本發(fā)明涉及一種玻璃材料，尤其是涉及一種具有較高的紫外光透過率和優(yōu)異的耐紫外輻照性能的玻璃材料。

背景技術(shù)：

1、普通玻璃材料制成的玻璃元件在紫外波段(355～430nm)長時間輻照下會發(fā)生透過率大幅下降的問題，這對工作在紫外波段的各類光刻設(shè)備是致命的。隨著芯片制造技術(shù)與先進(jìn)封裝技術(shù)向更低線寬、更高效率發(fā)展，需要工作在該波段的光刻設(shè)備具有更高的分辨率、更高的光通量和更大的曝光區(qū)域。相應(yīng)的，要求工作在此類光刻設(shè)備上的玻璃材料需具有更大的口徑，更優(yōu)異的耐輻照性能、透過率以及光學(xué)均勻性?，F(xiàn)有技術(shù)中折射率為1.51～1.58、阿貝數(shù)為45～52的玻璃材料主要的問題在于耐紫外輻照性能較差，在365nm處的光透過率較低，難以滿足高精度光刻設(shè)備的應(yīng)用。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種具有較高的紫外光透過率和優(yōu)異的耐紫外輻照性能的玻璃材料。

2、本發(fā)明解決技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：

3、玻璃材料，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：50～70％；pbo：大于12％但小于或等于30％；na2o：4～15％；k2o：2～13％；al2o3：大于0但小于或等于5％；bao：1～14％；f：大于0但小于或等于5％。

4、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，還含有：li2o：0～7％；和/或zro2：0～5％；和/或sro：0～8％；和/或cao：0～8％；和/或mgo：0～8％；和/或b2o3：0～8％；和/或ln2o3：0～5％；和/或nb2o5：0～3％；和/或wo3：0～3％；和/或zno：0～3％；和/或tio2：0～3％；和/或澄清劑：0～1％，所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

5、玻璃材料，其組分以重量百分比表示，由sio2：50～70％；pbo：大于12％但小于或等于30％；na2o：4～15％；k2o：2～13％；al2o3：大于0但小于或等于5％；bao：1～14％；f：大于0但小于或等于5％；li2o：0～7％；zro2：0～5％；sro：0～8％；cao：0～8％；mgo：0～8％；b2o3：0～8％；ln2o3：0～5％；nb2o5：0～3％；wo3：0～3％；zno：0～3％；tio2：0～3％；澄清劑：0～1％組成，所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

6、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：pbo/bao為1.0～15.0，優(yōu)選pbo/bao為1.5～10.0，更優(yōu)選pbo/bao為2.0～8.0，進(jìn)一步優(yōu)選pbo/bao為2.5～6.0，更進(jìn)一步優(yōu)選pbo/bao為2.8～5.0。

7、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：sio2/pbo為1.8～5.5，優(yōu)選sio2/pbo為2.0～5.0，更優(yōu)選sio2/pbo為2.3～4.5，進(jìn)一步優(yōu)選sio2/pbo為2.6～4.0。

8、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：(al2o3+zro2)/bao為0.05～3.0，優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.1～2.0，更優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.1～1.5，進(jìn)一步優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.15～0.8。

9、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：(na2o+k2o)/pbo為0.3～2.0，優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.4～1.5，更優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.5～1.2，進(jìn)一步優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.6～1.0。

10、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：na2o/k2o為0.8～5.0，優(yōu)選na2o/k2o為1.0～4.0，更優(yōu)選na2o/k2o為1.1～3.0，進(jìn)一步優(yōu)選na2o/k2o為1.1～2.5。

11、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為0.5以上，優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為0.8以上，更優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為1.0以上，進(jìn)一步優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為1.5～5.0。

12、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：f/

13、(al2o3+zro2)為0.1～5.0，優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.3～4.0，更優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.4～3.0，進(jìn)一步優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.5～2.0。

14、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：10×f/pbo為0.05～3.2，優(yōu)選10×f/pbo為0.1～2.0，更優(yōu)選10×f/pbo為0.2～1.0，進(jìn)一步優(yōu)選10×f/pbo為0.2～0.8。

