掩模板的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種掩模板，屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，其可至少部分解決現(xiàn)有的掩模板更換遮光條，成本昂貴、且平整度難以保證的問(wèn)題。本實(shí)用新型的掩模板包括框架和設(shè)置于框架上方的遮光條，其特征在于，框架的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽，和/或，框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽；相應(yīng)的，每一遮光條的兩端均分別設(shè)置有限位條，限位條成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的橫向凹槽或豎向凹槽內(nèi)，限位條能沿其所在的橫向凹槽或豎向凹槽移動(dòng)。該掩模板平整度較高、且具有較高兼容性，能夠極大節(jié)省生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
掩模板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩模板?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在有機(jī)電致發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting D1de，簡(jiǎn)稱(chēng)0LED)的蒸鍍工藝中，通常使用的掩模板，要求其全節(jié)距(Total Pitch，簡(jiǎn)稱(chēng)TP)值在正負(fù)lOOwii之內(nèi)。在使用過(guò)程中，當(dāng)掩模板的TP值超出了正負(fù)1 OOwii時(shí)，將影響基板(Pane 1)的質(zhì)量，需要重新制作掩模板。
[0003]圖1為現(xiàn)有的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，掩模板通過(guò)張網(wǎng)(Tens 1n)工藝， 并通過(guò)激光焊接(Laser Welding)的方式將遮光條1(sheet)焊接在框架2(Frame)上。當(dāng)掩模板的TP值超出規(guī)定值，或者需要對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行加工時(shí)，都需要重新制作掩模板， 即卸下焊接在框架2上的遮光條1，并將新的遮光條1重新焊接在框架2上，通常為了保證焊接質(zhì)量，需要對(duì)框架2上的焊點(diǎn)進(jìn)行打磨，提高框架2的平整度。
[0004]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問(wèn)題:
[0005]遮光條造價(jià)昂貴，更換新的遮光條將提高生產(chǎn)成本；
[0006]在更換遮光條時(shí)，盡管對(duì)框架上的焊點(diǎn)進(jìn)行了打磨，但框架的平整度很難達(dá)到使用要求，焊接遮光條后，遮光條的平整度也很難達(dá)到使用要求。通常，遮光條的平整度要求在500wii之內(nèi)，一旦其平整度達(dá)不到要求，將直接影響掩模板與基板之間的貼合緊密度，從而影響工藝效果；
[0007]對(duì)框架或遮光條的平整度進(jìn)行修復(fù)將付出較大的經(jīng)濟(jì)代價(jià)。[〇〇〇8]因此，設(shè)計(jì)一種新型的掩模板，能夠長(zhǎng)期保持較高的平整度，不需要頻繁更換遮光條，這是目前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0009]本實(shí)用新型為至少部分解決現(xiàn)有的上述問(wèn)題，提供一種掩模板。該掩模板能夠至少部分解決在不更換遮光條的情況下，調(diào)整遮光條的位置，保證掩模板的遮光條和框架的具有較高的平整度，提高掩模板的兼容性。
[0010]解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:提供一種掩模板，包括框架和設(shè)置于所述框架上方的遮光條，所述框架的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽， 和/或，所述框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽;相應(yīng)的，每一所述遮光條的兩端均分別設(shè)置有限位條，所述限位條成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)，所述限位條能沿其所在的所述橫向凹槽或所述豎向凹槽移動(dòng)以帶動(dòng)所述遮光條移動(dòng)。
[0011]優(yōu)選的是，還包括位控機(jī)構(gòu)，每一限位條均分別連接一所述位控機(jī)構(gòu)，所述位控機(jī)構(gòu)位于所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)部，用于調(diào)節(jié)與其連接的所述限位條在所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)的位置。
