一種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。該驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)，包括：動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和軸，動(dòng)力源連接軸，且動(dòng)力源用于帶動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)；齒輪箱機(jī)構(gòu)連接動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)，且齒輪箱機(jī)構(gòu)能在軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動(dòng)密封件，動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，密封保護(hù)件與動(dòng)密封件相對(duì)應(yīng)設(shè)置，用于在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。該驅(qū)動(dòng)裝置通過設(shè)置密封保護(hù)件，能在齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，從而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠確保對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
【專利說明】
_種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在磁控濺射系統(tǒng)中，通常需要通過控制磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)形成轉(zhuǎn)動(dòng)的磁場(chǎng)，以便在鍍膜過程中提高磁控濺射的濺射率。
[0003]現(xiàn)有磁控管的轉(zhuǎn)動(dòng)主要是通過如圖1中的驅(qū)動(dòng)裝置來進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。圖1中驅(qū)動(dòng)裝置的安裝方式為:小同步帶輪8安裝在電機(jī)7的軸上，電機(jī)7安裝在電機(jī)支架71上，大帶輪9安裝在軸11上，同步帶10安裝在小同步帶輪8與大帶輪9上，軸11穿過上軸承座15，向心軸承16、支撐件17、軸承18，上軸承座15，向心軸承16、支撐件17、軸承18依次安裝到軸11上，軸承座19安裝到上電極上蓋20上，齒輪箱裝配23安裝在軸承座19上，使第一齒輪24與軸承座19嚙合，將鍵25安裝到軸11上，軸11穿過軸承座19與齒輪箱裝配23用鎖緊螺母鎖緊，磁控管裝配26安裝到第三齒輪27上。
[0004]現(xiàn)有驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)過程:電機(jī)7將轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)能傳遞給同步帶10，并帶動(dòng)大帶輪9與軸11轉(zhuǎn)動(dòng)，由于軸11與下箱體28之間有鍵25定位，導(dǎo)致軸11會(huì)帶動(dòng)下箱體28轉(zhuǎn)動(dòng)，軸承座19與上電極上蓋20固定，軸承座19與第一齒輪24有鍵與鍵槽嚙合，也相對(duì)固定，在下箱體28轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，軸承座19與第一齒輪24是靜止的，導(dǎo)致第二齒輪29會(huì)圍繞第一齒輪24轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)第三齒輪27會(huì)圍繞第二齒輪29轉(zhuǎn)動(dòng)，會(huì)形成下箱體28圍繞軸11轉(zhuǎn)動(dòng)，第三齒輪27帶動(dòng)磁控管裝配26轉(zhuǎn)動(dòng)，在下箱體28轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)使星形圈30與軸承座19摩擦。
[0005]圖1中驅(qū)動(dòng)裝置的密封方式為:腔體33內(nèi)充滿水，齒輪箱裝配23內(nèi)為大氣，無水。如圖2所示，驅(qū)動(dòng)裝置通過軸11與密封圈34之間的靜密封以及軸承座19與星形圈30之間的動(dòng)密封從而防止腔體33內(nèi)的水進(jìn)入到齒輪箱裝配23內(nèi)部。
[0006]當(dāng)軸11帶動(dòng)齒輪箱裝配23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，星形圈30相對(duì)軸承座19轉(zhuǎn)動(dòng)，通過星形圈30與軸承座19之間的緊密接觸使水不能滲到齒輪箱裝配23內(nèi)部，但由于軸承座19與星形圈30始終在摩擦，軸承座19通常采用金屬材料，星形圈30采用橡膠材質(zhì)，長(zhǎng)時(shí)間的非金屬與金屬摩擦，金屬件表面無法達(dá)到鏡面，使密封圈持續(xù)的磨損，當(dāng)磨損到一定量的時(shí)候就會(huì)出現(xiàn)密封不住的現(xiàn)象。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)。該驅(qū)動(dòng)裝置能在齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，從而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠確保對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0008]本實(shí)用新型提供一種驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)，包括:動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和軸，所述動(dòng)力源連接所述軸，且所述動(dòng)力源用于帶動(dòng)所述軸轉(zhuǎn)動(dòng);所述齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)，且所述齒輪箱機(jī)構(gòu)能在所述軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動(dòng)密封件，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，所述密封保護(hù)件與所述動(dòng)密封件相對(duì)應(yīng)設(shè)置，用于在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。
