本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備，具體涉及一種mocvd腔體清潔裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，薄膜化學(xué)沉積設(shè)備是非常重要的設(shè)備之一。傳送腔體是薄膜化學(xué)沉積設(shè)備中的一個(gè)重要部件，用于傳送半導(dǎo)體晶圓。由于傳送腔體空間較小，清潔難度較大，因此需要定期對(duì)傳送腔體進(jìn)行清潔

2、針對(duì)公開號(hào)為cn220371838u公開的一種腔體清潔裝置，包括清潔組件、連接裝置和手柄；所述清潔組件包括清潔基體和清潔件，所述清潔基體用于清潔傳送腔體，所述清潔件用于包裹清潔基體，防止所述清潔基體刮傷所述傳送腔體，所述清潔基體開設(shè)有內(nèi)部水路，所述內(nèi)部水路用于向所述清潔基體供水；所述連接裝置的一端與所述清潔組件連接，另一端連接所述手柄；所述手柄與連接裝置連接。本實(shí)用新型通過(guò)清潔組件、連接裝置和手柄的配合設(shè)置，使得本設(shè)備能夠有效匹配傳送腔體被清潔部位，做到快速清潔避免劃傷腔體且具備補(bǔ)水功能。

3、但是上述實(shí)用新型在使用時(shí)，清潔組件對(duì)腔體進(jìn)行清潔時(shí)，清洗的清水通過(guò)擠壓的方式通過(guò)出水口輸送至腔室內(nèi)，以便清潔組件對(duì)腔室進(jìn)行清洗，使得清水噴出的壓力較小，無(wú)法對(duì)腔室進(jìn)行有效的清洗，使得清潔組件清潔的效率較低；同時(shí)輸送的管路通過(guò)多個(gè)管路套接的方式組裝而成，清潔組件使用時(shí)需要通過(guò)管路帶動(dòng)對(duì)腔室進(jìn)行清潔，使用時(shí)穩(wěn)定性較差。

4、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種mocvd腔體清潔裝置，其能夠解決清潔裝置對(duì)腔體清潔時(shí)效率低和使用時(shí)穩(wěn)定性差的問(wèn)題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、一種mocvd腔體清潔裝置，包括：

4、清潔裝置，包括清潔基體，清潔基體設(shè)置有與腔體內(nèi)壁相匹配的弧形側(cè)壁，通過(guò)清潔基體的弧形側(cè)壁和底部側(cè)壁與腔體內(nèi)壁的接觸，對(duì)腔體的內(nèi)部進(jìn)行清潔。所述清潔基體的底部側(cè)壁和弧形側(cè)壁上均設(shè)置有清潔面，使得清潔基體的底部側(cè)壁和弧形側(cè)壁對(duì)腔體內(nèi)壁清潔時(shí)，清潔效果好的同時(shí)不會(huì)對(duì)腔體的內(nèi)壁造成損傷。所述清潔基體的內(nèi)部設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，從而便于在清潔基體的內(nèi)部進(jìn)行部件的安裝。

5、清潔介質(zhì)輸送組件，包括噴射口，通過(guò)噴射口將對(duì)腔室進(jìn)行清潔的清洗液輸送至腔室內(nèi)。所述噴射口設(shè)置有多個(gè)，使得清洗液可以均勻的輸送至腔室內(nèi)，提高清洗液對(duì)腔室清潔的效果。多個(gè)所述噴射口均開設(shè)于清潔基體的弧形側(cè)壁上，使得清洗液通過(guò)弧形側(cè)壁與腔室內(nèi)壁接觸。所述噴射口內(nèi)安裝有噴嘴，通過(guò)噴嘴將清洗液霧化后通過(guò)噴射口輸送至腔室內(nèi)，以便提高清洗液對(duì)腔室的清洗效果。所述噴嘴的進(jìn)液口上安裝有分配管，分配管用于向噴嘴輸送清洗液。所述連接管遠(yuǎn)離噴嘴的一端安裝有儲(chǔ)液盒，儲(chǔ)液盒用于存儲(chǔ)清洗液液，清洗液便于向噴嘴提供。所述儲(chǔ)液盒上安裝有加壓裝置，在加壓裝置的作用下便可以對(duì)儲(chǔ)液盒內(nèi)的清洗液進(jìn)行加壓，從而將清洗液加壓后輸送至噴嘴，使得噴嘴釋放出的清洗液具有一定的壓力，使得清洗液釋放后不僅可以對(duì)腔室的內(nèi)壁進(jìn)行清洗，同時(shí)使得清洗液分布的更加均勻，增加清洗液對(duì)腔室的清潔效果。

6、操控組件，包括套筒和把手，所述把手固定連接于套筒的側(cè)壁上，通過(guò)套筒和把手使得對(duì)腔室清潔時(shí)，裝置的連接處穩(wěn)定，以便于清潔基體的弧形側(cè)壁和底部側(cè)壁更好的與腔室的內(nèi)壁接觸，提高了對(duì)腔室的清潔效率。

7、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述清潔面采用柔性材質(zhì)，使得清潔面與腔室的內(nèi)壁接觸時(shí)，不會(huì)損壞腔室的內(nèi)壁。且所述清潔面的外表面設(shè)置有刷掃體，增加清潔面對(duì)腔室內(nèi)壁清潔的效果。

8、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述清潔基體的上端蓋接有上蓋板，所述上蓋板和清潔基體之間安裝有多個(gè)固定螺釘，通過(guò)固定螺釘使得上蓋板在清潔基體上便于打開，從而便于對(duì)清潔基體內(nèi)安裝的部件進(jìn)行維護(hù)和更換。

