技術(shù)特征：

1.一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：包括如下原料：有機溶劑40-70份、金屬離子去除劑3-7份、表面活性劑0.5-2.5份、螯合劑3-7份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述有機溶劑為丙二醇、丙三醇、乙醇和丙二醇甲醚中的至少一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述有機溶劑是由乙醇和丙二醇甲醚按照質(zhì)量比為0.8-1.2:0.1-0.5組成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述金屬離子去除劑為檸檬酸和氫氧化銨。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述金屬離子去除劑是由檸檬酸和氫氧化銨按照質(zhì)量比為2-6:1-3組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述表面活性劑為脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鹽、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、琥珀酸二異辛酯磺酸鈉、n,n-二甲基十二烷基氯化銨、n,n-二甲基十二烷基溴化銨、n,n-二乙基十二烷基氯化銨、n,n-二乙基十二烷基溴化銨、n,n-二甲基十六烷基氯化銨、n,n-二甲基十六烷基溴化銨、全氟十二醇、全氟己基磺酸銨和全氟辛基磺酸銨中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述表面活性劑是由脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鹽、脂肪醇聚氧乙烯醚和全氟十二醇按照質(zhì)量比為0.5-1.5:0.8-1.2:0.1-0.5組成的混合物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底清洗劑，其特征在于：所述螯合劑為乙二酸四乙酸鹽、二乙烯三胺二琥珀酸鹽、檸檬酸鹽中的至少一種。

9.一種如權(quán)利要求1-8任一項所述的碳化硅襯底清洗劑的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

10.一種如權(quán)利要求1-8任一項所述的碳化硅襯底清洗劑的使用方法，其特征在于：包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及化學清洗劑技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種碳化硅襯底清洗劑及其制備方法和應(yīng)用，包括如下原料：有機溶劑40?70份、金屬離子去除劑3?7份、表面活性劑0.5?2.5份、螯合劑3?7份。本發(fā)明提供了一種新型的環(huán)?；瘜W清洗劑，替代傳統(tǒng)含有毒性成分如異丙醇和氫氟酸的清洗劑，減少對環(huán)境和操作人員健康的危害，符合日益嚴格的環(huán)保要求；能有效清潔碳化硅襯底，又對碳化硅襯底腐蝕性相對較弱的化學清洗劑，平衡清洗效果和襯底保護，提高碳化硅襯底生產(chǎn)制造的良品率。

技術(shù)研發(fā)人員：王海燕,王保平
受保護的技術(shù)使用者：廣東麒瑞新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15