據權利要求1所述的新型真空用濕氣充入裝置，其特征在于:所述開關按鈕真空密封軸為L型結構，所述開關按鈕真空密封軸的橫桿部位于所述濕度計開關按鈕的正上方。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型真空用濕氣充入裝置，包括真空罐體，真空罐體的進氣口和抽氣口分別設置有濕氣發(fā)生器和抽氣機，濕氣發(fā)生器與進氣口之間的管路設置有充氣調節(jié)閥，充氣調節(jié)閥連接有調節(jié)閥控制器，真空罐體還安裝有濕度計和觀察窗，濕度計的上端部設置有濕度計顯示器和濕度計開關按鈕，濕度計的下端部設置有濕度計測量口，濕度計顯示器位于觀察窗的正下方，濕度計測量口靠近進氣口，真空罐體的頂部設置有可以按下的開關按鈕真空密封軸，開關按鈕真空密封軸位于濕度計開關按鈕的正上方。本實用新型可精確定量的充入鍍膜用反應濕氣，重復性好，所鍍的真空薄膜比較理想。
【IPC分類】C23C16/455
【公開號】CN205088302
【申請?zhí)枴緾N201520908702
【發(fā)明人】何吉剛, 馬寧, 蔣冰霜, 魏瓊林, 蒙志林, 雷梁, 冉從軍
【申請人】成都中科唯實儀器有限責任公司
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年11月13日