9、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)所述噴射口在清潔基體的弧形側(cè)壁上以上中下的形式設(shè)置有三排，且每排均設(shè)置有多個(gè)噴射口，使得噴射口可以將清洗液均勻的噴射至腔室內(nèi)。

10、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，上排所述噴射口以向上的方式傾斜設(shè)置，且上排所述噴射口與水平面的夾角為45度，使得上排的噴射口可以將清洗液噴射至腔室的上側(cè)，以便對(duì)腔室上側(cè)的死角位置進(jìn)行沖洗。

11、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，下排所述噴射口以向下的方式傾斜設(shè)置，且下排所述噴射口與水平面的夾角為45度，使得下排噴射口可以將清洗液噴射至腔室的下側(cè)，以便對(duì)腔室下側(cè)的死角位置進(jìn)行沖洗。

12、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述分配管的側(cè)壁上固定連接有多個(gè)連接頭，多個(gè)所述連接頭分別和多個(gè)噴嘴的進(jìn)液口之間均安裝有連接管，通過(guò)連接管便可以將分配管內(nèi)的清洗液輸送至噴嘴內(nèi)噴出。

13、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述分配管的側(cè)壁上固定連接有輸送管，所述輸送管遠(yuǎn)離分配管的一端固定連接于儲(chǔ)液盒的底部，使得儲(chǔ)液盒內(nèi)的清洗液便可以通過(guò)輸送管輸送至分配管內(nèi)，從而通過(guò)分配管輸送至噴嘴內(nèi)。

14、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述儲(chǔ)液盒的上端壁板上安裝有補(bǔ)液口，所述補(bǔ)液口上蓋接有進(jìn)液蓋，通過(guò)補(bǔ)液口向儲(chǔ)液盒內(nèi)補(bǔ)充清洗液。

15、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述套筒的一端固定連接于清潔基體的側(cè)壁上，所述套筒的另一端固定連接于儲(chǔ)液盒的底部，使得套筒與清潔基體和儲(chǔ)液盒之間的連接牢固，從而便可以在套筒的作用下確保清潔基體和儲(chǔ)液盒使用時(shí)的穩(wěn)定。所述套筒套接于輸送管的側(cè)壁上，使得套筒使得裝置使用穩(wěn)定的同時(shí)對(duì)輸送管進(jìn)行防護(hù)。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)清潔裝置對(duì)腔體的內(nèi)壁進(jìn)行刷掃清潔，通過(guò)清潔介質(zhì)輸送組件向清潔裝置提供帶壓的清洗液，清洗液通過(guò)噴嘴霧化后噴出，清洗液可以對(duì)腔室內(nèi)壁及不易清洗的位置進(jìn)行沖洗，提高了對(duì)腔室的清潔效率；同時(shí)通過(guò)套筒對(duì)裝置進(jìn)行支撐，使得裝置使用時(shí)穩(wěn)定性較好。

技術(shù)特征：

1.一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述清潔面采用柔性材質(zhì)，且所述清潔面的外表面設(shè)置有刷掃體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述清潔基體的上端蓋接有上蓋板，所述上蓋板和清潔基體之間安裝有多個(gè)固定螺釘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，多個(gè)所述噴射口在清潔基體的弧形側(cè)壁上以上中下的形式設(shè)置有三排，且每排均設(shè)置有多個(gè)噴射口。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，上排所述噴射口以向上的方式傾斜設(shè)置，且上排所述噴射口與水平面的夾角為45度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，下排所述噴射口以向下的方式傾斜設(shè)置，且下排所述噴射口與水平面的夾角為45度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述分配管的側(cè)壁上固定連接有多個(gè)連接頭，多個(gè)所述連接頭分別和多個(gè)噴嘴的進(jìn)液口之間均安裝有連接管。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述分配管的側(cè)壁上固定連接有輸送管，所述輸送管遠(yuǎn)離分配管的一端固定連接于儲(chǔ)液盒的底部。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液盒的上端壁板上安裝有補(bǔ)液口，所述補(bǔ)液口上蓋接有進(jìn)液蓋。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種mocvd腔體清潔裝置，其特征在于，所述套筒的一端固定連接于清潔基體的側(cè)壁上，所述套筒的另一端固定連接于儲(chǔ)液盒的底部，所述套筒套接于輸送管的側(cè)壁上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種MOCVD腔體清潔裝置，包括清潔裝置、清潔介質(zhì)輸送組件和操控組件，所述清潔裝置包括清潔基體，所述清潔基體的底部側(cè)壁和弧形側(cè)壁上均設(shè)置有清潔面，所述清潔基體的內(nèi)部設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)；所述清潔介質(zhì)輸送組件包括噴射口，所述噴射口設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述噴射口均開設(shè)于清潔基體的弧形側(cè)壁上，所述噴射口內(nèi)安裝有噴嘴，所述噴嘴的進(jìn)液口上安裝有分配管。本技術(shù)通過(guò)清潔裝置對(duì)腔體的內(nèi)壁進(jìn)行刷掃清潔，通過(guò)清潔介質(zhì)輸送組件向清潔裝置提供帶壓的清洗液，清洗液通過(guò)噴嘴霧化后噴出，清洗液可以對(duì)腔室內(nèi)壁及不易清洗的位置進(jìn)行沖洗，提高了對(duì)腔室的清潔效率；同時(shí)通過(guò)套筒對(duì)裝置進(jìn)行支撐，使得裝置使用時(shí)穩(wěn)定性較好。

技術(shù)研發(fā)人員：沈亞南
受保護(hù)的技術(shù)使用者：立潮半導(dǎo)體科技（江蘇無(wú)錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240705
技術(shù)公布日：2025/5/15