專利名稱：一次性壓力傳感器系統(tǒng)及其封裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
實施例大體而言涉及傳感器，更具體地涉及壓力傳感器和制造這 種傳感器的方法。實施例另外還涉及一次性壓力傳感器和用于醫(yī)學應 用和其它應用的一次性壓力傳感器系統(tǒng)。實施例還涉及用于一次性流 體承載模塊的 一次性壓力組件， 一次性流體承載模塊諸如在醫(yī)學應用 中使用的流體筒和管道。
背景技術(shù)：
在單次使用型應用中，諸如醫(yī)學系統(tǒng)和儀器，其中由于清潔和消 毒要求，傳感器的重復使用是不利的，因此需要一次性傳感器，這種 一次性傳感器可以以成本效益方式來實施。
用于傳感器的電子封裝(package)通常具有用于容納傳感器的基礎 級封裝，之后為用于容納電連接和機械連接的另一級封裝，需要這種 電連接和機械連接使得傳感器與裝置適當?shù)剡B接。因此，由于相對較 多的組成構(gòu)件數(shù)目，昂貴的材料和/或處理要求，以及生產(chǎn)已封裝的傳 感器和將它們集成到應用的儀器或設備內(nèi)所需的較多制造-工藝步驟 數(shù)目，典型的傳感器組件/封裝并不特別地適合于這種應用。
因此需要壓力傳感方案，特別是一次性傳感器來提供超低成本的 組件，其可更容易地且更具成本效益地集成到最終應用或系統(tǒng)內(nèi)。
其提供低成本的一次性壓力傳感器組件和與其相關(guān)聯(lián)的封裝，該封裝 可簡單地且具有成本效益地集成到儀器及其它器械內(nèi)。

發(fā)明內(nèi)容
提供下文的發(fā)明內(nèi)容以便于理解本發(fā)明獨特的創(chuàng)新特征中的某些特征，并且發(fā)明內(nèi)容不是本發(fā)明的全面描述。通過將整個說明書、 權(quán)利要求書、附圖和摘要作為 一個整體來獲得本發(fā)明的各種方面的全
面的i人i口、。
因此， 一個方面提供一種用于壓力傳感器的改進的一次性封裝。 另一方面提供一種一次性壓力傳感器。
又一方面提供一種用于諸如血壓傳感的醫(yī)學應用的一次性壓力 傳感器系統(tǒng)。
再一方面提供一種形成一次性壓力傳感器系統(tǒng)的方法。
現(xiàn)將如本文所述來獲得前述方面和其它目的和優(yōu)點。本發(fā)明公開 了用于壓力傳感器的一次性封裝。該封裝具有用于在其上承載至少一 個傳感元件的殼體或框架和用于將(多個)傳感元件連接到外部設備上 的至少一個機械連接器和/或電連接器。 一個或多個連接器集成到殼體 中使得(多個)連接器和(多個)傳感元件封裝于單個部件中。
通過將諸如(多個)壓力傳感器管芯的(多個)傳感元件合并到與電 連接器相同的框架或殼體上，排除了制造傳感器所必需的某些部件和 電連接。舉例而言，不再需要單獨的專用殼體來容納傳感器。而且， 將電連接器合并到框架上排除了對提供單獨的電纜連接器組件來將 傳感器電連接到外部設備的協(xié)作連接器上的需要。而且，多個傳感元 件可附連到同一個殼體上。因此，可利用較少的部件和相關(guān)聯(lián)的工藝 步驟來制造傳感器系統(tǒng)，從而能夠提供低成本的傳感器系統(tǒng)。
一個或多個機械連接器可采用整體地形成于殼體或框架中用于 將傳感器連接到諸如透析筒的流體承載模塊上的(多個)機械連接的形 式?？蛇x地或另外地，殼體可包括整體地形成的機械連接和/或電連接 來將(多個)傳感器連接到用于測量(多個)傳感器的輸出信號的測量設 備上。 一次性封裝可包括也整體地形成于殼體中用于將流體壓力傳遞 到(多個)傳感元件的一個或多個窗口或端口 ，傳感元件可例如為壓力 傳感元件。用于將(多個)殼體窗口或端口密封到裝置的相應流體端口 的一個或多個密封接合或連接器也可集成到殼體中。殼體或框架可為模制塑料件，其具有圖案化的金屬化層以便形成 將傳感器合并到該應用中所需的電連接。