[0012]優(yōu)選的是，所述位控機(jī)構(gòu)包括絲桿、齒輪和傳動(dòng)軸，所述絲桿與所述限位條連接， 所述齒輪與所述絲桿嚙合設(shè)置，所述傳動(dòng)軸的一端設(shè)置于所述齒輪的軸心、另一端穿過(guò)所述橫向凹槽或所述豎向凹槽的外壁位于所述框架的外部，所述傳動(dòng)軸能帶動(dòng)所述齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述齒輪帶動(dòng)所述限位條在所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)移動(dòng)。
[0013]優(yōu)選的是，所述絲桿外表面每1毫米的長(zhǎng)度包括至少50圈螺紋。
[0014]優(yōu)選的是，所述位控機(jī)構(gòu)還包括旋鈕，所述旋鈕設(shè)置于所述傳動(dòng)軸位于所述框架的外部的端部，所述旋鈕與所述傳動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0015]優(yōu)選的是，所述旋鈕的表面設(shè)置有刻度尺，所述刻度尺中包括表示不同角度值的多個(gè)角度示數(shù)，用于標(biāo)識(shí)所述傳動(dòng)軸或所述齒輪帶動(dòng)所述絲桿移動(dòng)的角度。
[0016]優(yōu)選的是，還包括沉頭螺釘，所述限位條中沿厚度方向開(kāi)設(shè)有通孔，所述橫向凹槽的底部或所述豎向凹槽的底部在深度方向開(kāi)設(shè)有固定螺孔，所述沉頭螺釘能穿過(guò)所述通孔并插入所述固定螺孔，使得所述限位條相對(duì)所述框架固定。
[0017]優(yōu)選的是，所述限位條的上表面與所述框架的上表面平齊。
[0018]優(yōu)選的是，每一所述橫向凹槽內(nèi)所述限位條的數(shù)量范圍為2?4個(gè)，或者，所述豎向凹槽內(nèi)所述限位條的數(shù)量范圍為2?4個(gè)。[〇〇19]優(yōu)選的是，所述遮光條為因瓦合金材料或不銹鋼材料，所述限位條為鐵質(zhì)材料。
[0020]本實(shí)用新型的掩模板，通過(guò)在框架的周邊開(kāi)設(shè)凹槽，在凹槽內(nèi)設(shè)置限位條，并將遮光條的兩端分別焊接在限位條上，具有如下有益效果:
[0021]首先，焊接遮光條的焊點(diǎn)只存在于限位條上，當(dāng)限位條上的平整度超出使用要求， 直接更換限位條即可，無(wú)需更換框架，可節(jié)約成本；
[0022]其次，每一限位條連接有位控機(jī)構(gòu)，該位控機(jī)構(gòu)均能夠調(diào)整與其相連的限位條在凹槽中的位置，從而，能夠根據(jù)需要調(diào)整掩模板的有效成膜區(qū)，并運(yùn)用于加工不同尺寸的基板，提高掩模板的兼容性?！靖綀D說(shuō)明】[0〇23]圖1為現(xiàn)有的掩t旲板的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為圖2中掩模板的局部放大圖；[0〇26]圖4為圖3所示部分的側(cè)視圖；
[0027]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩模板的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩模板的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。[〇〇29] 其中，附圖標(biāo)記為:
[0030]1、遮光條；2、框架；3、橫向凹槽;4、豎向凹槽;5、限位條;6、絲桿;7、齒輪;8、傳動(dòng)軸;9、旋鈕;10、丨幾頭螺釘;11、通孔?！揪唧w實(shí)施方式】
[0031]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0032]本實(shí)用新型的掩模板包括框架和設(shè)置于框架上方的遮光條，框架的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽，和/或，框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽;相應(yīng)的，每一遮光條的兩端均分別設(shè)置有限位條，限位條成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的橫向凹槽或豎向凹槽內(nèi)，限位條能沿其所在的橫向凹槽或豎向凹槽移動(dòng)以帶動(dòng)遮光條移動(dòng)，從而能夠在不更換遮光條的情況下，提高掩模板的兼容性。
[0033]實(shí)施例1:
[0034]本實(shí)施例提供一種掩模板，在掩模板的框架的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽，且在框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽，每一遮光條的兩端均分別設(shè)置有限位條，限位條成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的橫向凹槽和豎向凹槽內(nèi)，限位條能沿其所在的橫向凹槽和豎向凹槽移動(dòng)以帶動(dòng)遮光條移動(dòng)。
