技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及顯示設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基板清洗裝置，該基板清洗裝置包括：基臺，基臺設(shè)有用于承載基板的承載面；可相對于基臺沿與承載面平行的方向移動的清洗頭，清洗頭具有至少一個正壓腔室和至少一個負(fù)壓腔室，正壓腔室的開口朝向承載面以向放置于承載面的基板噴射清潔氣體；負(fù)壓腔室的開口朝向承載面以吸取進(jìn)行清潔后的氣體；連接正壓腔室和負(fù)壓腔室的管路組件，管路組件上設(shè)有風(fēng)機(jī)和過濾組件。上述基板清洗裝置，能夠有效的將基板上由于測量及檢測造成的異物去除，使得基板表面的潔凈度得到提高，從而有效地減少產(chǎn)品的次品率，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李克佳;呂萌;康慧;潘亞曦;郭東升;楊宗勝;辛瞳;李賓
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.28
技術(shù)公布日：2017.10.10