15、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：

16、(mgo+cao+sro)/f為2.0以下，優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為1.5以下，更優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為1.0以下，進(jìn)一步優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為0.5以下。

17、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，其組分以重量百分比表示，其中：sio2：55～65％，優(yōu)選sio2：57～63％；和/或pbo：14～27％，優(yōu)選pbo：16～23％；和/或na2o：5～14％，優(yōu)選na2o：6～12％；和/或k2o：4～12％，優(yōu)選k2o：5～10％；和/或al2o3：0.1～4％，優(yōu)選al2o3：0.1～3％；和/或bao：2～12％，優(yōu)選bao：3～9％；和/或f：0.1～4％，優(yōu)選f：0.2～3％；和/或li2o：0～3％，優(yōu)選li2o：0～2％，更優(yōu)選不含有l(wèi)i2o；和/或zro2：0.1～4％，優(yōu)選zro2：0.1～2％；和/或sro：0～5％，優(yōu)選sro：0～2％，更優(yōu)選不含有sro；和/或cao：0～5％，優(yōu)選cao：0～2％，更優(yōu)選不含有cao；和/或mgo：0～5％，優(yōu)選mgo：0～2％，更優(yōu)選不含有mgo；和/或b2o3：0～5％，優(yōu)選b2o3：0～2％，更優(yōu)選不含有b2o3；和/或ln2o3：0～3％，優(yōu)選ln2o3：0～1％；和/或nb2o5：0～2％，優(yōu)選nb2o5：0～1％，更優(yōu)選不含有nb2o5；和/或wo3：0～2％，優(yōu)選wo3：0～1％，更優(yōu)選不含有wo3；和/或zno：0～2％，優(yōu)選zno：0～1％，更優(yōu)選不含有zno；和/或tio2：0～2％，優(yōu)選tio2：0～1％，更優(yōu)選不含有tio2；和/或澄清劑：0～0.8％，優(yōu)選澄清劑：0～0.5％，所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

18、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，所述玻璃材料365nm處透過率τ365nm為98.5％以上，優(yōu)選為99.0％以上，更優(yōu)選為99.5％以上；和/或365nm處透過率耐紫外輻照衰減性能δτ365nm為1.5％以下，優(yōu)選為1.0％以下，更優(yōu)選為0.8％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.6％以下。

19、進(jìn)一步的，所述的玻璃材料，所述玻璃材料的折射率nd為1.51～1.58，優(yōu)選為1.52～1.57，更優(yōu)選為1.53～1.56；和/或阿貝數(shù)vd為45～52，優(yōu)選為46～50，更優(yōu)選為47～49；和/或耐酸作用穩(wěn)定性da為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或耐水作用穩(wěn)定性dw為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或密度ρ為3.30g/cm3以下，優(yōu)選為3.20g/cm3以下，更優(yōu)選為3.10g/cm3以下；和/或熱膨脹系數(shù)α-30/70℃為100×10-7/k以下，優(yōu)選為95×10-7/k以下，更優(yōu)選為90×10-7/k以下；和/或氣泡度為a級以上，優(yōu)選為a0級以上，更優(yōu)選為a00級；和/或條紋度為c級以上，優(yōu)選為b級以上；和/或磨耗度fa為60～110，優(yōu)選為70～100，更優(yōu)選為80～95；和/或1200℃的高溫粘度為800dpas以下，優(yōu)選為600dpas以下，更優(yōu)選為500dpas以下，進(jìn)一步優(yōu)選為450dpas以下；和/或轉(zhuǎn)變溫度tg為480℃以下，優(yōu)選為465℃以下，更優(yōu)選為455℃以下。

20、玻璃預(yù)制件，采用上述的玻璃材料制成。

21、玻璃元件，采用上述的玻璃材料制成，或采用上述的玻璃預(yù)制件制成。

22、一種設(shè)備，含有上述的玻璃材料，和/或含有上述的玻璃元件。

23、本發(fā)明的有益效果是：通過合理的組分設(shè)計，本發(fā)明的玻璃材料具有較高的紫外光透過率和優(yōu)異的耐紫外輻照性能。