根據(jù)另一方面， 一次性壓力傳感系統(tǒng)具有一次性傳感器組件，一 次性傳感器組件具有承載于殼體或框架上的一個或多個傳感元件。用 于將(多個)傳感元件連接到設備或裝置上的一個或多個電連接器和/或 機械連接器集成到殼體中，用于將流體壓力傳遞到(多個)傳感元件上 的窗口或端口也可集成到殼體中。 一個或多個密封連接件可集成到殼 體中用于將殼體密封到裝置上，使得(多個)傳感元件可檢測該裝置所 保持的或流經(jīng)該裝置的流體的壓力。
機械連接器中的一個或多個可為用于將壓力傳感器組件牢固地 附連到流體承載模塊和/或測量設備上的機械連接。
一次性壓力傳感器系統(tǒng)可包括流體承載模塊，諸如用于透析機的 筒，集成到殼體中的機械連接器中的一個或多個可為被構(gòu)造成與流體 承載模塊上的相應連接件相協(xié)作的機械連接件。舉例而言，筒和殼體 的機械連接可被構(gòu)造成使得壓力傳感器組件可被按扣或閂鎖到筒上。
如果必要的話，殼體或框架可與流體承載模塊集成在一起。流體 承載模塊可例如為導管或透析筒。 一個或多個調(diào)整構(gòu)件可承載于殼體 上且電連接到(多個)傳感元件，用于調(diào)整或偏置(多個)傳感元件的輸出 信號。(多個)傳感元件可為(多個)反應性離子刻蝕膜片，從而進一步減 少壓力傳感器的成本。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，形成一次性壓力傳感器系統(tǒng)的方法包括 形成殼體或框架，在框架中整體地形成連接部分，在連接部分上沉積 導電材料以便將至少一個電連接器集成到殼體中，將至少一個壓力傳 感元件附連到殼體上，以及將傳感元件電連接至導電材料。


附圖還說明了本發(fā)明且與本發(fā)明的具體實施方式
一起用于解釋 本發(fā)明的原理，在所有獨立的附圖中，類似的附圖標記表示相同或功能類似的元件，且附圖結(jié)合到說明書中并且構(gòu)成說明書的一部分。
圖l表示壓力傳感器系統(tǒng)的截面圖，該壓力傳感器系統(tǒng)具有附連 到 一次性流體承載模塊上的一次性壓力傳感器組件的第 一 實施例。
圖2表示從圖1所示的壓力傳感器組件的后側(cè)所取得的平面圖， 但移除了用于蓋住一個壓力傳感元件中的一個保護性蓋子，
圖3表示從壓力傳感器系統(tǒng)的上方所取得的平面圖，該壓力傳感 器系統(tǒng)具有一次性壓力傳感器組件的第二實施例，該一次性壓力傳感 器組件與一次性流體承載模塊對準，以附連到該一次性流體承載模塊 上，
圖4表示壓力傳感器系統(tǒng)的截面圖，該壓力傳感器系統(tǒng)具有部分 地插入到 一次性流體承載模塊內(nèi)的一次性壓力傳感器組件的另 一實 施例，
圖5表示自圖4的組件上方所取得的前部透視圖，其中該壓力傳 感器組件完全插入到流體承載模塊內(nèi)，以及
圖6表示圖4的按扣式配合到外部控制器上的壓力傳感器組件的 截面圖，其中流體承載模塊承載于壓力傳感器組件上，以及
圖7與圖8表示根據(jù)又一實施例的一次性醫(yī)學壓力傳感器系統(tǒng)的 透^L圖和分解圖。
具體實施例方式
參看附圖中的圖1和圖2,其表示壓力傳感器系統(tǒng)的截面圖和后 視圖，該壓力傳感器系統(tǒng)具有附連到流體承載模塊上的壓力傳感器組 件的第一實施例，壓力傳感器系統(tǒng)1具有壓力傳感器組件或封裝2， 其包括一個或多個壓力傳感元件4用于傳感保持于一次性流體承載模 塊16中的流體8的壓力， 一次性流體承載模塊16諸如用于血液透析 機中的一次性筒。如將在下文中更詳細地解釋，壓力傳感器組件2包 括殼體或框架3，其不僅用作傳感元件4的襯底而且還形成將傳感器 合并到應用中所需的所有電連接和機械連接。因此，傳感元件及其相關(guān)聯(lián)的連接可一起封裝到一個部件上，即封裝到殼體3上，這能夠在
