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一種高效率高純?nèi)軇┢壳逑丛O(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):11907689閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高效率高純?nèi)軇┢壳逑丛O(shè)備,包括工作臺(tái)、支撐軸、夾持部、清洗部、供液部;支撐軸豎直安裝在工作臺(tái)上;夾持部包括N個(gè)夾持單元,其中,N為大于或等于2的正整數(shù);N個(gè)夾持單元依次分布,夾持單元包括安裝板、多個(gè)夾持板,安裝板安裝在工作臺(tái)上,多個(gè)夾持板自上往下依次安裝在安裝板上,各夾持板上均設(shè)有通孔,各夾持板上的通孔同心布置,自上往下,各夾持板上的通孔的孔徑逐漸減?。磺逑床堪ㄖ伟?、N個(gè)清洗單元、第一動(dòng)力機(jī)構(gòu),支撐板安裝在支撐軸上;N個(gè)清洗單元與N個(gè)夾持單元一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。

技術(shù)研發(fā)人員:吳偉龍;畢風(fēng)華
受保護(hù)的技術(shù)使用者:安徽天地高純?nèi)軇┯邢薰?br/>文檔號(hào)碼:201610560863
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.14
技術(shù)公布日:2016.12.07

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