[0035]圖2為實(shí)施例1的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，掩模板包括框架2和設(shè)置于框架2上方的遮光條1，框架2的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽3,并且，框架2 的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽4。橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)部設(shè)置有多個(gè)限位條5，限位條5能沿其所在的橫向凹槽3或豎向凹槽4移動(dòng)，每一遮光條1的兩端均分別焊接在限位條5的表面。從而能夠在不更換遮光條1的情況下，調(diào)整掩模板的有效成膜區(qū)，提高掩模板的兼容性。
[0036]結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)的需要，每一橫向凹槽3內(nèi)限位條5的數(shù)量范圍為2?4個(gè)，或者，豎向凹槽4內(nèi)限位條5的數(shù)量范圍為2?4個(gè)。具體的，結(jié)合金屬材料掩模板(Metal Mask)和有機(jī)材料掩模板(Organic Mask)的結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例的掩模板中，每一橫向凹槽3內(nèi)設(shè)置2個(gè)限位條5，每一豎向凹槽4內(nèi)設(shè)置4個(gè)限位條5。[〇〇37]為了保證框架2的平整度，優(yōu)選將限位條5的上表面與框架2的上表面平齊。也就是說(shuō)，設(shè)計(jì)限位條5的厚度等于橫向凹槽3或豎向凹槽4的深度，保證限位條5的上表面與框架2 的上表面在同一高度。從而，進(jìn)一步保證遮光條1的平整度。遮光條1優(yōu)選因瓦(INVAR)合金材料或不銹鋼(SUS)材料制成，限位條5優(yōu)選鐵質(zhì)材料制成。
[0038]基于蒸鍍工藝的高精度性，為了能夠精準(zhǔn)地控制限位條5在橫向凹槽3和豎向凹槽 4內(nèi)的位置，本實(shí)施例的掩模板還包括位控機(jī)構(gòu)，每一限位條5均分別連接一位控機(jī)構(gòu)，位控機(jī)構(gòu)位于橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)部，用于調(diào)節(jié)與其連接的限位條5在橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)的位置。
[0039]圖3為圖2中掩模板的局部放大圖，圖4為圖3所示部分的側(cè)視圖，如圖3、圖4所示， 位控機(jī)構(gòu)包括絲桿6、齒輪7和傳動(dòng)軸8，絲桿6與限位條5連接，齒輪7與絲桿6嚙合設(shè)置，傳動(dòng)軸8的一端設(shè)置于齒輪7的軸心、另一端穿過(guò)橫向凹槽3和豎向凹槽4的外壁位于框架2的外部，傳動(dòng)軸8能帶動(dòng)齒輪7轉(zhuǎn)動(dòng)，使齒輪7帶動(dòng)限位條5在橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)移動(dòng)。
[0040]為了保證控制限位條5位置的精準(zhǔn)度，設(shè)計(jì)絲桿6外表面每1毫米的長(zhǎng)度包括至少 50圈螺紋，即每一圈螺紋對(duì)應(yīng)的絲桿6的長(zhǎng)度最多為20wii。齒輪7與絲桿6嚙合設(shè)置，傳動(dòng)軸8 的一端設(shè)置于齒輪7的軸心，旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸8的另一端即可帶動(dòng)齒輪7旋轉(zhuǎn)，齒輪7旋轉(zhuǎn)將帶動(dòng)絲桿6移動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)限位條5在橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)整遮光條1在框架2上的位置，改變掩模板的有效成膜區(qū)。
[0041]進(jìn)一步的，位控機(jī)構(gòu)還包括旋鈕9,旋鈕9設(shè)置于傳動(dòng)軸8位于框架2的外部的端部， 旋鈕9與傳動(dòng)軸8同步轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋鈕9帶動(dòng)傳動(dòng)軸8轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠便捷地控制限位條5的位置。
[0042]為了能夠更加精準(zhǔn)地控制限位條5的位置，旋鈕9的表面設(shè)置有刻度尺，刻度尺中包括表示不同角度值的多個(gè)角度示數(shù)，用于標(biāo)識(shí)傳動(dòng)軸8或齒輪7帶動(dòng)絲桿6移動(dòng)的角度。優(yōu)選刻度尺采用圓刻度的形式，以方便調(diào)整和記錄讀數(shù)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋鈕9為傳動(dòng)軸8的旋轉(zhuǎn)距離提供位置參考，能夠準(zhǔn)確地控制限位條5的位置。