[0009]優(yōu)選地，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括第一軸承座和設(shè)置在所述第一軸承座內(nèi)的第一軸承，所述軸與所述第一軸承相適配并配合；
[0010]所述齒輪箱機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置有開口的箱體、設(shè)置在所述箱體內(nèi)對(duì)應(yīng)所述箱體開口位置的第二軸承座和設(shè)置在所述第二軸承座內(nèi)的第二軸承，所述軸穿過所述箱體開口與所述第二軸承相適配并配合；
[0011]所述動(dòng)密封件包括第一密封圈，所述密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)，所述第一密封圈設(shè)置在所述箱體開口的側(cè)壁上，所述陶瓷環(huán)設(shè)置在所述第一軸承座的背對(duì)所述軸的外側(cè)面上，所述第一密封圈和所述陶瓷環(huán)相面對(duì)并貼合，所述第一密封圈能在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)與所述陶瓷環(huán)相對(duì)滑動(dòng)，以對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。
[0012]優(yōu)選地，所述陶瓷環(huán)的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπι。
[0013]優(yōu)選地，所述第一密封圈包括星形密封圈。
[0014]優(yōu)選地，所述第二軸承座與所述第一軸承座的端部對(duì)接，且所述第二軸承座與所述第一軸承座的對(duì)接的端部通過第一連接件連接。
[0015]優(yōu)選地，所述第一軸承座的與其對(duì)接端相對(duì)的一端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第一凸臺(tái)，所述第二軸承座的對(duì)接端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第二凸臺(tái)，所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)相對(duì)，且所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置所述陶瓷環(huán)。
[0016]優(yōu)選地，所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)之間的間距等于所述陶瓷環(huán)的環(huán)面的寬度。
[0017]優(yōu)選地，所述第一凸臺(tái)的面對(duì)所述第二凸臺(tái)的臺(tái)面上開設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈，所述第二密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。
[0018]優(yōu)選地，所述第二凸臺(tái)的面對(duì)所述第一凸臺(tái)的臺(tái)面上開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈，所述第三密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。
[0019]本實(shí)用新型還提供一種磁控設(shè)備，包括上述驅(qū)動(dòng)裝置，還包括磁控管，所述驅(qū)動(dòng)裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述磁控管，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0020]本實(shí)用新型還提供一種磁控濺射系統(tǒng)，包括上述磁控設(shè)備。
[0021]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型所提供的驅(qū)動(dòng)裝置，通過設(shè)置密封保護(hù)件，當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該密封保護(hù)件和動(dòng)密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對(duì)摩擦轉(zhuǎn)動(dòng)從而對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠確保對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0022]本實(shí)用新型所提供的磁控設(shè)備，通過采用上述驅(qū)動(dòng)裝置，提高了該磁控設(shè)備的密封性能，從而提高了該磁控設(shè)備運(yùn)行的可靠性。
[0023]本實(shí)用新型所提供的磁控濺射系統(tǒng)，通過采用上述磁控設(shè)備，不僅提高了該磁控濺射系統(tǒng)的濺射率，而且提高了該磁控濺射系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性。
【附圖說明】
[0024]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0025]圖2為對(duì)圖1中的I部分放大后的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0026]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0027]圖4為對(duì)圖3中動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)連接處的密封保護(hù)件和動(dòng)密封件放大后的結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0028]其中的附圖標(biāo)記說明:
[0029]1.動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)；11.軸；100.磁控管；12.第一軸承座；121.第一凸臺(tái)；2.齒輪箱機(jī)構(gòu);21.箱體;210.開口；22.第二軸承座;221.第二凸臺(tái)；31.第一密封圈；32.陶瓷環(huán);4.第一連接件;5.第二密封圈;6.第三密封圈;7.電機(jī);71.電機(jī)支架;8.小同步帶輪;9.大帶輪;10.同步帶；15.上軸承座；16.向心軸承；17.支撐件；18.軸承；19.軸承座；20.上電極上蓋;23.齒輪箱裝配;24.第一齒輪;25.鍵;26.磁控管裝配;27.第三齒輪;28.下箱體;29.第二齒輪；30.星形圈；33.腔體;34.密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型所提供的一種驅(qū)動(dòng)裝置、磁控設(shè)備和磁控濺射系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0031]實(shí)施例1:
