技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，包括以下步驟：取分散劑加入水中，攪拌均勻，用氨水調(diào)pH值至8～11，得預(yù)混液；向預(yù)混液中加入ITO粉體，經(jīng)球磨機(jī)濕磨后；將制得的漿料進(jìn)行真空除氣，把除氣后料漿注入石膏模具中；經(jīng)吸漿成型后脫模，將生坯晾干72h以上，得ITO素坯體；素坯體燒結(jié)得ITO靶材。本發(fā)明采用注漿成型與無壓氧氣氣氛燒結(jié)ITO靶材工藝路線，可低成本生產(chǎn)高致密化的高端ITO靶材。

技術(shù)研發(fā)人員：張?zhí)焓?宋曉超;蔣衛(wèi)國;錢邦正
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.26
技術(shù)公布日：2017.10.03