[0043]為了防止限位條5從橫向凹槽3和豎向凹槽4內(nèi)意外脫落，每一限位條5上還設(shè)置有沉頭螺釘10，限位條5中沿厚度方向開(kāi)設(shè)有通孔11，橫向凹槽3的底部和豎向凹槽4的底部在深度方向開(kāi)設(shè)有固定螺孔(橫向凹槽3和豎向凹槽4在框架2中實(shí)質(zhì)類(lèi)似盲孔)，沉頭螺釘10 能穿過(guò)通孔11并插入固定螺孔，使得限位條5相對(duì)框架2固定。這里的通孔11的開(kāi)口的形狀為長(zhǎng)條形，當(dāng)通過(guò)位控機(jī)構(gòu)調(diào)整限位條5在橫向凹槽3和豎向凹槽4中的位置時(shí)，沉頭螺釘10 固定在固定螺孔中，沉頭螺釘10與通孔11在沿凹槽的延伸方向上相對(duì)滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)調(diào)整限位條5的位置的目的。[〇〇44]根據(jù)蒸鍍材料的不同，掩模板包括金屬材料掩模板和有機(jī)材料掩模板。通常情況下，對(duì)于同樣大尺寸的基板的蒸鍍，在蒸鍍金屬材料的金屬材料掩模板和蒸鍍有機(jī)材料的有機(jī)材料掩模板之間，二者本質(zhì)的區(qū)別在于部分遮光條的寬度不同以及形成的有效成膜區(qū)的尺寸不同。[〇〇45]本實(shí)施例的掩模板，能夠根據(jù)金屬材料掩模板和有機(jī)材料掩模板的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行靈活裝配:首先，將限位條分別放入橫向凹槽和豎向凹槽中，并通過(guò)沉頭螺釘進(jìn)行預(yù)定位， 同時(shí)不擰緊沉頭螺釘;然后，將遮光條依次焊接到框架的限位條上，優(yōu)選先焊接平行于橫向凹槽的遮光條，再焊接平行于豎向凹槽的遮光條，由于限位條中開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形的通孔，因此通過(guò)位控機(jī)構(gòu)調(diào)整限位條的位置，得到滿足要求的距離尺寸;最后，擰緊沉頭螺釘，將遮光條固定在框架上，從而得到生產(chǎn)所需要的金屬材料掩模板和有機(jī)材料掩模板的尺寸。
[0046]容易理解的是，本實(shí)施例的掩模板也能夠在金屬材料掩模板與有機(jī)材料掩模板之間切換。例如將金屬材料掩模板切換為有機(jī)材料掩模板的過(guò)程為:首先，將位于橫向凹槽中部的兩個(gè)遮光條卸下，并焊接上寬度合適的遮光條;其次，根據(jù)有機(jī)材料掩模板的設(shè)計(jì)參數(shù)，調(diào)整各個(gè)遮光條的位置，并利用自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備(Automatic Optic Inspect 1n，簡(jiǎn)稱(chēng)AO I)確認(rèn)各個(gè)遮光條的位置誤差在正負(fù)5 Oym之內(nèi)；最后，測(cè)量掩模板的結(jié)構(gòu)參數(shù)，滿足要求后，則完成掩t旲板的切換。[〇〇47]同理，也能夠針對(duì)不同尺寸的待加工基板，相應(yīng)調(diào)整各個(gè)遮光條的位置，甚至增加限位條和遮光條，以滿足工藝要求。例如，將本實(shí)施例的掩模板調(diào)整為用于加工55寸的基板之后，能夠?qū)⒈緦?shí)施例的掩模板再調(diào)整為用于加工32寸的基板，調(diào)整過(guò)程為:首先，在框架的兩條橫向凹槽的中部增設(shè)一對(duì)限位條和與之匹配的位控機(jī)構(gòu)；其次，根據(jù)工藝參數(shù)調(diào)整各個(gè)限位條的位置，并控制位置誤差在正負(fù)50mi之內(nèi)；最后，在新增的限位條上焊接遮光條，并利用A0I檢測(cè)設(shè)備對(duì)掩模板的各個(gè)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量確認(rèn)，確認(rèn)各項(xiàng)參數(shù)符合要求之后， 則完成掩模板的調(diào)整。由上可知，本實(shí)施例的掩模板具有良好的兼容性。
[0048]本實(shí)施例的掩模板通過(guò)在框架的周邊開(kāi)設(shè)凹槽，在凹槽內(nèi)設(shè)置限位條，并將遮光條的兩端分別焊接在限位條上。當(dāng)限位條上的平整度超出使用要求，直接更換限位條即可， 無(wú)需更換框架，極大地節(jié)約了成本。并且，每一限位條通過(guò)高精度的絲桿和齒輪來(lái)控制位置，能夠根據(jù)需要調(diào)整掩模板的有效成膜區(qū)，并運(yùn)用于加工不同尺寸的基板，提高產(chǎn)品的兼容性。
[0049]實(shí)施例2:
[0050]本實(shí)施例提供一種掩模板，該掩模板的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1中的掩模板的結(jié)構(gòu)類(lèi)似，其區(qū)別在于，本實(shí)施例的掩模板只在框架的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽， 或者，只在框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽。
[0051]如圖5所示，掩模板的框架2的相對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽，每一遮光條1的兩端均分別設(shè)置有限位條5，限位條5成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的橫向凹槽3內(nèi)，限位條5 能沿其所在的橫向凹槽3移動(dòng)。圖5所示的掩模板，適用于框架寬度固定、且位于相對(duì)的豎邊內(nèi)的遮光條的位置和寬度無(wú)需調(diào)節(jié)的情況，在簡(jiǎn)化掩模板結(jié)構(gòu)、降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，還能靈活調(diào)節(jié)遮光條在橫邊上的位置，保證了掩模板的平整度和兼容性。