[0032]本實(shí)施例提供一種驅(qū)動(dòng)裝置，如圖3和圖4所示，用于驅(qū)動(dòng)磁控管100轉(zhuǎn)動(dòng)，包括:動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2，動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I包括動(dòng)力源(圖中未示出)和軸11，動(dòng)力源連接軸11，且動(dòng)力源用于帶動(dòng)軸11轉(zhuǎn)動(dòng)；齒輪箱機(jī)構(gòu)2連接動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I，且齒輪箱機(jī)構(gòu)2能在軸11的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪箱機(jī)構(gòu)2包括動(dòng)密封件，動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I包括密封保護(hù)件，密封保護(hù)件與動(dòng)密封件相對(duì)應(yīng)設(shè)置，用于在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封。
[0033]本實(shí)施例中的密封保護(hù)件和動(dòng)密封件指的是當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)2在軸11的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該密封保護(hù)件和動(dòng)密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對(duì)摩擦轉(zhuǎn)動(dòng)從而對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠確保對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成很好的密封。
[0034]需要說明的是，動(dòng)力源可以以任何形式帶動(dòng)軸11轉(zhuǎn)動(dòng)。如動(dòng)力源為電機(jī)，電機(jī)能夠通過皮帶帶動(dòng)軸11轉(zhuǎn)動(dòng)，即電機(jī)的軸連接一個(gè)皮帶輪，軸11的一端連接另一個(gè)皮帶輪，兩個(gè)皮帶輪之間通過皮帶連接，電機(jī)的軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，能帶動(dòng)其連接的皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)皮帶轉(zhuǎn)動(dòng)，繼而帶動(dòng)連接在軸11一端上的皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，最后帶動(dòng)軸11轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)然，動(dòng)力源也可以直接與軸11連接，并帶動(dòng)軸11轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0035]本實(shí)施例中，動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I還包括第一軸承座12和設(shè)置在第一軸承座12內(nèi)的第一軸承(圖中未示出)，軸11與第一軸承相適配并配合。第一軸承座12和第一軸承的設(shè)置，能使軸11與動(dòng)力源很好地連接，從而使軸11能夠在動(dòng)力源的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)。齒輪箱機(jī)構(gòu)2還包括設(shè)置有開口 210的箱體21、設(shè)置在箱體21內(nèi)對(duì)應(yīng)箱體開口 210位置的第二軸承座22和設(shè)置在第二軸承座22內(nèi)的第二軸承(圖中未示出)，軸11穿過箱體開口210與第二軸承相適配并配合。第二軸承座22和第二軸承的設(shè)置，能使軸11與齒輪箱機(jī)構(gòu)2很好地連接，從而使齒輪箱機(jī)構(gòu)2能夠在軸11的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)。動(dòng)密封件包括第一密封圈31，密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)32，第一密封圈31設(shè)置在箱體開口 210的側(cè)壁上，陶瓷環(huán)32設(shè)置在第一軸承座12的背對(duì)軸11的外側(cè)面上，第一密封圈31和陶瓷環(huán)32相面對(duì)并貼合，第一密封圈31能在齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)與陶瓷環(huán)32相對(duì)滑動(dòng)，以對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成密封。由于第一密封圈31與陶瓷環(huán)32相互貼合，且在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)二者也緊密貼合，所以能夠?qū)X輪箱機(jī)構(gòu)2的箱體21內(nèi)部形成動(dòng)密封，從而防止箱體21外部的介質(zhì)滲入到箱體21內(nèi)部。
[0036]需要說明的是，陶瓷環(huán)32采用陶瓷材質(zhì)，陶瓷材質(zhì)的陶瓷環(huán)32具有較好的耐磨性，能夠使與其相互貼合并相對(duì)滑動(dòng)摩擦的第一密封圈31不容易被磨損，從而確保了第一密封圈31良好的密封效果。
[0037]本實(shí)施例中，陶瓷環(huán)32的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπι。該粗糙度的陶瓷環(huán)32表面非常光滑，能夠進(jìn)一步減小陶瓷環(huán)32與第一密封圈31之間的相對(duì)摩擦，從而進(jìn)一步減小第一密封圈31的摩擦損耗，進(jìn)而確保第一密封圈31對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0038]本實(shí)施例中，第一密封圈31采用星形密封圈。星形密封圈也稱X形密封圈，指密封圈的縱切面呈X形。星形密封圈能夠減少密封圈與陶瓷環(huán)32的接觸面積，從而減小二者之間的相對(duì)摩擦阻力，進(jìn)而不僅能夠?qū)X輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部形成很好的密封，而且還能使齒輪箱機(jī)構(gòu)2繞軸11更加省力地轉(zhuǎn)動(dòng)，最大程度地減小摩擦損耗，節(jié)約動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I的能量。