制造和使用的所有階段減少材料和組裝成本。
在圖l所示的實施例中，殼體3由塑料，例如諸如聚碳酸酯材料 的注塑聚合物形成，但殼體可由其它適當材料制成。而且，在圖1的 說明性實施例中，壓力傳感器組件2具有三個壓力傳感元件4用于傳 感保持于模塊16的相應各個腔室18中的流體的壓力，然而組件2可 具有單個傳感元件4或任意數(shù)目的傳感元件4用于傳感保持于任意數(shù) 目的腔室18中的流體壓力。而且，壓力傳感器組件2可用于傳感由 除了 一次性模塊16之外的設備所承載的流體壓力。
殼體3包括面板5，面板5用作傳感元件4的支承襯底，傳感元 件4利用諸如室溫硫化硅(RTV)的適當結(jié)合材料來附連到面板的背面 23上。傳感元件4被布置成與形成于面板5中的相應窗口或入口 14 相連通，用于在壓力下傳輸流體以便向流體8暴露(多個)傳感元件的 一側(cè)且向例如大氣壓力的參考壓力24暴露另一側(cè)。
面板5還包括用于將壓力傳感器組件2牢固地附連到處于操作位 置的模塊16上的機械連接件21，在操作位置，入口 14與模塊的相應 出口 9鄰近，使得傳感元件可檢測,人相應腔室18傳輸?shù)匠隹诘牧黧w8。 形成于面板3上的密封接合表面25具有設置于其中的相應'O，形環(huán) 7，用于將入口 14密封到相應出口 9上。
在此特定實施例中，面板15的周向邊緣形成機械連接件21，機 械連接件21可利用從模塊背面29的相對側(cè)上垂直地延伸的一對閂鎖 臂20來閂鎖到模塊16上。然而，壓力傳感器組件2可使用其它技術(shù) 來連接到模塊16上，例如通過超聲波或激光將機械連接件21焊接或 結(jié)合到模塊上。而且，不同于密封接合表面25的結(jié)構(gòu)或除了密封接 合表面25之外的結(jié)構(gòu)可合并到殼體內(nèi)，用于將入口 14密封到出口 9， 諸如凸緣，螺紋端口或夾子。
傳感元件4的電路利用絲焊件(wire bond)10電連接到金屬化塑料 接觸盤(未圖示)上，而金屬化塑料接觸盤連接到金屬化塑料電互連件或跡線27。殼體3還包括臂6，臂6從面板后部23垂直地延伸，并 且在其上承載電端子11以便限定電連接器30。電端子11利用電互連 件27電聯(lián)接到絲焊件10，電端子11被布置成用于電連接到測量設備 C未圖示)的相應配合連接件上，壓力傳感器組件2可附連到該測量設 備上。將壓力傳感器組件2機械地附連到測量設備上造成電端子11 與測量設備的相應配合連接件相配合，使得可向測量設備提供傳感元 件4的輸出信號用于信號調(diào)節(jié)和處理。
在此特定實施例中，通過例如使用本領(lǐng)域中已知的金屬沉積工 藝，諸如Cybershield所研發(fā)的Exact X藝向殼體3上沉積導電材料 而形成電端子11和互連件27，或可選地，利用諸如噴墨的直接寫入 工藝來沉積金屬和導電聚合物/復合物。導電材料的沉積也可用于形成 接地平面金屬化(ground plain metallization)和屏蔽來自傳感器的射頻 干擾的其它類似方法。
圖1所示的電連接器30為矩形卡構(gòu)造，但電連接器30可通過塑 料殼體3的適當模制和形成電路跡線或端子11而被制造成任何所期 望的形狀或格式。有利地，電路跡線27可從傳感器的絲焊件IO或其 它傳感器互連件持續(xù)地延伸到任何形狀的電連接器30而無需任何額 外的組裝。
