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一種改良的氫氮混合機的制作方法

文檔序號:11030058閱讀:1494來源:國知局
一種改良的氫氮混合機的制造方法與工藝

本實用新型涉及氣體混合設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種改良的氫氮混合機。



背景技術(shù):

氫氮混合機是將氮氣和氫氣在一定壓力下將兩種氣體混合,其氫、氮氣比例為6:94,作為集成電路焊線工序的保護氣體,通過氧化還原反應(yīng),氧氣跟氫氣反應(yīng)生成水,起到隔絕氧氣的作用,以防止焊點、線氧化來保護集成電路芯片。

氫氮混合機在使用過程中,氫氣壓力是0.5Mpa,氮氣的壓力是0.4Mpa,通過壓力差將氫氣加入氮氣中,當(dāng)終端用氣不穩(wěn)定時會出現(xiàn)氫氮比例波動的現(xiàn)象,若氫氣濃度太高時,會出現(xiàn)燃燒爆炸現(xiàn)象,危及設(shè)備、人生安全。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題,本實用新型公開了具有更高安全性能的改良的氫氮混合機。

本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):

一種改良的氫氮混合機,包括混合罐,所述混合罐上連通設(shè)置有氮氣進氣管路、氫氣進氣管路以及混合氣出氣管路,所述混合氣出氣管路端部設(shè)置有混合氣出口,在所述氮氣進氣管路與所述混合氣出氣管路之間連通有氮氣調(diào)節(jié)管路,在所述氮氣調(diào)節(jié)管路上設(shè)置有第一控制閥門,在所述混合氣出氣管路上設(shè)置有第二控制閥門,還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)與所述混合氣出氣管路、第一控制閥門、第二控制閥門相連,并對所述第一控制閥門與所述第二控制閥門進行控制。

進一步地,還包括氮氣傳感器與氫氣光纖傳感器,所述氮氣傳感器與所述氫氣光纖傳感器與所述控制系統(tǒng)相連。

進一步地,在所述混合罐與所述第二控制閥之間的混合氣出氣管路上,還設(shè)置有不合格氣放氣管路,所述不合格氣放氣管路端部設(shè)置放空口。

進一步地,所述不合格氣放氣管路上設(shè)置有第三控制閥門,所述第三控制閥門與所述控制系統(tǒng)相連。

進一步地,還包括壓縮空氣管路,所述壓縮空氣管路與第一控制閥、第二控制閥以及第三控制閥連通以為其提供氣壓驅(qū)動力,并通過控制系統(tǒng)對第一控制閥、第二控制閥以及第三控制閥進行通斷控制。

進一步地,在所述氮氣進氣管路與所述氫氣進氣管路上,均設(shè)置有截止閥。

進一步地,在所述控制系統(tǒng)與所述混合氣出氣管路相連通的控制管路上,設(shè)置有氫氣分析儀。

進一步地,在所述氫氣進氣管路上,設(shè)置有質(zhì)量流量控制器,所述質(zhì)量流量控制器與所述控制系統(tǒng)相連。

本實用新型所公開的改良的氫氮混合機與現(xiàn)有技術(shù)相比,采用閉環(huán)控制系統(tǒng)后,無需人為控制,氫氮混合機會自動調(diào)節(jié)氫氣含量的比例,以氫氣設(shè)定值為標準,小范圍波動,當(dāng)終端用氣量變化很大時,控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)來不急時,會出現(xiàn)氫氣濃度很高,此時改造后的保護系統(tǒng)開始工作,將保護氮氣充滿整個管道,阻止了燃燒爆炸現(xiàn)象的發(fā)生,確保整個裝置的運行安全,實際效果良好。

附圖說明

圖1為本實用新型公開的改良的氫氮混合機結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型及其效果作進一步闡述。

