1.一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層，其特征在于，所述內(nèi)壁保護(hù)層的形成是通過(guò)在抽氣管路內(nèi)壁上先涂覆基礎(chǔ)層再涂覆催化層，再用離子束輻照表面使所述基礎(chǔ)層和催化層發(fā)生反應(yīng)，形成過(guò)渡層和保護(hù)層而成；
所述基礎(chǔ)層為正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇和鹽酸的混合物，所述催化層為氨水、無(wú)水乙醇和蒸餾水的混合物。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層，其特征在于，所述基礎(chǔ)層正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4，用鹽酸將所述基礎(chǔ)層溶液的pH調(diào)節(jié)為4；所述催化層無(wú)水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1，將所述催化層涂覆到基礎(chǔ)層之后，催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8。
3.按照權(quán)利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層，其特征在于，所述過(guò)渡層為所述基礎(chǔ)層和催化層形成的凝膠，所述保護(hù)層為形成的二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護(hù)層。
4.制備按照如權(quán)利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層的方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)在抽氣管路內(nèi)壁上噴涂一層基礎(chǔ)層混合物，基礎(chǔ)層混合物中正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4，鹽酸將所述基礎(chǔ)層溶液的pH調(diào)節(jié)為4，使所述基礎(chǔ)層混合物均勻的鋪滿整個(gè)管路內(nèi)側(cè)；
2)在基礎(chǔ)層上涂一層催化層混合物，催化層混合物中無(wú)水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1，將所述催化層涂覆到基礎(chǔ)層之后，催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8；
3)用離子束輻射抽氣管內(nèi)壁，離子束的能量使所述基礎(chǔ)層與催化層發(fā)生反 應(yīng)，生成一層過(guò)渡層溶膠，同時(shí)生成二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護(hù)層，管路保護(hù)層即可生成。