在圖1的說明性實施例中所示的傳感元件4是微加工壓阻式(PZR) 硅裝置。優(yōu)選實施例使用含有空腔的管芯，該空腔具有通過在硅中對 膜片進行反應性離子刻蝕(DRIE)而在管芯上形成的垂直側(cè)壁。由于空 腔具有垂直側(cè)壁，可獲得比標準各向異性濕法刻蝕所能獲得的更小的 管芯尺寸。采用這種方式，在6"晶圓上的管芯數(shù)目可高達30,000，其 可造成減少的單位管芯成本。舉例而言，面積(覆蓋區(qū)(footprint))僅為 650pmx650(im的管芯可在市場上獲得?？蛇x地，可采用其它MEMS 壓力傳感元件，特別是表面微加工結(jié)構(gòu)，由于制造了薄的膜片，其可 允許較小的尺寸。
圖1所示的每個PZR-Si傳感元件4被布置為管芯("棵管芯，，)上的惠斯登電橋。為了滿足應用的精確度和靈敏度以及偏置要求，可 使用本領(lǐng)域中已知的調(diào)整構(gòu)件來提供額外調(diào)整和信號調(diào)節(jié)。在圖l的
說明性實施例中，通過諸如安裝到面板后部23上的電阻器表面的相 關(guān)電阻器13來對每個傳感元件4進行這種調(diào)整，電阻器13利用電互 連件29與電橋電串聯(lián)以提供量程調(diào)整。舉例而言， 一個表面安裝電 阻器13可在生產(chǎn)測試后并聯(lián)添加，并且其它的電阻器在測試之前裝 配以便能夠僅使用在應用中所用的四個連接來進行校準測試測量(+/-供應和+A輸出)。例如，可提供所得的串聯(lián)電阻，以在5V供電下100 mV輸出將壓力量程設定到1巴度量(gage)?？刹捎昧硪徽{(diào)整組件來在 諸如環(huán)境(O巴度量)的參考壓力下使用校準來提供該應用中的偏差校 正。
替代地，可利用單個厚膜電阻器來替換電阻器13,單個厚膜電阻 器的電阻可通過向激光暴露而被改變(即，可由激光調(diào)整的電阻器)。
如果例如使用直接沉積于硅壓力管芯上的鉻硅(CrSi)電阻器來實 現(xiàn)芯片級調(diào)整，那么可省略諸如電阻器13的外部調(diào)整構(gòu)件，以便允 許更少的構(gòu)件和更低的總傳感器成本?？稍谔幱诰A形式的同時或在 將傳感元件附連到殼體上之后，例如通過對傳感器管芯進行激光調(diào)整 來執(zhí)行該芯片級調(diào)整處理，從而允許對封裝導致的偏置進行補償。
可采用夾持到或結(jié)合到傳感元件4和電路上方的面板后部上的保 護性蓋子12或帽來提供傳感元件和電路機械保護。如果傳感元件和 電路需要例如在蒸汽消毒過程中防止受到液體和/或氣體或者受到化 合物、微粒、與之相關(guān)的雜質(zhì)的破壞，可使用O形環(huán)、RTV、環(huán)氧樹 脂或膠粘劑來將蓋子12密封于適當位置。在需要參考諸如大氣的壓 力介質(zhì)24的情況下，如在圖1的說明性實施例的情況下，蓋子12包 括通風材料或多孔材料31,諸如PTFE，其形成透氣孔/過濾器來提供 對大氣壓力的參考同時防止水分等的侵襲或進入?；蛘撸墒┘覲TFE 涂層來將保護性蓋子12密封到殼體上，從而形成透氣層。
若需要，可采用電路跡線ll、 27,絲焊件10和/或傳感元件4的鈍化來防止這些部件向局部環(huán)境下的液體/氣體和/或清潔流體暴露。
舉例而言，可使用在本領(lǐng)域中已知的PTFE(Teflon)涂層技術(shù)，如GVD corporation, Massachusetts所提供的技術(shù)?；蛘撸墒┘颖绢I(lǐng)域中標準
附連材料與介質(zhì)和/或參考環(huán)境的物理隔離和/或電隔離。
而且，如果需要隔離電磁干擾，則蓋子12可被金屬化，并且如 果必要的話，可使用導電性膠粘劑來將其連接到塑料殼體的金屬化上 的公共點。蓋子12還可根據(jù)需要支承標簽或甚至智能標簽，諸如RFID 標記來提供用于組件的各種數(shù)據(jù)/數(shù)據(jù)儲存。
