本發(fā)明涉及閥門，具體涉及用于控制化學(xué)溶液、水等流體的具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥。

背景技術(shù)：

1、在許多制造過(guò)程中，例如當(dāng)制藥廠生產(chǎn)藥品時(shí)，或當(dāng)半導(dǎo)體工廠涂覆晶片表面以形成均勻厚度的薄膜時(shí)，需要控制量的化學(xué)溶液或水。因此，許多行業(yè)都需要精密的閥門。例如，ptfe(聚四氟乙烯)隔膜閥被用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的化學(xué)流體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的ptfe閥門缺乏自我偵測(cè)功能，無(wú)法警報(bào)泄漏。泄漏可能造成安全事故和人員、財(cái)產(chǎn)損失。安裝在流道中的閥門不可避免地存在泄漏問(wèn)題，因此需要具有漏液偵測(cè)功能的閥門。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥，以及時(shí)發(fā)現(xiàn)、及時(shí)處理，減少因閥門故障造成的損失。

2、本發(fā)明的一態(tài)樣提供了一個(gè)包含控制器和主體的隔膜閥?？刂破靼?qū)動(dòng)桿和隔膜。驅(qū)動(dòng)桿被驅(qū)動(dòng)以移動(dòng)隔膜。主體包括開口和腔室。開口被控制器覆蓋。隔膜在腔室內(nèi)移動(dòng)，并且在被驅(qū)動(dòng)到達(dá)腔室底部時(shí)阻斷腔室。在隔膜上方安裝有偵測(cè)泄漏的偵測(cè)器，偵測(cè)器與外部連接。

3、本發(fā)明的另一態(tài)樣提供了一種包括控制器和主體的隔膜閥。控制器包括驅(qū)動(dòng)桿、氣缸、氣動(dòng)孔和隔膜。驅(qū)動(dòng)桿被驅(qū)動(dòng)而使隔膜移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)桿的中段具有活塞。氣缸覆蓋控制器。氣動(dòng)孔通過(guò)將空氣泵入氣缸和活塞之間的空間或從氣缸和活塞之間的空間排出空氣來(lái)移動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿。主體包括開口和腔室。開口被控制器覆蓋。隔膜在腔室內(nèi)移動(dòng)，并且在被驅(qū)動(dòng)到達(dá)腔室底部時(shí)阻斷腔室。隔膜上方安裝有偵測(cè)器來(lái)偵測(cè)泄漏，偵測(cè)器與外部連接。

4、本發(fā)明的另一態(tài)樣提供了一種包含腔室、隔膜和偵測(cè)器的隔膜閥。隔膜在腔室內(nèi)移動(dòng)，并且在被驅(qū)動(dòng)到達(dá)腔室底部時(shí)阻斷腔室。偵測(cè)器安裝在隔膜上方以偵測(cè)泄漏，偵測(cè)器與外部連接。

5、上文廣泛概述本發(fā)明的特征和技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，以更好地理解本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)將在下文中描述，并且形成本發(fā)明權(quán)利要求書的保護(hù)標(biāo)的?，F(xiàn)有本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解，本發(fā)明的概念和具體實(shí)施例可能被修改或設(shè)計(jì)成實(shí)現(xiàn)與本
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
相同目的的其他結(jié)構(gòu)或方法，這樣的等效構(gòu)造不脫離權(quán)利要求書中闡述的本發(fā)明的精神和范圍。

技術(shù)特征：

1.一種具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的隔膜閥，其特征在于，該偵測(cè)器包括：

3.如權(quán)利要求2所述的隔膜閥，其特征在于，還包括：

4.如權(quán)利要求3所述的隔膜閥，其特征在于，還包括：

5.一種具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥，其特征在于，包括：

6.如權(quán)利要求5所述的隔膜閥，其特征在于，該偵測(cè)器包括二電線，每根的一端位于該隔膜上方的一偵測(cè)空間內(nèi)，并且該二電線是分開的，其中如果存在泄漏導(dǎo)致該偵測(cè)器之間短路，則該二電線導(dǎo)通，

7.如權(quán)利要求6所述的隔膜閥，其特征在于，還包括：

8.如權(quán)利要求6所述的隔膜閥，其特征在于，還包括：

9.一種具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥，其特征在于，包括：

10.如權(quán)利要求9所述的隔膜閥，其特征在于，該偵測(cè)器包括二電線，每根的一端位于該隔膜上方的一偵測(cè)空間內(nèi)，并且該二電線是分開的，其中如果存在泄漏導(dǎo)致該偵測(cè)器之間短路，則該二電線導(dǎo)通。

技術(shù)總結(jié)
一種具有漏液偵測(cè)器的隔膜閥，包括腔室、隔膜和偵測(cè)器。隔膜在腔室內(nèi)移動(dòng)。當(dāng)隔膜被驅(qū)動(dòng)到達(dá)腔室的底部時(shí)，腔室被阻斷。偵測(cè)器被安裝在隔膜上方以偵測(cè)漏液，偵測(cè)器與外部連接。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭圣弘
受保護(hù)的技術(shù)使用者：道流國(guó)際控股有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19