技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多晶硅錠的制備方法,包括:在坩堝內(nèi)填裝硅料后,加熱使硅料完全熔化形成硅熔體;調(diào)整熱場形成過冷狀態(tài),使硅熔體開始形核長晶,長晶過程中,對硅熔體進(jìn)行振動,振動頻率至少為30HZ,振動的時間為30min?90min,振動結(jié)束后,硅熔體繼續(xù)長晶形成硅晶體;待全部硅熔體結(jié)晶完后,經(jīng)退火冷卻得到多晶硅錠。通過對硅熔體進(jìn)行振動,坩堝底部形成數(shù)量較多的新晶核,制得的多晶硅錠位錯較少。本發(fā)明還提供了一種多晶硅鑄錠爐,包括鑄錠爐本體和振動裝置,鑄錠爐本體包括坩堝,振動裝置包括一振動發(fā)生器以及與振動發(fā)生器連接的能量傳遞桿,振動發(fā)生器設(shè)置在鑄錠爐本體上,能量傳遞桿伸入坩堝內(nèi)用于振動坩堝內(nèi)的硅熔體。該振動裝置結(jié)構(gòu)簡單、易操作。
技術(shù)研發(fā)人員:何亮;胡動力;張學(xué)日;李松林
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
文檔號碼:201611264590
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.30
技術(shù)公布日:2017.05.10