用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型關(guān)于一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，該涂布設(shè)備包括一第一XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、一Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、一第二XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、一承載臺(tái)及一噴頭裝置，Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接在第一XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨第一XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)；第二XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上并跟隨Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)；承載臺(tái)連接在第二XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨第二XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)；噴頭裝置包含一Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及安裝在Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一噴頭組件，噴頭組件跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)并對(duì)應(yīng)側(cè)面配置。借此，本實(shí)用新型可以達(dá)到成膜質(zhì)量?jī)?yōu)異及厚度均勻等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型有關(guān)于一種涂布設(shè)備，尤指一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的基板成膜方式包括一機(jī)械手臂及一噴頭，噴頭安裝在機(jī)械手臂上，再使用自動(dòng)控制系統(tǒng)控制機(jī)械手臂的來回移動(dòng)，而使噴頭直接對(duì)基板進(jìn)行噴涂動(dòng)作，并配合基板的表面形狀及面積移動(dòng)。
[0003]然而，上述基板成膜方式大多針對(duì)基板的正面、背面等大面積表面進(jìn)行涂布作業(yè)，但若將上述基板成膜方式使用于基板的側(cè)面等小面積表面或環(huán)形狀表面上，則容易有涂料不均勻及溢料到基板其他表面的問題，造成涂料成膜質(zhì)量不佳、厚度不均勻等缺點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其利用第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)形狀中心與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊，Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)再帶動(dòng)承載臺(tái)旋轉(zhuǎn)，并第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)用以調(diào)整噴頭組件與側(cè)面之間的間隔距離，使得本實(shí)用新型涂布設(shè)備能在基板的側(cè)面等小面積表面或環(huán)形狀表面上進(jìn)行涂布作業(yè)，以達(dá)到成膜質(zhì)量?jī)?yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點(diǎn)。
[0005]為了達(dá)成上述的目的，本實(shí)用新型提供一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，所述基板具有一側(cè)面及一形狀中心，該涂布設(shè)備包括:
[0006]一機(jī)座；
[0007]—第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，固定在該機(jī)座上；
[0008]一 Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，連接在該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)；
[0009]一第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，固定在該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上并跟隨該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)；
[0010]一承載臺(tái)，連接在該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，所述基板定位于該承載臺(tái)；以及
[0011]一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及安裝在該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一噴頭組件，該噴頭組件跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)并對(duì)應(yīng)所述側(cè)面配置；
[0012]其中，該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述形狀中心與該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊，該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)整該噴頭組件與所述側(cè)面之間的間隔距離。
[0013]還包括用以計(jì)算所述基板的所述形狀中心位置的一運(yùn)算裝置，該運(yùn)算裝置以所述形狀中心為基準(zhǔn)產(chǎn)生出一第一移動(dòng)數(shù)據(jù)及一第二移動(dòng)數(shù)據(jù)。
[0014]其中該運(yùn)算裝置與該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)電性連接并控制該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著該第一移動(dòng)數(shù)據(jù)移動(dòng)，且依據(jù)該第一移動(dòng)數(shù)據(jù)以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊。[0015]其中該運(yùn)算裝置與該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)電性連接并控制該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著該第二移動(dòng)數(shù)據(jù)移動(dòng)，且依據(jù)該第二移動(dòng)數(shù)據(jù)以調(diào)整該噴頭組件與所述側(cè)面之間的間隔距離。
[0016]還包括一進(jìn)料區(qū)及一出料區(qū)，該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)在該進(jìn)料區(qū)及該出料區(qū)之間。
[0017]還包括一檢測(cè)組件，該檢測(cè)組件對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述基板配置。
[0018]其中該檢測(cè)組件安裝于該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)并跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)。
[0019]其中該檢測(cè)組件包括一第一攝影機(jī)及一第二攝影機(jī)，該第一攝影機(jī)對(duì)應(yīng)所述基板的上方配置，該第二攝影機(jī)對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述側(cè)面配置。
[0020]其中該檢測(cè)組件還包括一照明組件，該照明組件對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述基板配置。 [0021]其中該第一攝影機(jī)、該第二攝影機(jī)及該照明組件安裝于該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)并跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，該照明組件配置在該第一攝影機(jī)的一側(cè)。
[0022]本實(shí)用新型還具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0023]第一、本實(shí)用新型涂布設(shè)備通過路徑選擇校正方式，使側(cè)面與噴頭組件之間的間隔距離維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，讓噴涂效果達(dá)到優(yōu)化，從而達(dá)成成膜質(zhì)量?jī)?yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點(diǎn)。
[0024]第二、形狀中心與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊，使基板以形狀中心為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)下，讓本實(shí)用新型涂布設(shè)備可采用噴涂連續(xù)不間斷的方式進(jìn)行，當(dāng)基板旋轉(zhuǎn)一圈之后，即完成噴涂作業(yè)，以達(dá)到噴涂均勻化及作業(yè)效率提高的優(yōu)點(diǎn)。
