一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，包括陶瓷封接電極、連接套和蒸發(fā)源，連接套分別與陶瓷封接電極和蒸發(fā)源相密封配接，并且陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱延伸至連接套的內(nèi)部，蒸發(fā)源包括與連接套相接的基座，基座背離連接套的一側(cè)設(shè)置有陶瓷座，陶瓷座上設(shè)置有坩堝，坩堝內(nèi)繞制有加熱絲，加熱絲的引腳穿過坩堝的底部、陶瓷座及基座與陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。本實(shí)用新型的有機(jī)材料蒸發(fā)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，安裝及維修均較為便捷；增設(shè)了熱電偶，能在加熱過程中直觀的監(jiān)測(cè)溫度，有利于控制材料的蒸發(fā)；采用鉭加熱絲或鎢加熱絲作為加熱介質(zhì)，可以達(dá)到較高溫度，加熱速度快，效率高，耗能低；具有防護(hù)罩，起到隔熱防污等作用，降低了熱能損耗。
【專利說明】
一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)裝置，尤其涉及一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空熱蒸發(fā)鍍膜在有機(jī)EL(Electro Luminescence)電致發(fā)光，有機(jī)太陽能電池，金屬電極，食品包裝等行業(yè)被廣泛應(yīng)用，以及相應(yīng)薄膜器件的產(chǎn)業(yè)化中應(yīng)用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發(fā)，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發(fā)源與基板(襯底)之間輸運(yùn)，最后蒸發(fā)的分子或原子在基板(襯底)上沉積。
[0003]在有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，發(fā)射可見光的有機(jī)發(fā)光層和接近有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)層通過利用各種方法形成。尤其是真空沉積方法由于其簡(jiǎn)單的工藝而經(jīng)常被使用。在真空沉積方法中，將粉狀或固態(tài)的沉積材料填充到熔爐中，并通過對(duì)熔爐進(jìn)行加熱而在期望的區(qū)域上形成沉積膜，而現(xiàn)有技術(shù)中，蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，安裝維修復(fù)雜，功耗大，成本高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為:
[0006]—種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，包括陶瓷封接電極、連接套和蒸發(fā)源，所述連接套分別與陶瓷封接電極和蒸發(fā)源相密封配接，并且所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱延伸至所述連接套的內(nèi)部，
[0007]其中，所述蒸發(fā)源包括與連接套相接的基座，所述基座背離所述連接套的一側(cè)設(shè)置有陶瓷座，所述陶瓷座上設(shè)置有坩禍，所述坩禍內(nèi)繞制有加熱絲，所述加熱絲的引腳穿過坩禍的底部、陶瓷座及基座與所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。
[0008]進(jìn)一步地，所述蒸發(fā)源還包括一防護(hù)罩，所述防護(hù)罩一側(cè)與所述基座相固接，所述陶瓷座、坩禍均位于所述防護(hù)罩的內(nèi)腔。
[0009]進(jìn)一步地，所述防護(hù)罩與所述基座之間為螺紋配接。
[0010]進(jìn)一步地，所述防護(hù)罩為圓筒狀不銹鋼防護(hù)罩。
[0011]進(jìn)一步地，所述基座上設(shè)置有一用于測(cè)溫的熱電偶，所述熱電偶的測(cè)溫端穿過所述陶瓷座與所述坩禍的外表面相抵接，所述熱電偶的引腳與所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。
[0012]進(jìn)一步地，所述陶瓷封裝電極與連接套之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設(shè)置有密封圈。
[0013]進(jìn)一步地，所述坩禍可拆卸插接于所述陶瓷座上。
[0014]進(jìn)一步地，所述坩禍至少包括石英坩禍、氧化鋁陶瓷坩禍。
[0015]進(jìn)一步地，所述坩禍內(nèi)加熱絲繞制呈螺旋狀。
[0016]進(jìn)一步地，所述加熱絲為鉭絲或壩塔爾合金絲。
[0017]本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:
[0018]1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，安裝及維修均較為便捷；
[0019]2.增設(shè)了熱電偶，能在加熱過程中直觀的監(jiān)測(cè)溫度，有利于控制材料的蒸發(fā)；
[0020]3.采用鉭加熱絲或鎢加熱絲作為加熱介質(zhì)，可以達(dá)到較高溫度，加熱速度快，效率尚，耗能低；
[0021]4.具有防護(hù)罩，起到隔熱防污等作用，降低了熱能損耗。
【附圖說明】
[0022]圖1是本實(shí)用新型一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是本實(shí)用新型一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]本實(shí)用新型提供一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)描述，以使其更易于理解和掌握。