優(yōu)選地，為了易于生產(chǎn)組件，利用巻到巻工藝來制造壓力傳感器 組件，諸如在2005年6月23日公開的名稱為"Plastic Lead Frames Utilizing Reel-to-Reel Processing"的Shiffer等人的美國專利申請公開 No.US2005/013659 Al中所公開的巻到巻工藝，該專利申請以引用的 方式結(jié)合到本文中。塑料部件或襯底在承載件上運輸用于基于初始部 件來制造壓力傳感器組件。巻到巻原理允許多個制造操作在初始部件 上實施，諸如用于形成殼體的塑料成型操作和用于形成電路的電路構(gòu) 造操作，從而形成最終壓力傳感器組件。
優(yōu)選地，殼體3經(jīng)過全自動組裝線，其中金屬化工藝之后為傳感 元件的附連(RTV/環(huán)氧樹脂/倒裝芯片結(jié)合)，絲焊件10或其它形式的 導電結(jié)合，諸如各向異性導電膠粘劑，以與傳感元件4進行電連接， 之后為構(gòu)件的裝配和/或校準/調(diào)整/測試，之后為鈍化和/或保護帽12 的附連。組裝部件保持為巻的形式以供應到用于整個系統(tǒng)的組裝線 內(nèi)，例如OEM制造線，諸如用于制造一次性筒/盒的制造線，其中可 分離低成本傳感器組件并將其夾持并密封到適當位置。
現(xiàn)參看圖3,其表示具有一次性壓力傳感器組件的第二實施例的 壓力傳感器系統(tǒng)的平面圖，該一次性壓力傳感器組件與 一次性流體承 載模塊對準以附連到該一次性流體承載模塊上，該壓力傳感器組件 102的構(gòu)造類似于圖1所示的實施例的壓力傳感器組件2的構(gòu)造，除了殼體103包括單個電接頭或插頭106用于將所有三個傳感元件104 電連接到儀器或器械上用于處理來自傳感元件104的輸出信號。傳感 器組件102可牢固地附連到模塊116上，模塊116具有與圖l的模塊 16類似的構(gòu)造。傳感器組件102可按扣配合、結(jié)合或焊接到模塊116 上。
圖4和圖5分別表示具有部分地且完全地按扣配合到一次性流體 承載模塊316上的壓力傳感器組件的無源傳感器系統(tǒng)的另 一 實施例的 截面圖和透視圖，在此特定實施例中， 一次性流體承載模塊316包括 用于連接到相應的永久性/可重復使用的器械上的一次性筒。壓力傳感 器組件302的構(gòu)造類似于與圖1的壓力傳感器組件2的構(gòu)造，但所示 的殼體部分303具有單個入口或端口 314用于從筒316中的空腔317 傳輸流體318到壓力傳感器(未圖示)。殼體303被構(gòu)造成使得在壓力 傳感器組件按扣配合到筒316上時使端口 314插入到筒的相應端口 309內(nèi)。
如在圖5中最佳地說明，用于將壓力傳感器組件302電連接到永 久性器械上的電連接器306包括布置于殼體后部中的多個電接觸端子 311。參看圖6,其表示連接到永久性器械350上的壓力傳感器組件 302以及組件302附連到其上的一次性盒316的截面?zhèn)纫晥D。壓力傳 感器組件302的殼體303被構(gòu)造置成可閂鎖到永久性器械350的空腔 360內(nèi)，使得壓力組件302和相關(guān)的盒316可牢固地附連到永久性器 械上。永久性器械350包括安裝于空腔360中的彈簧加載接觸點356， 其被布置成在壓力組件閂鎖于永久性器械中適當位置時與組件302的 相應電端子311進行電連接，使得來自壓力傳感器組件302的輸出信 號可被供應到永久性器械用于進一步處理。
一次性殼體302和永久性設備350可具有替代圖6所示的^/L械連 接和/或電連接的機械連接和/或電連接，用于將附連到盒上壓力組件 機械連接和/或電連接到永久性器械上。而且，根據(jù)對于流體傳輸/控 制/測量的應用要求， 一個或多個通道或通路和/或端口 (未圖示)可模制于同一個殼體303中，例如如圖3所示。