[0025]第三、本實(shí)用新型涂布設(shè)備還包括檢測(cè)組件，檢測(cè)組件對(duì)應(yīng)噴頭組件、基板上方及側(cè)面配置，使作業(yè)人員可通過檢測(cè)組件了解目前涂布作業(yè)的情形，運(yùn)算裝置也可通過檢測(cè)組件進(jìn)行第一移動(dòng)數(shù)據(jù)及第二移動(dòng)數(shù)據(jù)的調(diào)整，進(jìn)而提升涂布設(shè)備的作業(yè)效率及操作便利性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的立體組合圖。
[0027]圖2:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的組合示意圖。
[0028]圖3:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的方塊圖。
[0029]圖4:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的使用狀態(tài)示意圖。
[0030]圖5:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的另一方塊圖。
[0031]圖6:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的另一使用狀態(tài)示意圖。
[0032]圖7:本實(shí)用新型涂布設(shè)備的又一使用狀態(tài)示意圖。
[0033]圖中:
[0034]10…涂布設(shè)備
[0035]I…機(jī)座；
[0036]2…第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0037]3…Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；
[0038]4…第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；[0039]5…承載臺(tái)；
[0040]6…噴頭裝置；
[0041]61…Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0042]62…噴頭組件；
[0043]7…運(yùn)算裝 置；
[0044]71…第一移動(dòng)數(shù)據(jù)；
[0045]72…第二移動(dòng)數(shù)據(jù)；
[0046]81…進(jìn)料區(qū)；
[0047]82…出料區(qū)；
[0048]9…檢測(cè)組件；
[0049]91…第一攝影機(jī)；
[0050]91’…第二攝影機(jī)；
[0051]92…照明組件；
[0052]100 …基板；
[0053]101 …側(cè)面；
[0054]102…形狀中心；
[0055]200…膜層；
[0056]L…軸心；
[0057]S…間隔距離。
【具體實(shí)施方式】
[0058]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本實(shí)用新型并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0059]請(qǐng)參考圖1至圖7所示，本實(shí)用新型提供一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，該涂布設(shè)備10主要包括一機(jī)座1、一第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2、一 Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3、一第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、一承載臺(tái)5及一噴頭裝置6。
[0060]如圖1至圖2所示，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，基板100的外周緣具有一側(cè)面101及沿著側(cè)面101所圍設(shè)的形狀定義出一形狀中心102。
[0061]如圖1至圖2所不,第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2固定在機(jī)座I上,此第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2能夠在機(jī)座I上進(jìn)行X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)。
[0062]如圖1至圖2所示，Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3連接在第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2上并跟隨第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2進(jìn)行X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)。
[0063]如圖1至圖2所示，第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4固定在Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3上并跟隨Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3旋轉(zhuǎn)，此第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4能夠在Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3上進(jìn)行X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)。
[0064]如圖1至圖2所示，承載臺(tái)5連接在第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4上并跟隨第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4進(jìn)行X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)，基板100定位于承載臺(tái)5。
[0065]如圖1至圖2所示，噴頭裝置6包含一 Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61及安裝在Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61的一噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61進(jìn)行Z軸方向移動(dòng)并對(duì)應(yīng)側(cè)面101配置。
[0066]其中，第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4帶動(dòng)形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2用以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S。
[0067]如圖1至圖2、圖3及圖5所示，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10還包括一運(yùn)算裝置7，運(yùn)算裝置7檢測(cè)側(cè)面101所圍設(shè)的形狀并計(jì)算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準(zhǔn)產(chǎn)生出一第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71及一第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72。
[0068]進(jìn)一步說明如下，運(yùn)算裝置7與第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4電性連接并控制第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4沿著第一移動(dòng)數(shù)據(jù)72移動(dòng)，且依據(jù)第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71以使形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊。
[0069]另外，運(yùn)算裝置7與第一XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2電性連接并控制第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2沿著第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72移動(dòng)，且依據(jù)第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S。
[0070]如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10還包括一進(jìn)料區(qū)81及一出料區(qū)82，第
一XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2移動(dòng)在進(jìn)料區(qū)81及出料區(qū)82之間。
[0071]如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10還包括一檢測(cè)組件9，檢測(cè)組件9安裝于Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61并跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61移動(dòng)，此檢測(cè)組件9對(duì)應(yīng)噴頭組件62及基板100配置。
