一種藍(lán)寶石長晶設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及長晶設(shè)備,尤其是一種藍(lán)寶石長晶設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石是三氧化二鋁的單晶體,目前主要用于作為LED的基板,高硬度的特性使其在其他領(lǐng)域的應(yīng)用也日漸收到重視,在現(xiàn)今的藍(lán)寶石長晶工藝中,當(dāng)長晶完成后預(yù)取出晶體時,是由上方開啟真空腔體(或稱長晶爐),再利用繩索將晶體吊起并取出,但這種做法費(fèi)時費(fèi)力,且晶體有較大碰撞受損的風(fēng)險,目前也有可向下取出晶體的設(shè)備,但是提取過程動作復(fù)雜,需要多個位移機(jī)構(gòu),提高了設(shè)備的成本,而且設(shè)備的高度也增加,體積更為龐大笨重,提高了安裝和維修的難度。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),提供一種結(jié)構(gòu)簡單,體積較小的藍(lán)寶石長晶設(shè)備。
[0004]本實用新型解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案:這種藍(lán)寶石長晶設(shè)備,主要包括真空腔體、垂直動力機(jī)構(gòu)和水平動力機(jī)構(gòu),真空腔體的底部設(shè)有下蓋,垂直動力機(jī)構(gòu)的上端與下蓋連接固定,下端與水平動力機(jī)構(gòu)連接固定,真空腔體內(nèi)設(shè)有坩禍,坩禍通過其下部的坩禍承載座與下蓋相連接。
[0005]所述垂直動力機(jī)構(gòu)為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸。
[0006]所述水平動力機(jī)構(gòu)為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸。
[0007]本實用新型有益的效果是:本實用新型結(jié)構(gòu)通過垂直動力機(jī)構(gòu)及水平動力機(jī)構(gòu),可便捷得取出或放入晶體,有效得縮小了設(shè)備的高度和體積的大小,進(jìn)而達(dá)到大幅簡化結(jié)構(gòu)、降低成本及提高安裝維修便利性的功效。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖;
[0009]圖2是本實用新型垂直位移運(yùn)動示意圖;
[0010]圖3是本實用新型水平位移運(yùn)動示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記說明:真空腔體1,垂直動力機(jī)構(gòu)2,水平動力機(jī)構(gòu)3,下蓋4,坩禍5,坩禍承載座6,滾輪7。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明:
[0013]如圖所示,這種藍(lán)寶石長晶設(shè)備,主要包括真空腔體1、垂直動力機(jī)構(gòu)2和水平動力機(jī)構(gòu)3,真空腔體1的底部設(shè)有下蓋4,用以在制造過程中與真空腔體1保持密封結(jié)合的狀態(tài),垂直動力機(jī)構(gòu)2的上端與下蓋4連接固定,下端與水平動力機(jī)構(gòu)3連接固定,真空腔體1內(nèi)設(shè)有坩禍5,坩禍5通過其下部的坩禍承載座6與下蓋4相連接,坩禍承載座6用來支撐固定坩禍5,真空腔體1的其余機(jī)構(gòu)如真空設(shè)備或加熱設(shè)備等均為現(xiàn)有技術(shù),且不是本實用新型的技術(shù)特征,這里就不贅述。
[0014]垂直動力機(jī)構(gòu)2用以帶動下蓋4、坩禍承載座6及坩禍5升降并移入或移出真空腔體1,垂直動力機(jī)構(gòu)2可為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸等這些結(jié)構(gòu)的單個或組合來實現(xiàn)。
[0015]水平動力機(jī)構(gòu)3用以帶動垂直動力機(jī)構(gòu)2、下蓋4、坩禍承載座6及坩禍5等部件水平移出或移至真空腔體1下方,水平動力機(jī)構(gòu)3可為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸等這些結(jié)構(gòu)的單個或組合來實現(xiàn)。更具體的,水平動力機(jī)構(gòu)3為滑軌,滑軌的下方設(shè)有滾輪7,用以提升動作的順暢性,。
[0016]本實用新型可方便操作人員將坩禍5內(nèi)的晶體取出并進(jìn)行坩禍5的更換操作,實現(xiàn)從下方便捷提取晶體的目的,此過程中真空腔體1完全不需要也不會移動,可大幅簡化設(shè)備的結(jié)構(gòu)復(fù)雜度,并降低組裝和制造成本,同時也可有效縮小設(shè)備的高度及體積大小,提升了操作和安裝維修的便利性,進(jìn)而達(dá)到大幅簡化結(jié)構(gòu),降低成本及提高使用便利性的功效。
[0017]除上述實施例外,本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案,均落在本實用新型要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種藍(lán)寶石長晶設(shè)備,主要包括真空腔體(1)、垂直動力機(jī)構(gòu)(2)和水平動力機(jī)構(gòu)(3),其特征是:真空腔體(1)的底部設(shè)有下蓋(4),垂直動力機(jī)構(gòu)(2)的上端與下蓋(4)連接固定,下端與水平動力機(jī)構(gòu)(3)連接固定,真空腔體(1)內(nèi)設(shè)有坩禍(5),坩禍(5)通過其下部的坩禍承載座(6)與下蓋(4)相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石長晶設(shè)備,其特征是:所述垂直動力機(jī)構(gòu)(2)為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石長晶設(shè)備,其特征是:所述水平動力機(jī)構(gòu)(3)為滾珠螺桿、電機(jī)、滑軌或氣缸。4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的藍(lán)寶石長晶設(shè)備,其特征是:所述水平動力機(jī)構(gòu)(3)為滑軌,滑軌的下方設(shè)有滾輪(7)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種藍(lán)寶石長晶設(shè)備,主要包括真空腔體、垂直動力機(jī)構(gòu)和水平動力機(jī)構(gòu),真空腔體的底部設(shè)有下蓋,垂直動力機(jī)構(gòu)的上端與下蓋連接固定,下端與水平動力機(jī)構(gòu)連接固定,真空腔體內(nèi)設(shè)有坩堝,坩堝通過其下部的坩堝承載座與下蓋相連接。本實用新型有益的效果是:本實用新型結(jié)構(gòu)通過垂直動力機(jī)構(gòu)及水平動力機(jī)構(gòu),可便捷得取出或放入晶體,有效得縮小了設(shè)備的高度和體積的大小,進(jìn)而達(dá)到大幅簡化結(jié)構(gòu)、降低成本及提高安裝維修便利性的功效。
【IPC分類】C30B29/20, C30B35/00
【公開號】CN205024352
【申請?zhí)枴緾N201520623916
【發(fā)明人】黃仕彪
【申請人】浙江工商職業(yè)技術(shù)學(xué)院
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年8月18日