[0039]另外需要說明的是，箱體開口210的側(cè)壁上開設(shè)有凹槽，第一密封圈31鑲嵌在該凹槽中。如此設(shè)置，能使第一密封圈31的位置固定，以便與陶瓷環(huán)32相面對(duì)并貼合。
[0040]箱體21內(nèi)部用來容納齒輪，箱體21內(nèi)部的介質(zhì)為大氣，箱體21外部的介質(zhì)為水，第一密封圈31和陶瓷環(huán)32的設(shè)置能夠防止水滲入到箱體21內(nèi)部，對(duì)齒輪的運(yùn)轉(zhuǎn)造成故障或損壞。
[0041 ]本實(shí)施例中，第二軸承座22與第一軸承座12的端部對(duì)接，且第二軸承座22與第一軸承座12的對(duì)接的端部通過第一連接件4連接。如此設(shè)置，能夠確保動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2緊密貼合，以防止箱體21外部的水通過第二軸承滲入到箱體21內(nèi)部；同時(shí)還能確保動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)I和齒輪箱機(jī)構(gòu)2的連接更加牢固，從而使軸11能夠更加穩(wěn)固地帶動(dòng)齒輪箱機(jī)構(gòu)2轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0042]其中，第一連接件4采用螺釘或螺栓，第二軸承座22和第一軸承座12的對(duì)接的端部開設(shè)有螺孔，螺釘或螺栓貫穿在螺孔中，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)第二軸承座22和第一軸承座12的連接固定。
[0043]本實(shí)施例中，第一軸承座12的與其對(duì)接端相對(duì)的一端向遠(yuǎn)離軸11方向延伸形成第一凸臺(tái)121，第二軸承座22的對(duì)接端向遠(yuǎn)離軸11方向延伸形成第二凸臺(tái)221，第一凸臺(tái)121和第二凸臺(tái)221相對(duì)，且第一凸臺(tái)121和第二凸臺(tái)221圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置陶瓷環(huán)32。如此設(shè)置，能夠避免第一密封圈31與第一軸承座12相貼合，從而避免第一密封圈31與第一軸承座12之間產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)摩擦，進(jìn)而避免第一密封圈31與金屬材質(zhì)的第一軸承座12相互摩擦，導(dǎo)致第一密封圈31摩擦受損，密封不良。
[0044]其中，第一凸臺(tái)121和第二凸臺(tái)221之間的間距等于陶瓷環(huán)32的環(huán)面的寬度。如此設(shè)置，能使陶瓷環(huán)32恰好容納于由第一凸臺(tái)121和第二凸臺(tái)221圍設(shè)形成的空間內(nèi)，同時(shí)，第一凸臺(tái)121和第二凸臺(tái)221能夠?qū)⑻沾森h(huán)32夾緊固定，從而使陶瓷環(huán)32的位置不會(huì)發(fā)生移動(dòng)，進(jìn)而確保第一密封圈31能夠始終保持與陶瓷環(huán)32位置相對(duì)應(yīng)并緊密貼合。
[0045]本實(shí)施例中，第一凸臺(tái)121的面對(duì)第二凸臺(tái)221的臺(tái)面上開設(shè)有第一凹槽，第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈5，第二密封圈5用于阻止齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)滲入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2的內(nèi)部。第二密封圈5的設(shè)置，能夠進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0046]本實(shí)施例中，第二凸臺(tái)221的面對(duì)第一凸臺(tái)121的臺(tái)面上開設(shè)有第二凹槽，第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈6，第三密封圈6用于阻止齒輪箱機(jī)構(gòu)2外部的介質(zhì)滲入到齒輪箱機(jī)構(gòu)2的內(nèi)部。第三密封圈6的設(shè)置，能夠進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)2內(nèi)部的密封效果。
[0047]實(shí)施例1的有益效果:實(shí)施例1中所提供的驅(qū)動(dòng)裝置，通過設(shè)置密封保護(hù)件，當(dāng)齒輪箱機(jī)構(gòu)在軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該密封保護(hù)件和動(dòng)密封件能通過相互之間的緊密接觸和相對(duì)摩擦轉(zhuǎn)動(dòng)從而對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封，也即能使齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)無法進(jìn)入到齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部，進(jìn)而在齒輪箱機(jī)構(gòu)繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠確保對(duì)齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成很好的密封。
[0048]實(shí)施例2:
[0049]本實(shí)施例提供一種磁控設(shè)備，包括實(shí)施例1中的驅(qū)動(dòng)裝置，還包括磁控管，驅(qū)動(dòng)裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接磁控管，齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0050]具體地，齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部的齒輪與磁控管連接，齒輪箱機(jī)構(gòu)能在驅(qū)動(dòng)裝置中的動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)。磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)能夠形成轉(zhuǎn)動(dòng)的磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)用于在磁控濺射過程中提高濺射率。
