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電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的制作方法

文檔序號:11169348閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠確保作業(yè)者的安全并且提高進行維護等時的作業(yè)效率的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。電子部件輸送裝置(100)具備能夠輸送電子部件IC器件(90)的輸送部(6)、通過制冷劑進行冷卻并能夠?qū)斔偷降碾娮硬考M行冷卻的冷卻部、配置有作為冷卻部的溫度調(diào)整部(12)的第一室、以及切換制冷劑的排出目的地的切換部(860)。

技術(shù)研發(fā)人員:神村辰德
受保護的技術(shù)使用者:精工愛普生株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.11
技術(shù)公布日:2017.10.03
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