本申請適用于超導(dǎo)芯片工藝領(lǐng)域，尤其涉及一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)、裝置、控制器及介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、在超導(dǎo)芯片制造過程中，射頻清洗工藝用于清除超導(dǎo)薄膜表面的氧化層，常溫干法氧化工藝用于制作納米級別的氧化層，由于射頻清洗過程會產(chǎn)生腔室污染，且氧化工藝對腔室的清潔度要求相對較低，因此，出于成本節(jié)約的考慮，這兩種工藝常常在同一腔室內(nèi)進行。然而，這兩種工藝在壓力需求上存在顯著差異：氧化過程需要較高的壓力，要求鐘擺閥處于半開且開度較小的狀態(tài)；而射頻清洗過程則需要較小的壓力，鐘擺閥需要半開且開度較大的狀態(tài)。因此在制造過程中需要對鐘擺閥進行開度調(diào)節(jié)，現(xiàn)有技術(shù)中，可使用角度可控蝶閥代替鐘擺閥來滿足這一需求，但這樣的設(shè)備改造不僅技術(shù)復(fù)雜，而且成本高昂，另一方面，如果采用手動調(diào)節(jié)鐘擺閥的開度，每次調(diào)節(jié)的位置差異可能會引入新的誤差，從而影響工藝的穩(wěn)定性。因此，如何自動化地實現(xiàn)對鐘擺閥開度的動態(tài)調(diào)節(jié)成為亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請實施例提供了一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)、裝置、控制器及介質(zhì)，以解決如何自動化地實現(xiàn)對鐘擺閥開度的動態(tài)調(diào)節(jié)問題。

2、第一方面，本申請實施例提供一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法，所述開度調(diào)節(jié)方法應(yīng)用于開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述開度調(diào)節(jié)方法包括：

3、獲取開度調(diào)節(jié)指令，根據(jù)所述開度調(diào)節(jié)指令，實時獲取所述鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值；

4、將所述當(dāng)前壓力值與預(yù)設(shè)壓力值進行比對，得到壓力比對結(jié)果，以及將所述當(dāng)前氣體通入流量值與預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行比對，得到流量比對結(jié)果，通過反饋控制算法，對所述壓力比對結(jié)果和所述流量比對結(jié)果進行處理，得到控制信號；

5、通過所述通信連接，將所述控制信號發(fā)送給所述伺服馬達，以使所述伺服馬達根據(jù)所述控制信號，通過所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，對所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件進行開度調(diào)節(jié)。

6、第二方面，本申請實施例提供一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述控制器用于實現(xiàn)如第一方面所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

7、第三方面，本申請實施例提供一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)裝置，所述開度調(diào)節(jié)裝置應(yīng)用于開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述開度調(diào)節(jié)裝置包括：

8、壓力獲取模塊，用于獲取開度調(diào)節(jié)指令，根據(jù)所述開度調(diào)節(jié)指令，實時獲取所述鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值；

9、反饋控制模塊，用于將所述當(dāng)前壓力值與預(yù)設(shè)壓力值進行比對，得到壓力比對結(jié)果，以及將所述當(dāng)前氣體通入流量值與預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行比對，得到流量比對結(jié)果，通過反饋控制算法，對所述壓力比對結(jié)果和所述流量比對結(jié)果進行處理，得到控制信號；

10、開度調(diào)節(jié)模塊，用于通過所述通信連接，將所述控制信號發(fā)送給所述伺服馬達，以使所述伺服馬達根據(jù)所述控制信號，通過所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，對所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件進行開度調(diào)節(jié)。

11、第四方面，本申請實施例提供一種控制器，所述控制器包括處理器、存儲器以及存儲在所述存儲器中并可在所述處理器上運行的計算機程序，所述處理器執(zhí)行所述計算機程序時實現(xiàn)如第一方面所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

12、第五方面，本申請實施例提供一種計算機可讀存儲介質(zhì)，所述計算機可讀存儲介質(zhì)存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如第一方面所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

