一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實用新型涉及研磨盤清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置。
[0003]【【背景技術(shù)】】
[0004]公知的，目前在半導(dǎo)體晶片、石英片以及陶瓷片加工過程中為保證晶片高幾何精度，需要一道平面研磨工序，此工序主要采用研磨液攜帶的高硬度研磨粉在上下盤面一定壓力以及相對速度下對晶片表面磨削，使用后的研磨液以及磨削掉的顆粒沉積形成的污垢會嚴重影響研磨效果，因此需要定期對研磨盤進行清洗，通常清洗方法使用鏟子或板刷對磨盤槽進行清理，然后使用水槍對上下盤清洗，但是這樣的清洗方式需要大量人力，且非常不方便，而使用水槍沖洗效果較差同時也浪費大量的水。
[0005]【【實用新型內(nèi)容】】
[0006]為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本實用新型公開了一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，本實用新型通過在齒輪片的上下兩面設(shè)置刷頭，并在齒輪片的四周設(shè)置輪齒，以此來達到快速、高效清理研磨盤的目的。
[0007]為了實現(xiàn)所述實用新型目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0008]—種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，包括齒輪片、刷頭和輪齒，在齒輪片的上下兩個側(cè)面上均設(shè)有刷頭，齒輪片的四周設(shè)有輪齒。
[0009]所述刷頭底部設(shè)有固定座，刷頭通過固定座與齒輪片相連接，固定座上設(shè)有緊固螺釘，刷頭通過緊固螺釘與固定座相連接。
[0010]所述齒輪片為圓盤型結(jié)構(gòu)，齒輪片由樹脂材料制作而成。
[0011]所述刷頭的頂部為圓柱型或鏟型結(jié)構(gòu)。
[0012]—種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除的方法，清洗方法如下:
[0013]將帶有毛刷I的齒輪片2放入磨盤內(nèi)，采用低速低壓力研磨方式清理磨盤及溝槽內(nèi)污垢，清理的過程中加自來水清洗，然后通過硅片清洗裝置對硅片的上下盤進行沖洗，沖洗完之后通過清洗裝置上的壓縮空氣將研磨盤的表面吹干。
[0014]由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果:
[0015]本實用新型所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，包括齒輪片、刷頭和輪齒，通過在齒輪片的上下兩面設(shè)置刷頭，并在齒輪片的四周設(shè)置輪齒，以此來達到快速、高效清理研磨盤的目的；本實用新型實用性強，不但可以快速高效的將研磨盤上的污垢清理出去，而且可以很好的保護好研磨盤，同時也大量的節(jié)省了人力，節(jié)約了水資源。
[0016]【【附圖說明】】
[0017]圖1為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)不意圖；
[0018]圖2為本實用新型的刷頭立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖中:1、刷頭;2、齒輪片;3、輪齒;4、固定座;5、緊固螺釘。
[0020]【【具體實施方式】】
[0021]通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進。
[0022]結(jié)合附圖1?2所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，包括齒輪片2、刷頭I和輪齒3，在齒輪片2的上下兩個側(cè)面上均設(shè)有刷頭1，齒輪片2的四周設(shè)有輪齒3;所述刷頭I底部設(shè)有固定座4，刷頭I通過固定座4與齒輪片2相連接，固定座4上設(shè)有緊固螺釘5，刷頭I通過緊固螺釘5與固定座4相連接;所述齒輪片2為圓盤型結(jié)構(gòu)，齒輪片2由樹脂材料制作而成;所述刷頭I的頂部為圓柱型或鏟型結(jié)構(gòu)。
[0023]—種研磨盤清洗的方法，清洗方法如下:
[0024]將帶有毛刷I的齒輪片2放入磨盤內(nèi)，采用低速低壓力研磨方式清理磨盤及溝槽內(nèi)污垢，清洗的過程中加自來水清洗，然后通過硅片清洗裝置對硅片的上下盤進行沖洗，沖洗完之后通過清洗裝置上的壓縮空氣將研磨盤的表面吹干。
[0025]實施本實用新型所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，在使用時，先通過固定座4將刷頭I固定在齒輪片2上面，然后通過緊固螺釘5進行緊固，這樣就可以將若干個齒輪片2同時放置在研磨盤上面了，放好之后，通過轉(zhuǎn)動下磨盤開始對研磨盤進行清理，清理的過程中用自來水進行沖洗，將研磨盤上的污垢沖洗干凈，然后再將研磨盤進行反轉(zhuǎn)，用同樣的方法清理研磨盤的另一面，清理完之后再用水進行污垢的清理，最后通過壓縮空氣將研磨盤的表面吹干即可，齒輪片2在清理的時候，由于磨盤是旋轉(zhuǎn)的，因此齒輪片2也會隨著磨盤進行轉(zhuǎn)動，而齒輪片2之間又通過輪齒3進行相對的自轉(zhuǎn)，這樣齒輪片2上的刷頭I正好可以清理到磨盤凹凸不平的地方，從而達到清理的效果，當刷頭I被磨損之后，可以卸掉緊固螺釘5來更換刷頭I，這樣就可以繼續(xù)使用，不但節(jié)約了資源，而且可以快速高效的清理磨盤。
[0026]本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
【主權(quán)項】
1.一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，包括齒輪片、刷頭和輪齒，其特征是:在齒輪片的上下兩個側(cè)面上均設(shè)有刷頭，齒輪片的四周設(shè)有輪齒。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，其特征是:所述刷頭底部設(shè)有固定座，刷頭通過固定座與齒輪片相連接，固定座上設(shè)有緊固螺釘，刷頭通過緊固螺釘與固定座相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，其特征是:所述齒輪片為圓盤型結(jié)構(gòu)，齒輪片由樹脂材料制作而成。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，其特征是:所述刷頭的頂部為圓柱型或鏟型結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】一種研磨盤溝槽雜質(zhì)清除裝置，涉及研磨盤清洗技術(shù)領(lǐng)域，由齒輪片、刷頭和輪齒構(gòu)成，在齒輪片的上下兩個側(cè)面上均設(shè)有刷頭，齒輪片的四周設(shè)有輪齒；本實用新型實用性強，不但可以快速高效的將研磨盤上的污垢清理出去，而且可以很好的保護好研磨盤，同時也大量的節(jié)省了人力，節(jié)約了水資源。
【IPC分類】B24B53/017
【公開號】CN205254786
【申請?zhí)枴緾N201521090269
【發(fā)明人】周濤, 王振國, 李萍
【申請人】洛陽鴻泰半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月24日