技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金鍍層及其電沉積用鍍液和電沉積方法，屬于電沉積技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以乳酸和EDTA作為絡(luò)合劑，鍍液其余組分為亞鐵鹽、鎳鹽、NaH2PO2、RECl3、H3BO3及添加劑。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作為絡(luò)合劑的鍍液，電沉積得到Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金鍍層，該鍍層中鐵含量為5％?90％，鎳含量為5％?90％，鐵和鎳含量之和為80％?92％，稀土元素的質(zhì)量百分比為0?5％，余量為磷。本發(fā)明通過調(diào)試鍍液溫度、電流密度和pH等工藝條件，成功制備了具有優(yōu)異軟磁性能的Fe?Ni?P(RE)合金薄膜，應(yīng)用于微電子以及半導(dǎo)體功能器件領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：劉志權(quán);高麗茵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院金屬研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.27
技術(shù)公布日：2017.09.08