根據(jù)又一實施例的壓力傳感器系統(tǒng)示于圖7和圖8中，其表示一 次性醫(yī)學壓力傳感器系統(tǒng)的透視圖和分解圖。壓力傳感器系統(tǒng)400被 實施為用于從身體抽吸流體或?qū)⒘黧w引入到身體內(nèi)的 一 次性導管 400。壓力傳感器組件的殼體或框架405的一端450整體地形成于導 管流量管416的側(cè)壁中，以便將壓力傳感器組件合并到流量管內(nèi)?？?架405具有在基本上垂直于流量管軸線460的方向遠離流量管延伸的 矩形構(gòu)造。通過將壓力傳感器管芯404在端部450定位于框架上側(cè)451 上，將壓力傳感器管芯404直接安裝到流量管416上。傳感器管芯密 封于在傳感器管芯與流量管416的內(nèi)部之間連通的壓力端口或通路 (未圖示)上，使得流經(jīng)流量管的流體可施加到壓力傳感器管芯從而進 行傳感。蓋或帽472也可在端部450附連到上側(cè)451,以便覆蓋并保 護傳感器管芯404和傳感器互連件461。
形成于框架上側(cè)451上、采用導電跡線或互連件的形式的電連接 件411遠離壓力傳感器互連件461延伸到框架遠端452,框架遠端452 被構(gòu)造成可插入到測量設備的電內(nèi)螺紋連接器430的接收通路內(nèi)?？?架405和電連接件411 一起限定塑料引線框架405、 411?？蚣?05和 電連接件411限定電連接器406，其用于與用于測量壓力傳感器的輸 出信號的測量設備的相應連接器430電連接。
用于控制流體到流量管416內(nèi)的流量的截止閥470也整體地形成 于流量管中，如同用于接收利用管夾或夾鉗474而緊固到其上的管道 的配件471-473上的各種按鈕。
在圖7的說明性實施例中，流體承載部件是導管流量管，但是殼 體或框架可集成到流量管之外的流體承載部件內(nèi)，諸如，圖l所示的 壓力傳感器系統(tǒng)的筒。而且，集成的流量管和框架形成為注塑單一結(jié) 構(gòu)。然而，也可采用適合于將流量管和框架形成為能夠承載流體和框 架傳感器管芯以及相關(guān)電路的單一結(jié)構(gòu)的其它材料。
通過將框架405合并到流量管416或其它流體承載部件內(nèi)，無需提供單獨的機械連接器或連接件來將壓力組件連接到流體承載部件
上。而且，通過將壓力傳感器管芯合并于塑料引線框架405、 411上， 排除了制造壓力傳感器組件所必需的許多部件和電連接件。舉例而 言，不再需要單獨的專用殼體來容納壓力傳感器。而且，將電連接器 合并于框架上排除了提供用于將傳感器電連接到內(nèi)螺紋連接器上的 單獨的電纜連接器組件的需要。因此，可利用較少的部件和相關(guān)工藝 步驟來制造壓力傳感器系統(tǒng)，從而能夠提供低成本的壓力傳感器系 統(tǒng)。
所陳述的描述不是本發(fā)明的詳盡描述或者限制本發(fā)明的范圍。在 不偏離權(quán)利要求書的范圍的情況下，鑒于上文的教導內(nèi)容，可能做出 許多修改和變化。舉例而言，本領(lǐng)域技術(shù)人員應了解的是，如本文的 說明性實施例所示，具有集成的電連接器和機械連接器的金屬化塑料 殼體可應用于其它傳感系統(tǒng)，諸如溫度、速度和位置傳感系統(tǒng)。應了 解，本發(fā)明的使用可涉及具有不同特征的構(gòu)件。預期本發(fā)明的范圍可 由權(quán)利要求書限定，從而對等效物在所有方面進行完全地認識。