[0051]通過采用實(shí)施例1中的驅(qū)動(dòng)裝置，提高了該磁控設(shè)備的密封性能，從而提高了該磁控設(shè)備運(yùn)行的可靠性。
[0052]實(shí)施例3:
[0053]本實(shí)施例提供一種磁控濺射系統(tǒng)，包括實(shí)施例2中的磁控設(shè)備。
[0054]通過采用實(shí)施例2中的磁控設(shè)備，不僅提高了該磁控濺射系統(tǒng)的濺射率，而且提高了該磁控濺射系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性。
[0055]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)，包括:動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)和齒輪箱機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和軸，所述動(dòng)力源連接所述軸，且所述動(dòng)力源用于帶動(dòng)所述軸轉(zhuǎn)動(dòng);所述齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)，且所述齒輪箱機(jī)構(gòu)能在所述軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)包括動(dòng)密封件，其特征在于，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)包括密封保護(hù)件，所述密封保護(hù)件與所述動(dòng)密封件相對(duì)應(yīng)設(shè)置，用于在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述動(dòng)力帶動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括第一軸承座和設(shè)置在所述第一軸承座內(nèi)的第一軸承，所述軸與所述第一軸承相適配并配合； 所述齒輪箱機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置有開口的箱體、設(shè)置在所述箱體內(nèi)對(duì)應(yīng)所述箱體開口位置的第二軸承座和設(shè)置在所述第二軸承座內(nèi)的第二軸承，所述軸穿過所述箱體開口與所述第二軸承相適配并配合； 所述動(dòng)密封件包括第一密封圈，所述密封保護(hù)件包括陶瓷環(huán)，所述第一密封圈設(shè)置在所述箱體開口的側(cè)壁上，所述陶瓷環(huán)設(shè)置在所述第一軸承座的背對(duì)所述軸的外側(cè)面上，所述第一密封圈和所述陶瓷環(huán)相面對(duì)并貼合，所述第一密封圈能在所述齒輪箱機(jī)構(gòu)繞所述軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)與所述陶瓷環(huán)相對(duì)滑動(dòng)，以對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的所述齒輪箱機(jī)構(gòu)內(nèi)部形成密封。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述陶瓷環(huán)的表面粗糙度范圍為0.2-0.4μπιο4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一密封圈包括星形密封圈。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二軸承座與所述第一軸承座的端部對(duì)接，且所述第二軸承座與所述第一軸承座的對(duì)接的端部通過第一連接件連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一軸承座的與其對(duì)接端相對(duì)的一端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第一凸臺(tái)，所述第二軸承座的對(duì)接端向遠(yuǎn)離所述軸方向延伸形成第二凸臺(tái)，所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)相對(duì)，且所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)圍設(shè)形成的空間內(nèi)用于容置所述陶瓷環(huán)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一凸臺(tái)和所述第二凸臺(tái)之間的間距等于所述陶瓷環(huán)的環(huán)面的寬度。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一凸臺(tái)的面對(duì)所述第二凸臺(tái)的臺(tái)面上開設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第二密封圈，所述第二密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二凸臺(tái)的面對(duì)所述第一凸臺(tái)的臺(tái)面上開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽內(nèi)設(shè)置有第三密封圈，所述第三密封圈用于阻止所述齒輪箱機(jī)構(gòu)外部的介質(zhì)滲入到所述齒輪箱機(jī)構(gòu)的內(nèi)部。10.—種磁控設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，還包括磁控管，所述驅(qū)動(dòng)裝置中的齒輪箱機(jī)構(gòu)連接所述磁控管，所述齒輪箱機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述磁控管轉(zhuǎn)動(dòng)。11.一種磁控濺射系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求10所述的磁控設(shè)備。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK205529014SQ201620284296
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年4月7日
【發(fā)明人】王濤
【申請(qǐng)人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司