[0072]詳細(xì)說明如下，檢測(cè)組件9包含一第一攝影機(jī)91、一第二攝影機(jī)91’及一照明組件92，第一攝影機(jī)91對(duì)應(yīng)基板100的上方配置，第二攝影機(jī)91’對(duì)應(yīng)噴頭組件62及側(cè)面101配置，照明組件92對(duì)應(yīng)噴頭組件62及基板100配置。
[0073]另外，第一攝影機(jī)91、第二攝影機(jī)91’及照明組件92安裝于Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61上并跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61移動(dòng)，照明組件92配置在第一攝影機(jī)91的一側(cè)。
[0074]此外，本實(shí)用新型最佳實(shí)施例的檢測(cè)組件9包括第一攝影機(jī)91及第二攝影機(jī)91’，但檢測(cè)組件9也可為紅外線檢測(cè)組件等其他檢測(cè)組件，并不以本實(shí)施例為限制。
[0075]如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型的涂布設(shè)備10的組合，其利用第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2固定在機(jī)座I上；Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3連接在第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2上并跟隨第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2移動(dòng)；第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4固定在Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3上并跟隨Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3旋轉(zhuǎn)；承載臺(tái)5連接在第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4上并跟隨第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4移動(dòng)，基板100定位于承載臺(tái)5 ;噴頭裝置6包含Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61及安裝在Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61的噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61移動(dòng)并對(duì)應(yīng)側(cè)面101配置；其中，第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4帶動(dòng)形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2用以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S。借此，第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4帶動(dòng)形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊，Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3再帶動(dòng)承載臺(tái)5旋轉(zhuǎn)，并第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2用以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離，使得本實(shí)用新型涂布設(shè)備10能在基板100的側(cè)面101等小面積表面或環(huán)形狀表面上進(jìn)行涂布作業(yè)，以達(dá)到成膜質(zhì)量?jī)?yōu)良及厚度均勻等特點(diǎn)。
[0076]如圖3至圖7所示，本實(shí)用新型的涂布設(shè)備10的使用狀態(tài)，首先，如圖3至圖4所示，運(yùn)算裝置7檢測(cè)側(cè)面101所圍設(shè)的形狀并計(jì)算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準(zhǔn)產(chǎn)生出第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71，運(yùn)算裝置7再與第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4電性連接并控制第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4沿著第一移動(dòng)數(shù)據(jù)72移動(dòng)，且第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4依據(jù)第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊。
[0077]再者，如圖5至圖7所示，噴頭組件62跟隨Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)61進(jìn)行Z軸方向移動(dòng)并對(duì)應(yīng)側(cè)面101配置，運(yùn)算裝置7檢測(cè)側(cè)面101所圍設(shè)的形狀并計(jì)算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準(zhǔn)產(chǎn)生出第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72，運(yùn)算裝置7與第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2電性連接并控制第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2沿著第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72移動(dòng)，且第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2依據(jù)第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S。
[0078]因此，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10進(jìn)行涂布作業(yè)時(shí)，第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4帶動(dòng)形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊后即定位不移動(dòng)，Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3會(huì)帶動(dòng)第
二XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、承載臺(tái)5及基板100 —起轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0079]并且，因形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊，使基板100在轉(zhuǎn)動(dòng)一圈的過程中，側(cè)面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化最小；詳細(xì)說明如下，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，因此基板100的外型非對(duì)稱下，基板100在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，側(cè)面101與噴頭組件62之間的間隔距離S也會(huì)改變，但因側(cè)面101各點(diǎn)至形狀中心102的距離變化最小，所以基板100以形狀中心102為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)下，側(cè)面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化也會(huì)最小。
[0080]之后，第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2帶動(dòng)Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3、第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、承載臺(tái)5及基板100 —起移動(dòng)，以調(diào)整噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S，使基板100以形狀中心102為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，側(cè)面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化最小下，第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2又能夠帶動(dòng)基板100接近或遠(yuǎn)離噴頭組件62，以微調(diào)噴頭組件62與側(cè)面101之間的間隔距離S，讓涂布作業(yè)中，間隔距離S維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，以使噴頭組件62噴出的涂料均勻地覆蓋于側(cè)面101，而在側(cè)面101上形成有厚度均勻且質(zhì)量良好的膜層200。借此，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10通過路徑選擇校正方式，使側(cè)面101與噴頭組件62之間的間隔距離S維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，讓噴涂效果達(dá)到優(yōu)化，從而達(dá)成成膜質(zhì)量?jī)?yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點(diǎn)。