13、本申請實施例與現(xiàn)有技術(shù)相比存在的有益效果是：本申請的鐘擺閥包括控制器和伺服馬達，控制器和伺服馬達之間通信連接，伺服馬達與鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，開度調(diào)節(jié)方法應(yīng)用于控制器，通過根據(jù)開度調(diào)節(jié)指令，實時獲取鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值，將獲取到的當(dāng)前壓力值與預(yù)設(shè)壓力值進行比對，得到壓力比對結(jié)果，以及將當(dāng)前氣體通入流量值與預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行比對，得到流量比對結(jié)果，通過反饋控制算法，對壓力比對結(jié)果和流量比對結(jié)果進行處理，得到控制信號，通過通信連接，將控制信號發(fā)送給伺服馬達，以使伺服馬達根據(jù)控制信號，通過伺服馬達與鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，對鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件進行開度調(diào)節(jié)。其中，通過控制器實時獲取鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值，根據(jù)獲取到的當(dāng)前壓力值、當(dāng)前氣體通入流量值、預(yù)設(shè)壓力值和預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行反饋調(diào)節(jié)，控制伺服馬達對鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件進行動態(tài)調(diào)節(jié)，自動化地實現(xiàn)了對鐘擺閥開度的動態(tài)調(diào)節(jié)，保持了腔室內(nèi)的壓力、氣體通入流量穩(wěn)定，減少了人工干預(yù)的需求，降低了操作復(fù)雜性，并避免了因手動操作不當(dāng)而導(dǎo)致的生產(chǎn)故障，提高了腔室內(nèi)工藝的可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述開度調(diào)節(jié)方法應(yīng)用于開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述開度調(diào)節(jié)方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述將所述當(dāng)前壓力值與預(yù)設(shè)壓力值進行比對，得到壓力比對結(jié)果，以及將所述當(dāng)前氣體通入流量值與預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行比對，得到流量比對結(jié)果，通過反饋控制算法，對所述壓力比對結(jié)果和所述流量比對結(jié)果進行處理，得到控制信號，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述開度調(diào)節(jié)方法還包括：

4.一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述控制器用于實現(xiàn)如權(quán)利要求1至3任一項所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器為下位機，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述上位機還設(shè)置有顯示界面，所述顯示界面用于顯示所述鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值；

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)還包括：

8.一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述開度調(diào)節(jié)裝置應(yīng)用于開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，所述控制器和所述伺服馬達之間通信連接，所述伺服馬達與所述鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，所述開度調(diào)節(jié)裝置包括：

9.一種控制器，其特征在于，所述控制器包括處理器、存儲器以及存儲在所述存儲器中并可在所述處理器上運行的計算機程序，所述處理器執(zhí)行所述計算機程序時實現(xiàn)如權(quán)利要求1至3任一項所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

10.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，所述計算機可讀存儲介質(zhì)存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權(quán)利要求1至3任一項所述的鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請適用于超導(dǎo)芯片工藝領(lǐng)域，尤其涉及一種鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)、裝置、控制器及介質(zhì)。開度調(diào)節(jié)方法應(yīng)用于開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，開度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括控制器和伺服馬達，控制器和伺服馬達之間通信連接，伺服馬達與鐘擺閥的開度調(diào)節(jié)部件之間機械連接，包括：根據(jù)開度調(diào)節(jié)指令，實時獲取鐘擺閥控制連通的腔室內(nèi)的當(dāng)前壓力值和當(dāng)前氣體通入流量值，將當(dāng)前壓力值、當(dāng)前氣體通入流量值與預(yù)設(shè)壓力值、預(yù)設(shè)氣體通入流量值進行比對，得到比對結(jié)果，通過反饋控制算法，對比對結(jié)果進行處理，得到控制信號，通過通信連接，將控制信號發(fā)送給伺服馬達，以使伺服馬達根據(jù)控制信號，通過與機械連接，對鐘擺閥進行開度調(diào)節(jié)。自動化地實現(xiàn)了對鐘擺閥開度的動態(tài)調(diào)節(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員：郭旭續(xù),宿非凡,鄧輝,嚴(yán)凱,張海斌,秦文斌,燕軍祥,宗華
受保護的技術(shù)使用者：濟南量子技術(shù)研究院
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15