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一種在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器的制作方法

文檔序號:11121674閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:由圖像寫入系統(tǒng)(16)和紅外圖像轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)組成,紅外轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)放置在罐狀冷艙(18)外部,工作在常溫常壓環(huán)境下,紅外轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)放置在罐狀冷艙(18)內(nèi)部,工作在低溫真空環(huán)境下;

其中,圖像寫入系統(tǒng)(16)包括:寫入光系統(tǒng)(1),寫入照明系統(tǒng)(2),驅(qū)動板(3),溫度補償照明系統(tǒng)(4),溫度補償系統(tǒng)(5),中繼光學(xué)系統(tǒng)(6),合束棱鏡(7),冷艙寫入光窗口(8),電源(9);寫入光系統(tǒng)(1)與寫入照明系統(tǒng)(2)通過光纖連接,為其提供均勻光源照明;溫度補償照明系統(tǒng)(4)與溫度補償系統(tǒng)(5)通過光纖連接,為溫度補償系統(tǒng)(5)提供均勻光源照明;兩塊驅(qū)動板(3)分別為寫入光系統(tǒng)(1)與溫度補償系統(tǒng)(5)提供驅(qū)動;電源(9)為寫入照明系統(tǒng)(2)和溫度補償照明系統(tǒng)(4)供電,寫入光系統(tǒng)(1)與溫度補償系統(tǒng)(5)分別通過中繼光學(xué)系統(tǒng)(6)進行中繼成像;中繼成像經(jīng)過合束棱鏡(7)合束后照射到冷艙寫入光窗口(10)。

紅外圖像轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)包括:寫入光窗口(10),MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11),紅外窗口(12),蝸輪蝸桿(13),真空腔(14)和齒輪組(15);真空腔(14)為內(nèi)部中空的圓柱形狀,圓柱頂部安裝有紅外窗口(12),圓柱底部安裝有寫入光窗口(10);紅外窗口(12)與寫入光窗口(10)之間安裝有MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11),需保證寫入光窗口(10),MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11)和紅外窗口(12)同軸放置;真空腔(14)的側(cè)壁上安裝有真空閥門,電機通過齒輪組(15)控制真空閥門的開啟和關(guān)閉;真空腔(14)與齒輪組(15)通過固定板固定在支架上;所述支架上安裝有蝸輪蝸桿(13),通過蝸輪蝸桿(13)和齒輪齒條結(jié)構(gòu)調(diào)整真空腔(14)在光軸方向上的移動距離和方向。

2.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11)的生成方式包括且不限于物理氣相沉積,化學(xué)氣相沉積基于MEMS工藝生成的薄膜;基于化學(xué)液相鍍膜;旋涂、延展、流延、拉伸等物理方式生成的薄膜。

3.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:所述MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11)由襯底、吸收輻射區(qū)、抑制輻射區(qū)和支撐腿等部分組成。襯底作為MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片的支撐結(jié)構(gòu),材料采用硅、二氧化硅。通過MEMS工藝在襯底上制作獨立的吸收輻射區(qū),每一個吸收輻射區(qū)相當(dāng)于一個象元。每一個象元靠兩個支撐腿連接到襯底上,支撐腿材料采用硅或聚酰亞胺。象元端面制備有支撐層和吸收輻射層,支撐材料采用聚酰亞胺或碳纖維,吸收輻射材料采用鉻、鎢、鎳鉻、鈦合金、鈦的氮化物、金屬黑、碳化硅、氮化硅、氧化鉿。吸收輻射層的表面稀疏多孔,可以將寫入光能量轉(zhuǎn)化為熱能,促使MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片像元升溫。抑制輻射區(qū)采用通孔結(jié)構(gòu),一方面寫入光的直接透射使MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片對能量的吸收具有了選擇性,提高了MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片的成像分辨率。另一方面,通孔結(jié)構(gòu)可以隔離像元,降低像元之間的熱串?dāng)_。

4.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:通過蝸輪蝸桿(13)和齒輪齒條結(jié)構(gòu)調(diào)整真空腔(14)在光軸方向上的位置調(diào)整,來補償由于低溫環(huán)境下圖像MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11)位置的偏移。

5.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:輻射波段包含了從3μm到14μm的連續(xù)光譜。

6.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:選用低溫真空步進電機,固體潤滑劑,和彈簧螺釘?shù)冉Y(jié)構(gòu)來保證模擬器可以在低溫環(huán)境下正常工作。

7.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:溫度補償照明系統(tǒng)(4)和溫度補償系統(tǒng)(5)為圖像寫入系統(tǒng)(16)提供溫度補償功能。

8.如權(quán)利要求1所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:將防雜光光欄置于真空艙內(nèi),且位于所述紅外轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)的動態(tài)紅外圖像的出射方向。

9.如權(quán)利要求1至8任意一項所述的一種能夠在低溫真空環(huán)境下工作的紅外動態(tài)場景模擬器,其特征在于:所述模擬器的工作過程:圖像寫入系統(tǒng)(16)置于冷艙(18)外部;紅外轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(17)置于冷艙(18)內(nèi)部;寫入照明系統(tǒng)(2)為寫入光系統(tǒng)(1)提供均勻光源照明;寫入光系統(tǒng)(1)通過視頻信號接口接收視頻圖像源輸出帶有紅外特征的寫入光灰度圖像;溫度補償系統(tǒng)(5)為寫入光灰度圖像提供溫度補償;溫度補償照明系統(tǒng)(4)為溫度補償系統(tǒng)(5)提供照明;驅(qū)動板(3)為寫入光系統(tǒng)(1)與溫度補償系統(tǒng)(5)提供驅(qū)動;電源(9)為寫入照明系統(tǒng)(2)和溫度補償照明系統(tǒng)(4)供電,寫入光系統(tǒng)(1)與溫度補償照明系統(tǒng)(4)分別通過中繼光學(xué)系統(tǒng)(6)進行中繼成像;中繼成像經(jīng)過合束棱鏡(7)合束后照射到冷艙寫入光窗口(8);圖像寫入系統(tǒng)(16)生成的中繼成像依次經(jīng)過冷艙寫入光窗口(8)、寫入光窗口(10)、MEMS紅外圖像轉(zhuǎn)換芯片(11)和紅外窗口(12)生成紅外動態(tài)場景;即最終達到在低溫真空環(huán)境下生成紅外動態(tài)場景的作用。

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