[0081]另外，形狀中心102與Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的軸心L重疊，使基板100以形狀中心102為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)下，讓本實(shí)用新型涂布設(shè)備10可采用噴涂連續(xù)不間斷的方式進(jìn)行，當(dāng)基板100旋轉(zhuǎn)一圈之后，即完成噴涂作業(yè)，讓膜層200均勻且穩(wěn)定地披覆在側(cè)面101上，以達(dá)到噴涂均勻化及作業(yè)效率提高的優(yōu)點(diǎn)。
[0082]本實(shí)用新型涂布設(shè)備10還包括檢測(cè)組件9，檢測(cè)組件9包含第一攝影機(jī)91及第二攝影機(jī)91’，第一攝影機(jī)91對(duì)應(yīng)基板100的上方配置，此第一攝影機(jī)91用于提供運(yùn)算裝置7計(jì)算基板100的偏移量，以微調(diào)第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71，以幫助形狀中心102與軸心L準(zhǔn)確地重疊。
[0083]再者，第二攝影機(jī)91’對(duì)應(yīng)噴頭組件62及側(cè)面101配置，此第一攝影機(jī)91用于檢測(cè)側(cè)面101的表面狀況及噴頭組件62與側(cè)面101在Z軸上的高低差，以微調(diào)第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72,以提升噴頭組件62的作業(yè)效率、準(zhǔn)確性及成膜厚度均勻的優(yōu)點(diǎn)。
[0084]因此，作業(yè)人員可通過檢測(cè)組件9 了解目前涂布作業(yè)的情形，運(yùn)算裝置7也可通過檢測(cè)組件9進(jìn)行第一移動(dòng)數(shù)據(jù)71及第二移動(dòng)數(shù)據(jù)72的調(diào)整，進(jìn)而提升涂布設(shè)備10的作業(yè)效率及操作便利性。[0085]其中，檢測(cè)組件9還包含照明組件92，照明組件92配置在第一攝影機(jī)91的一側(cè)，即照明組件92配置在基板100的上方，使照明組件92照亮基板100的上方、噴頭組件62及側(cè)面101處，以讓照明組件92提高噴頭組件62、基板100及側(cè)面101處的亮度，更方便第一攝影機(jī)91及第二攝影機(jī)91’攝影涂布作業(yè)的情形。
[0086]此外，本實(shí)用新型涂布設(shè)備10還包括進(jìn)料區(qū)81及出料區(qū)82，第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2移動(dòng)在進(jìn)料區(qū)81及出料區(qū)82之間，使第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)2用于輔助進(jìn)料及出料的作業(yè)。
[0087]以上所述實(shí)施例僅是為充分說明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，所述基板具有一側(cè)面及一形狀中心，其特征在于，該涂布設(shè)備包括: 一機(jī)座； 一第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，固定在該機(jī)座上； 一 Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，連接在該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)； 一第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，固定在該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上并跟隨該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)； 一承載臺(tái)，連接在該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并跟隨該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，所述基板定位于該承載臺(tái)；以及 一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及安裝在該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一噴頭組件,該噴頭組件跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)并對(duì)應(yīng)所述側(cè)面配置； 其中，該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述形狀中心與該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊，該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)整該噴頭組件與所述側(cè)面之間的間隔距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，還包括用以計(jì)算所述基板的所述形狀中心位置的一運(yùn)算裝置，該運(yùn)算裝置以所述形狀中心為基準(zhǔn)產(chǎn)生出一第一移動(dòng)數(shù)據(jù)及一第二移動(dòng)數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該運(yùn)算裝置與該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)電性連接并控制該第二 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著該第一移動(dòng)數(shù)據(jù)移動(dòng)，且依據(jù)該第一移動(dòng)數(shù)據(jù)以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸心重疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該運(yùn)算裝置與該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)電性連接并控制該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著該第二移動(dòng)數(shù)據(jù)移動(dòng)，且依據(jù)該第二移動(dòng)數(shù)據(jù)以調(diào)整該噴頭組件與所述側(cè)面之間的間隔距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，還包括一進(jìn)料區(qū)及一出料區(qū)，該第一 XY軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)在該進(jìn)料區(qū)及該出料區(qū)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，還包括一檢測(cè)組件，該檢測(cè)組件對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述基板配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該檢測(cè)組件安裝于該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)并跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該檢測(cè)組件包括一第一攝影機(jī)及一第二攝影機(jī)，該第一攝影機(jī)對(duì)應(yīng)所述基板的上方配置，該第二攝影機(jī)對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述側(cè)面配置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該檢測(cè)組件還包括一照明組件，該照明組件對(duì)應(yīng)該噴頭組件及所述基板配置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，其特征在于，其中該第一攝影機(jī)、該第二攝影機(jī)及該照明組件安裝于該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)并跟隨該Z軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，該照明組件配置在該第一攝影機(jī)的一側(cè)。
【文檔編號(hào)】B05B15/10GK203778253SQ201420146046
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年3月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月27日
【發(fā)明者】喬鴻培, 李子勝, 蔡憲毅, 吳泰興, 陳厚權(quán), 陳厚銘 申請(qǐng)人:揚(yáng)博科技股份有限公司, 仕元機(jī)械股份有限公司