一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，包括爐罩，底盤和加熱碳棒；所述爐罩的罩壁內(nèi)纏繞有預(yù)加熱管線和冷卻水管線；所述預(yù)加熱管線和冷卻水管線相間排布；所述預(yù)加熱管線一端與預(yù)加熱管線進(jìn)料口管相連，另一端與預(yù)加熱管線出料口管相連；所述冷卻水管線一端與冷卻水管線進(jìn)水口管相連，另一端與冷卻水管線出水口管相連；所述預(yù)加熱管線進(jìn)料口管、預(yù)加熱管線出料口管、冷卻水管線進(jìn)水口管和冷卻水管線出水口管位于爐罩的罩壁外側(cè)。本實用新型結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單，混合氣體通過預(yù)加熱管線進(jìn)行預(yù)加熱，可以極大的減少還原爐能量的損失；同時，經(jīng)過預(yù)加熱的混合氣體進(jìn)入爐內(nèi)后，會提高還原爐的生產(chǎn)效益。
【專利說明】
一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及多晶硅硅生產(chǎn)中的配套設(shè)備，具體涉及一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的多晶硅還原爐在多晶硅生產(chǎn)中，能耗很大，而其中部分能量又是通過爐壁散發(fā)出去，白白的浪費(fèi)掉。還原反應(yīng)需要在高溫且溫度穩(wěn)定的情況下進(jìn)行，低溫的原料不利于熱場的穩(wěn)定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于上述不足之處，本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠?qū)υ线M(jìn)行預(yù)加熱，將原料提高一定溫度在進(jìn)入還原爐內(nèi)，減少了能量的損失同時還提高了爐內(nèi)熱場的穩(wěn)定性的多晶硅還原爐。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實用新型采取了以下技術(shù)方案:一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，包括爐罩，底盤和加熱碳棒;所述爐罩的罩壁內(nèi)纏繞有預(yù)加熱管線和冷卻水管線;所述預(yù)加熱管線和冷卻水管線相間排布;所述預(yù)加熱管線一端與預(yù)加熱管線進(jìn)料口管相連，另一端與預(yù)加熱管線出料口管相連;所述冷卻水管線一端與冷卻水管線進(jìn)水口管相連，另一端與冷卻水管線出水口管相連;所述預(yù)加熱管線進(jìn)料口管、預(yù)加熱管線出料口管、冷卻水管線進(jìn)水口管和冷卻水管線出水口管位于爐罩的罩壁外側(cè)。
[0005]所述預(yù)加熱管線和冷卻水管線之間的間距為2-3厘米。
[0006]所述預(yù)加熱管線的管內(nèi)徑為5厘米。
[0007]所述冷卻水管線的管內(nèi)徑為5厘米。
[0008]原料混合氣體在進(jìn)入爐內(nèi)之前，先通過預(yù)加熱管線進(jìn)行預(yù)加熱，在經(jīng)過管道連接還原爐的原料入口進(jìn)入爐內(nèi)。
[0009]工作原理
[0010]當(dāng)晶體硅還原爐開啟，溫度到達(dá)一定時候，預(yù)加熱管線內(nèi)開始通入原料氣體，同時，水冷卻管線內(nèi)開始通入冷卻水。原料氣體處于常溫狀態(tài)，當(dāng)原料氣體通過預(yù)加熱管線后，吸收爐壁的熱量，溫度可以提高到100攝氏度左右。此時，一定溫度的原料氣體在通過管道連接進(jìn)入進(jìn)料口通入爐內(nèi)，可以減少爐內(nèi)的溫度波動。當(dāng)氣體在爐內(nèi)反應(yīng)時候，會產(chǎn)生熱量，水冷卻管線可以進(jìn)行調(diào)節(jié)，保證溫度在最佳范圍內(nèi)。預(yù)加熱管線此時也可以起到調(diào)節(jié)溫度的作用，通過對這兩個管線的調(diào)節(jié)，使得爐內(nèi)熱場更穩(wěn)定，保證多晶硅的品質(zhì)。
[0011]本實用新型有益效果:原料通過預(yù)加熱管線，可以作為冷卻介質(zhì)吸收熱量，可以有效地減少能量的浪費(fèi)。當(dāng)通過加熱的原料進(jìn)入多晶硅還原爐后，能夠降低對爐內(nèi)熱場的影響，使其熱場相對穩(wěn)定，有利于多晶硅的還原，多晶硅的品質(zhì)會得到提高。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)不意圖；
[0013]圖2是預(yù)加熱管線或冷卻水管線結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中:1-爐罩;2-底盤;3-加熱碳棒;4-預(yù)加熱管線;5-預(yù)加熱管線進(jìn)料口管;6_預(yù)加熱管線出料口管;7-冷卻水管線;8-冷卻水管線進(jìn)水口管;9-冷卻水管線出水口管。
【具體實施方式】
[0015]下面將結(jié)合實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步的說明。
[0016]實施例1
[0017]如圖1和2所示，一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，包括爐罩I，底盤2和加熱碳棒3;所述爐罩I的罩壁內(nèi)纏繞有預(yù)加熱管線4和冷卻水管線7;所述預(yù)加熱管線4和冷卻水管線7相間排布;所述預(yù)加熱管線4 一端與預(yù)加熱管線進(jìn)料口管5相連，另一端與預(yù)加熱管線出料口管6相連;所述冷卻水管線7—端與冷卻水管線進(jìn)水口管8相連，另一端與冷卻水管線出水口管9相連;所述預(yù)加熱管線進(jìn)料口管5、預(yù)加熱管線出料口管6、冷卻水管線進(jìn)水口管8和冷卻水管線出水口管9位于爐罩I的罩壁外側(cè)。
[0018]所述預(yù)加熱管線4和冷卻水管線7之間的間距為2-3厘米。
[0019]所述預(yù)加熱管線4的管內(nèi)徑為5厘米。
[0020]所述冷卻水管線7的管內(nèi)徑為5厘米。
【主權(quán)項】
1.一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，包括爐罩(I)，底盤(2)和加熱碳棒(3);其特征在于:所述爐罩(I)的罩壁內(nèi)纏繞有預(yù)加熱管線(4)和冷卻水管線(7);所述預(yù)加熱管線(4)和冷卻水管線(7)相間排布;所述預(yù)加熱管線(4) 一端與預(yù)加熱管線進(jìn)料口管(5)相連，另一端與預(yù)加熱管線出料口管(6)相連;所述冷卻水管線(7)—端與冷卻水管線進(jìn)水口管(8)相連，另一端與冷卻水管線出水口管(9)相連;所述預(yù)加熱管線進(jìn)料口管(5)、預(yù)加熱管線出料口管(6)、冷卻水管線進(jìn)水口管(8)和冷卻水管線出水口管(9)位于爐罩(I)的罩壁外側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，其特征在于:所述預(yù)加熱管線(4)和冷卻水管線(7)之間的間距為2-3厘米。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，其特征在于:所述預(yù)加熱管線(4)的管內(nèi)徑為5厘米。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于對原料混合氣體預(yù)加熱的晶體硅還原爐，其特征在于:所述冷卻水管線(7)的管內(nèi)徑為5厘米。
【文檔編號】C01B33/021GK205687569SQ201620593221
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月17日 公開號201620593221.9, CN 201620593221, CN 205687569 U, CN 205687569U, CN-U-205687569, CN201620593221, CN201620593221.9, CN205687569 U, CN205687569U
【發(fā)明人】權(quán)祥, 姚懂, 葉靈, 閆家強(qiáng), 楊明元
【申請人】徐州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院