如圖1所示,本實用新型公開了一種改良的氫氮混合機,包括混合罐100,所述混合罐100上連通設(shè)置有氮氣進氣管路200、氫氣進氣管路300以及混合氣出氣管路400,氮氣進氣管路200一端為氮氣進口201,與氮氣氣源連通,另一端與混合罐100連通,在氮氣進氣管路上從氮氣進口201至混合罐100方向依次設(shè)置有減壓閥202、外螺紋截止閥203、壓力表205以及質(zhì)量流量計204。氫氣進氣管路300一端為氫氣進口301,與氫氣氣源連通,另一端與混合罐100連通,在氫氣進氣管路300從氫氣進口301至混合罐100方向依次設(shè)置有壓力表302,外螺紋截止閥303、質(zhì)量流量控制器304、外螺紋截止閥305和玻璃轉(zhuǎn)子流量計307,同時,還與外螺紋截止閥303、質(zhì)量流量控制器304以及外螺紋截止閥305并聯(lián)設(shè)置有外螺紋截止閥306。

所述混合氣出氣管路400一端與混合罐100連通,另一端設(shè)置有混合氣出口403,在混合氣出氣管路400上,沿混合罐100至混合氣出口403方向,依次設(shè)置有外螺紋截止閥401、第二控制閥402,在本例中,第二控制閥402為角式氣動閥,在所述第二控制閥402上,還設(shè)置有壓力表404。

在所述混合罐100與所述第二控制閥402之間的混合氣出氣管路400上,還設(shè)置有不合格氣放氣管路500,所述不合格氣放氣管路500端部設(shè)置放空口503。在所述不合格氣放棄管路500沿遠離混合罐100的方向,設(shè)置有外螺紋截止閥501以及第三控制閥502,在本例中,第三控制閥502為角式氣動閥,在所述第三控制閥502上,設(shè)置有壓力表504。

在所述氮氣進氣管路200與所述混合氣出口403之間連通有氮氣調(diào)節(jié)管路600,沿氮氣進氣管路200至混合氣出口403方向的氮氣調(diào)節(jié)管路600上,依次設(shè)置有外螺紋截止閥603以及第一控制閥門601,第一控制閥門601為角式氣動閥,在第一控制閥門601上還設(shè)置有壓力表602。

還包括控制系統(tǒng)900,控制系統(tǒng)900通過管路800與混合氣出氣管路400連通,在管路800上,沿混合罐100至控制系統(tǒng)900方向依次設(shè)置有球閥801、減壓閥802以及氫氣分析儀803,同時,控制系統(tǒng)900還與第一控制閥門601、第二控制閥門402、第三控制閥門502、質(zhì)量流量控制器304依次進行連接,并通過控制系統(tǒng)900對第一控制閥門601、第二控制閥門402、第三控制閥門502、質(zhì)量流量控制器304進行控制。同時,還包括氮氣傳感器901與氫氣光纖傳感器902,所述氮氣傳感器901與所述氫氣光纖傳感器902與所述控制系統(tǒng)900相連。

在本實施例中,還包括壓縮空氣管路700,所述壓縮空氣管路分別通過壓力表602、404、504,并與第一控制閥601、第二控制閥402以及第三控制閥502連通以為其提供氣壓驅(qū)動力,在壓縮空氣管路700上,設(shè)置有球閥702、減壓閥703。壓縮空氣管路700其目的是為氣動閥即第一控制閥601、第二控制閥402以及第三控制閥502等提供氣壓驅(qū)動力。

當(dāng)系統(tǒng)檢測混合氣出口管道中的氫、氮氣比例超出設(shè)定值時,控制系統(tǒng)900將會發(fā)出負反饋指令,控制開大或關(guān)小第一控制閥602,以動態(tài)維持氫、氮氣比例在設(shè)定值的允許波動范圍內(nèi)。

特殊情況下,當(dāng)系統(tǒng)檢測混合氣出口管道中氫氣含量超標時,控制系統(tǒng)900將會發(fā)出指令,控制關(guān)閉第二控制閥402停止向輸出混合氣出口輸出混合氣,開啟第三控制閥502使混合罐100的混合氣經(jīng)不合格氣放空口503釋放,同時打開第一控制閥601,使送氣管道整個沖滿氮氣,阻止管道燃燒,保證設(shè)備及人員的安全。

最后應(yīng)說明的是,以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本實用新型,盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。

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