本技術(shù)屬于真空氣路密封，具體涉及一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、真空發(fā)生器及氣路系統(tǒng)需要特定的設(shè)備和管路，設(shè)備和管路只能處于固定位置，在晶圓、芯片貼裝領(lǐng)域需要調(diào)整晶圓、芯片的角度，所以在不改變真空發(fā)生器及氣路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)布置的同時需要末端能旋轉(zhuǎn)調(diào)整角度，而真空氣路旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用在真空氣路需要相對旋轉(zhuǎn)同時又要保證密封的場景，在晶圓、芯片的吸取裝備里面應(yīng)用廣泛，需要真空氣路吸取晶圓、芯片，同時又要旋轉(zhuǎn)調(diào)整晶圓、芯片的角度用來對準(zhǔn)貼裝。

2、而目前運(yùn)用在真空發(fā)生器與氣路系統(tǒng)連接的密封接頭中，有利用o型圈和密封波紋管來解決真空氣路旋轉(zhuǎn)問題，其中，利用o型圈作為旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)，在運(yùn)動旋轉(zhuǎn)的時候，o型圈和部件之間有相對摩擦，在提高密封性能時必定導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)阻力變大，而密封波紋管技術(shù)在國內(nèi)應(yīng)用很少，微型精密的密封波紋管加工在國內(nèi)很難找到供應(yīng)鏈，在精密制造領(lǐng)域中，前端調(diào)整角度的r軸微型電機(jī)，因?yàn)楣β市?，對旋轉(zhuǎn)阻力有很苛刻的要求，需要低阻力高密封性能的真空氣路旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)，目前流行的兩種結(jié)構(gòu)都不適合精密制造領(lǐng)域。

3、為此，我們提出一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，包括氣管、密封壓蓋和密封圈；

4、所述氣管活動插在密封壓蓋的尾端，且氣管的外部套有一個與密封壓蓋尾端貼合的密封墊；

5、所述密封圈滑動套在密封壓蓋外側(cè)。

6、進(jìn)一步的，所述密封圈為y型密封環(huán)，且密封圈的v形槽朝向密封壓蓋的尾端方向設(shè)計(jì)。

7、進(jìn)一步的，所述密封壓蓋上還套設(shè)有一個壓緊彈簧，所述壓緊彈簧兩端分別與密封圈和密封壓蓋尾端相抵觸。

8、進(jìn)一步的，所述密封墊和密封壓蓋均采用尼龍、聚四氟乙烯或錫青銅中的任意一種材質(zhì)構(gòu)成。

9、進(jìn)一步的，所述密封壓蓋包括對接管，所述對接管的前端和尾端分別一體成型有前端部和止擋環(huán)。

10、進(jìn)一步的，所述前端部和止擋環(huán)在對接環(huán)的兩端形成凸環(huán)，所述密封圈滑動套在對接管外側(cè)。

11、進(jìn)一步的，所述止擋環(huán)外側(cè)還一體成型有尾端部。

12、進(jìn)一步的，所述尾端部為環(huán)形，且尾端部內(nèi)側(cè)管徑大于對接管的內(nèi)徑，且氣管的端部活動插在尾端部的內(nèi)側(cè)。

13、進(jìn)一步的，所述氣管底端通過軸承轉(zhuǎn)動裝配在外殼內(nèi)部，外殼頂部一體成型有用來容納密封壓蓋的活動艙，所述活動艙的頂端開設(shè)有氣嘴。

14、有益效果：

15、本實(shí)用新型為真空發(fā)生器的真空發(fā)生端頭的閥芯結(jié)構(gòu)，其中氣管與密封墊安裝在用氣端的管路上，而將密封壓蓋、壓緊彈簧和y型的密封圈固定到供氣一端，其中密封墊與密封壓蓋配合起到平面密封效果，同時二者之間可相對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，在真空階段時，供氣端的密封圈在內(nèi)外氣壓的變化下，進(jìn)行自適應(yīng)性，朝壓緊彈簧的伸長方向運(yùn)動，致使壓緊彈簧放松，使其施加在密封蓋上的壓力減小，而密封壓蓋和密封墊之間的旋轉(zhuǎn)阻力因此相對減少，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在保證真空密封效果的情況下還能減少了旋轉(zhuǎn)阻力，使得該相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)能夠適合于高精密控制領(lǐng)域。

技術(shù)特征：

1.一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括氣管(1)、密封壓蓋(3)和密封圈(5)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封圈(5)為y型密封環(huán)，且密封圈(5)的v形槽朝向密封壓蓋(3)的尾端方向設(shè)計(jì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封壓蓋(3)上還套設(shè)有一個壓緊彈簧(4)，所述壓緊彈簧(4)兩端分別與密封圈(5)和密封壓蓋(3)尾端相抵觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封墊(2)和密封壓蓋(3)采用尼龍、聚四氟乙烯或錫青銅中的任意一種材質(zhì)構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述密封壓蓋(3)包括對接管(304)，所述對接管(304)的前端和尾端分別一體成型有前端部(301)和止擋環(huán)(303)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述前端部(301)和止擋環(huán)(303)在對接環(huán)的兩端形成凸環(huán)，所述密封圈(5)滑動套在對接管(304)外側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述止擋環(huán)(303)外側(cè)還一體成型有尾端部(302)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述尾端部(302)為環(huán)形，且尾端部(302)內(nèi)側(cè)管徑大于對接管(304)的內(nèi)徑，且氣管(1)的端部活動插在尾端部(302)的內(nèi)側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述氣管(1)底端通過軸承(6)轉(zhuǎn)動裝配在外殼(7)內(nèi)部，外殼(7)頂部一體成型有用來容納密封壓蓋(3)的活動艙(8)，所述活動艙(8)的頂端開設(shè)有氣嘴(9)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種自適應(yīng)阻尼的相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)，屬于真空氣路密封技術(shù)領(lǐng)域，具體包括氣管、密封壓蓋和密封圈；所述氣管活動插在密封壓蓋的尾端，且氣管的外部套有一個與密封壓蓋尾端貼合的密封墊；所述密封圈滑動套在密封壓蓋外側(cè)。本技術(shù)中密封墊與密封壓蓋配合起到平面密封效果，在真空階段時，供氣端的密封圈在內(nèi)外氣壓的變化下，進(jìn)行自適應(yīng)性朝壓緊彈簧的伸長方向運(yùn)動，致使壓緊彈簧放松，使其施加在密封蓋上的壓力減小，而密封壓蓋和密封墊之間的旋轉(zhuǎn)阻力因此相對減少，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在保證真空密封效果的情況下還能減少了旋轉(zhuǎn)阻力，使得該相對旋轉(zhuǎn)真空密封結(jié)構(gòu)能夠適合于高精密控制領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：盧國友
受保護(hù)的技術(shù)使用者：楚瑞智能科技（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240820
技術(shù)公布日：2025/5/15