[0025]如圖1和圖2所示，一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，包括陶瓷封接電極1、連接套2和蒸發(fā)源3，連接套2分別與陶瓷封接電極I和蒸發(fā)源3相密封配接，并且陶瓷封接電極I的導(dǎo)電柱4延伸至連接套2的內(nèi)部，形成一個(gè)整體的部件，可安裝至真空鍍膜腔體上。其中，蒸發(fā)源3包括與連接套2相接的基座5，基座5背離連接套2的一側(cè)設(shè)置有陶瓷座6，陶瓷座6上設(shè)置有坩禍7，坩禍7內(nèi)繞制有加熱絲8，加熱絲8的引腳穿過坩禍7的底部、陶瓷座6及基座5與陶瓷封接電極I的導(dǎo)電柱4相導(dǎo)通連接。
[0026]更具體的描述，陶瓷封裝電極I與連接套2之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設(shè)置有密封圈U，密封性能好，陶瓷封裝電極的主體采用304不銹鋼，且其安裝接口為KF25或KF40快卸法蘭，陶瓷封裝電極中間具有四根導(dǎo)電柱，導(dǎo)電柱優(yōu)選為銅電極，銅電極與陶瓷封裝電極的主體之間采用陶瓷材料絕緣并焊接密封，其中兩根作為加熱絲的供電，兩根作為熱電偶9的信號(hào)?；?與連接套2之間由螺釘進(jìn)行固定，基座5優(yōu)選為不銹鋼材質(zhì)，其上開設(shè)有供熱電偶9、加熱絲8引腳穿過的通孔。陶瓷座6為氧化鋁陶瓷制得，其上亦設(shè)有供加熱絲8及熱電偶9穿過的通孔。坩禍7可拆卸插接于陶瓷座6上。
[0027]對(duì)本案進(jìn)行優(yōu)化，蒸發(fā)源3還包括一防護(hù)罩10，防護(hù)罩10—側(cè)與基座5相固接，陶瓷座6、坩禍7均位于防護(hù)罩10的內(nèi)腔。防護(hù)罩10能起到隔熱防污染的作用，防止熱能流失及外部污染物對(duì)蒸發(fā)有機(jī)材料產(chǎn)生污染。為方便防護(hù)罩與基座之間的安裝，防護(hù)罩與基座之間為螺紋配接，通過旋轉(zhuǎn)防護(hù)罩能輕松實(shí)現(xiàn)防護(hù)罩與基座之間的組裝與拆卸。防護(hù)罩優(yōu)選為圓筒狀不銹鋼防護(hù)罩，具有成本低廉，保護(hù)可靠的優(yōu)點(diǎn)。
[0028]另外，基座5上設(shè)置有一用于測(cè)溫的熱電偶9，熱電偶9的測(cè)溫端穿過陶瓷座6與坩禍7的外表面相抵接，熱電偶9的引腳與陶瓷封接電極I的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。熱電偶能在加熱過程中直觀的監(jiān)測(cè)溫度，有利于控制有機(jī)材料的蒸發(fā)。更細(xì)化的，熱電偶為K型熱電偶，測(cè)溫端直徑為0.5-1.5mm,熱電偶螺接于基座上。
[0029]最后對(duì)坩禍進(jìn)行細(xì)化描述，坩禍至少包括石英坩禍、氧化鋁陶瓷坩禍。坩禍內(nèi)加熱絲繞制呈螺旋狀。加熱絲8為鉭絲或壩塔爾合金絲，加熱絲的直徑為0.1?1mm，壩塔爾合金絲即為Kanthal合金絲。需要說明的是，本案的有機(jī)材料蒸發(fā)裝置采用直流供電，工作時(shí)電壓不超過10V，電流不超過10A，經(jīng)測(cè)試，大部分有機(jī)材料蒸出時(shí)的功率低于30W。由此可見，本案的有機(jī)材料蒸發(fā)裝置具有低功耗的特點(diǎn)，同時(shí)低于1V的工作電壓對(duì)人體無害。
[0030]以上對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行了充分描述，需要說明的是，本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】并不受上述描述的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員依據(jù)本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)在結(jié)構(gòu)、方法或功能等方面采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:包括陶瓷封接電極、連接套和蒸發(fā)源，所述連接套分別與陶瓷封接電極和蒸發(fā)源相密封配接，并且所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱延伸至所述連接套的內(nèi)部， 其中，所述蒸發(fā)源包括與連接套相接的基座，所述基座背離所述連接套的一側(cè)設(shè)置有陶瓷座，所述陶瓷座上設(shè)置有坩禍，所述坩禍內(nèi)繞制有加熱絲，所述加熱絲的引腳穿過坩禍的底部、陶瓷座及基座與所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述蒸發(fā)源還包括一防護(hù)罩，所述防護(hù)罩一側(cè)與所述基座相固接，所述陶瓷座、坩禍均位于所述防護(hù)罩的內(nèi)腔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述防護(hù)罩與所述基座之間為螺紋配接。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述防護(hù)罩為圓筒狀不銹鋼防護(hù)罩。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述基座上設(shè)置有一用于測(cè)溫的熱電偶，所述熱電偶的測(cè)溫端穿過所述陶瓷座與所述坩禍的外表面相抵接，所述熱電偶的引腳與所述陶瓷封接電極的導(dǎo)電柱相導(dǎo)通連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述陶瓷封裝電極與連接套之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設(shè)置有密封圈。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍可拆卸插接于所述陶瓷座上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍至少包括石英if禍、氧化鋁陶瓷;t甘禍。9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍內(nèi)加熱絲繞制呈螺旋狀。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述加熱絲為鉭絲或壩塔爾合金絲。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK205529005SQ201620248773
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月29日
【發(fā)明人】廖良生, 武啟飛, 陳敏
【申請(qǐng)人】蘇州方昇光電裝備技術(shù)有限公司