提供本文所陳述的實施例和實例來最好地解釋本發(fā)明及其實踐 應用，從而使得本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠制造和利用本發(fā)明。然而，本領(lǐng) 域技術(shù)人員應認識到的是，前文的描述和實例僅是出于說明和實例目 的。本發(fā)明的其它變化和修改對于本領(lǐng)域技術(shù)人員將顯而易見，并且 權(quán)利要求書意欲涵蓋這種變化和修改。
權(quán)利要求
1. 一種用于壓力傳感器的一次性封裝，其包括用于在其上承載至少一個傳感元件的外殼或框架；和用于將所述至少一個傳感元件連接到外部設備上的至少一個連接器，所述至少一個連接器集成到所述殼體內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一次性封裝，其特征在于，所述至少一 個連接器包括用于將所述至少一個傳感元件附連到流體承載模塊和/ 或其它裝置上的機械連接件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一次性封裝，其特征在于，所述一次性 封裝還包括至少一個窗口或端口，其整體地形成于所述殼體中用于將 流體壓力傳遞至所述至少一個傳感元件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一次性封裝，其特征在于，所述至少一 個電連接器包括沉積于所述殼體上的導電材料。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一次性封裝，其特征在于，所述一次性 封裝包括用于接收多個所述傳感元件的附連部分和用于將所述傳感 元件電連接到相應的所述電連接器上的電互連件。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一次性封裝，其特征在于，所述殼體包 括塑料，并且所述塑料殼體纟皮金屬化以便形成在其上具有所述至少一 個電連接器的塑料引線框架。
7. —種一次性壓力傳感器系統(tǒng)，其包括 一次性傳感器組件，其包括承載于殼體或框架上用于傳感流體壓力的至少一個傳感元件，和用于將所述至少 一個傳感元件連接到至少 一個設備或裝置 上的至少一個連接器，所述至少一個連接器集成到所述殼體中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括窗 口或端口 ，其集成到所述殼體中用于將流體壓力傳遞至所述至少一個傳感元件。
9. 一種形成壓力傳感器系統(tǒng)的方法，所述方法包括 形成殼體或框架；在所述框架中整體地形成連接部分；在所述連接部分上沉積導電材料，以便將至少一個電連接器集成 到所述殼體中；將至少一個壓力傳感元件附連到所述殼體上，以及 將所述至少 一個壓力傳感元件電連接到所述導電材料上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法還包括 在所述殼體中整體地形成至少一個機械連接器用于將所述殼體連接到流體承載模塊上，使得所述至少一個傳感元件檢測承載于所述 模塊中的流體的壓力。
全文摘要
一次性壓力傳感器系統(tǒng)包括一次性傳感器組件，其具有承載在殼體或框架上的至少一個傳感元件和用于將(多個)傳感元件連接到外部設備或裝置上的至少一個電連接器和/或機械連接器。機械連接器和/或電連接器集成到殼體或框架中，使得(多個)連接器和(多個)傳感元件封裝于單個部件中。組件可集成到或附連到諸如透析筒的流體承載模塊上，使得(多個)傳感元件可傳感該模塊中的流體。
文檔編號G01L9/00GK101421601SQ200780013600
公開日2009年4月29日 申請日期2007年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月17日
發(fā)明者A·D·布拉德利, S·R·希菲爾 申請人:霍尼韋爾國際公司