[0052]如圖6所示，掩模板的框架2的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽4,每一遮光條1的兩端均分別設(shè)置有限位條5,限位條5成對(duì)設(shè)置于相對(duì)的豎向凹槽4內(nèi)，限位條5 能沿其所在的豎向凹槽4移動(dòng)。圖6所示的掩模板，適用于框架長(zhǎng)度固定、且位于相對(duì)的橫邊內(nèi)的遮光條的位置和寬度無(wú)需調(diào)節(jié)的情況，在簡(jiǎn)化掩模板結(jié)構(gòu)、降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，還能靈活調(diào)節(jié)遮光條在豎邊上的位置，保證了掩模板的平整度和兼容性。
[0053]圖5和圖6所示的掩模板的其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1中的掩模板相同，這里不再贅述。
[0054]圖5和圖6所示的掩模板均能夠通過(guò)限位條調(diào)整遮光條的位置，提高了掩模板的兼容性，并且避免了頻繁更換遮光條，保證了框架和遮光條的平整度，極大的節(jié)約了成本。
[0055]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩模板，包括框架和設(shè)置于所述框架上方的遮光條，其特征在于，所述框架的相 對(duì)的兩條橫邊沿其延伸方向開(kāi)設(shè)有橫向凹槽，和/或，所述框架的相對(duì)的兩條豎邊沿其延伸 方向開(kāi)設(shè)有豎向凹槽;相應(yīng)的，每一所述遮光條的兩端均分別設(shè)置有限位條，所述限位條成 對(duì)設(shè)置于相對(duì)的所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)，所述限位條能沿其所在的所述橫向凹槽 或所述豎向凹槽移動(dòng)以帶動(dòng)所述遮光條移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，還包括位控機(jī)構(gòu)，每一限位條均分別連 接一所述位控機(jī)構(gòu)，所述位控機(jī)構(gòu)位于所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)部，用于調(diào)節(jié)與其 連接的所述限位條在所述橫向凹槽或所述豎向凹槽內(nèi)的位置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述位控機(jī)構(gòu)包括絲桿、齒輪和傳動(dòng)軸， 所述絲桿與所述限位條連接，所述齒輪與所述絲桿嚙合設(shè)置，所述傳動(dòng)軸的一端設(shè)置于所 述齒輪的軸心、另一端穿過(guò)所述橫向凹槽或所述豎向凹槽的外壁位于所述框架的外部，所 述傳動(dòng)軸能帶動(dòng)所述齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述齒輪帶動(dòng)所述限位條在所述橫向凹槽或所述豎向 凹槽內(nèi)移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述絲桿外表面每1毫米的長(zhǎng)度包括至 少50圈螺紋。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述位控機(jī)構(gòu)還包括旋鈕，所述旋鈕設(shè) 置于所述傳動(dòng)軸位于所述框架的外部的端部，所述旋鈕與所述傳動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述旋鈕的表面設(shè)置有刻度尺，所述刻 度尺中包括表示不同角度值的多個(gè)角度示數(shù)，用于標(biāo)識(shí)所述傳動(dòng)軸或所述齒輪帶動(dòng)所述絲 桿移動(dòng)的角度。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，還包括沉頭螺釘，所述限位條中 沿厚度方向開(kāi)設(shè)有通孔，所述橫向凹槽的底部或所述豎向凹槽的底部在深度方向開(kāi)設(shè)有固 定螺孔，所述沉頭螺釘能穿過(guò)所述通孔并插入所述固定螺孔，使得所述限位條相對(duì)所述框 架固定。8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，所述限位條的上表面與所述框架 的上表面平齊。9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，每一所述橫向凹槽內(nèi)所述限位條 的數(shù)量范圍為2?4個(gè)，或者，所述豎向凹槽內(nèi)所述限位條的數(shù)量范圍為2?4個(gè)。10.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的掩模板，其特征在于，所述遮光條為因瓦合金材料或 不銹鋼材料，所述限位條為鐵質(zhì)材料。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK205590781SQ201620459452
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月18日
【發(fā)明人】徐鵬, 潘晟愷, 喬永康
【申請(qǐng)人】合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司